דער CVD קאָוטינג פאָקוס רינג פֿאַר פּלאַזמע עטשינג איז אַ קריטישער קאָנסומאַבלער קאָמפּאָנענט געניצט אין אַוואַנסירטע האַלב-קאָנדוקטאָר עטשינג סיסטעמען. אינזשענירט מיט אַ קאָמפּאָזיט סטרוקטור פון סאַבסטראַט + CVD קאָוטינג, איז דאָס פּראָדוקט דיזיינד צו אָפּטימיזירן פּלאַזמע פאַרשפּרייטונג, פֿאַרבעסערן עטשינג יוניפאָרמאַטי, און פֿאַרלענגערן קאַמער קאָמפּאָנענט לעבן.
ביי וועט ענערגיע, נוצן מיר טיפע עקספּערטיז אין כעמישע פארע דעפּאַזישאַן (CVD) טעכנאָלאָגיע און אַוואַנסירטע קעראַמישע מאַטעריאַלן צו צושטעלן פאָקוס רינגען וואָס טרעפן די שטרענגע רעקווירעמענץ פון מאָדערנע האַלב-קאָנדוקטאָר נאָודז, אַרייַנגערעכנט FinFET און 3D NAND פּראָצעסן.
די ראָלע פֿון פֿאָקוס רינג אין פּלאַזמע עטשינג
אין פּלאַזמע עטשינג סיסטעמען (אַזאַ ווי ICP און CCP רעאַקטאָרן), איז דער פאָקוס רינג פּאַזישאַנד אַרום די וועיפער ברעג און שפּילט אַ וויכטיקע ראָלע אין פּראָצעס פעסטקייט און ייעלד פאָרשטעלונג.
1. פּלאַזמע יוניפאָרמאַטי קאָנטראָל
דער פאָקוס רינג אַקט ווי אַן עלעקטרישע און פיזישע גרענעץ וואָס העלפֿט רעגולירן פּלאַזמע געדיכטקייט פאַרשפּרייטונג אַריבער די וועיפער ייבערפלאַך.
הויפּט בענעפיטן:
● פֿאַרבעסערטע עטשינג קורס איינהייטלעכקייט
● פארקלענערטע צענטער-צו-ראַנד וועריאַציע
● פֿאַרבעסערטע פּראָצעס ריפּיטאַביליטי
2. ברעג עפעקט קאָמפּענסאַציע
אָן אַ פאָקוס רינג, קען פּלאַזמע שייד דיסטאָרשאַן ביים וועיפער ברעג פירן צו נישט-איינהייטלעכן עטשינג.
דער פאָקוס רינג פונקציאָנירט עפעקטיוו ווי אַ "ווירטועל וועיפער עקסטענשאַן", מינימיזירנדיק ברעג-פֿאַרבונדענע אַנאַמאַליעס אַזאַ ווי:
● איבער-עטשינג ביי וועיפער עדזשאַז
● קריטישע דימענסיע (CD) אָפּנייגונג
● פּראָפיל פֿאַרדרייונג
3. יאָן טראַיעקטאָריע און ענערגיע קאָנטראָל
דורך איינפלוסן דעם לאקאלן עלעקטרישן פעלד, העלפט דער פאקוס רינג סטאביליזירן די יאן אינצידענט ווינקלען און ענערגיע פארשפרייטונג, וואס איז קריטיש פאר:
● הויך אַספּעקט פאַרהעלטעניש (HAR) עטשינג
● אַניזאָטראָפּיש פּראָפיל קאָנטראָל
● פאַרקלענערטע שאָדן צו די זייטן
4. קאַמער שוץ און קאַנטאַמאַניישאַן רעדוקציע
אלס א קרבן קאמפאנענט, אבזארבירט דער פאקוס רינג דירעקטע פלאזמע אויסשטעלונג און דעפאזיציע ביי-פראדוקטן.
רעזולטאַטן מעלות:
● פארמינדערטע קאַמער וואַנט עראָזיע
● נידעריקער פּאַרטיקל קאַנטאַמאַניישאַן
● פארלענגערטע אויפהאלטונג ציקלען (PM אינטערוואַלן)
