SiC لیپت گریفائٹ ہاف مون حصہسیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں استعمال ہونے والا ایک کلیدی جزو ہے، خاص طور پر SiC ایپیٹیکسیل آلات کے لیے۔ ہم اپنی پیٹنٹ شدہ ٹکنالوجی کا استعمال کرتے ہوئے ہاف مون کے حصے کو انتہائی اعلی پاکیزگی، اچھی کوٹنگ یکسانیت اور بہترین سروس لائف کے ساتھ ساتھ اعلی کیمیائی مزاحمت اور تھرمل استحکام کی خصوصیات کے ساتھ استعمال کرتے ہیں۔
بنیادی مواد: اعلی طہارت گریفائٹ
طہارت کے تقاضے:کاربن کا مواد ≥99.99%، راکھ کا مواد ≤5ppm، اس بات کو یقینی بنانے کے لیے کہ اعلی درجہ حرارت پر ایپیٹیکسیل تہہ کو آلودہ کرنے کے لیے کوئی نجاست پیدا نہ ہو۔
کارکردگی کے فوائد:
اعلی تھرمل چالکتا:کمرے کے درجہ حرارت پر تھرمل چالکتا 150W/(m・K) تک پہنچ جاتی ہے، جو کہ تانبے کی سطح کے قریب ہے اور تیزی سے حرارت منتقل کر سکتی ہے۔
کم توسیع گتانک:5×10-6/℃ (25-1000℃)، سلکان کاربائیڈ سبسٹریٹ سے مماثل (4.2×10)-6/℃)، تھرمل تناؤ کی وجہ سے کوٹنگ کی کریکنگ کو کم کرنا۔
پروسیسنگ کی درستگی:چیمبر کی سیلنگ کو یقینی بنانے کے لیے CNC مشینی کے ذریعے ±0.05mm کی جہتی رواداری حاصل کی جاتی ہے۔
CVD SiC اور CVD TaC کی مختلف ایپلی کیشنز
| کوٹنگ | عمل | موازنہ | عام درخواست |
| CVD-SiC | درجہ حرارت: 1000-1200℃ دباؤ: 10-100 ٹور | سختی HV2500، موٹائی 50-100um، بہترین آکسیکرن مزاحمت (1600℃ سے نیچے مستحکم) | یونیورسل ایپیٹیکسیل فرنس، روایتی ماحول جیسے ہائیڈروجن اور سائلین کے لیے موزوں |
| CVD-TaC | درجہ حرارت: 1600-1800℃ دباؤ: 1-10 ٹور | سختی HV3000، موٹائی 20-50um، انتہائی سنکنرن مزاحم (corrosive گیسوں جیسے HCl، NH₃، وغیرہ کو برداشت کر سکتی ہے) | انتہائی corrosive ماحول (جیسے GaN epitaxy اور etching آلات)، یا خاص عمل جن کے لیے 2600 ° C کے انتہائی اعلی درجہ حرارت کی ضرورت ہوتی ہے۔ |
معیار کا معائنہ
کوٹنگ کی موٹائی: لیزر موٹائی گیج (درستگی ±1um) یا SEM کراس سیکشنل تجزیہ۔
بانڈ کی طاقت: سکریچ ٹیسٹ (اہم بوجھ> 50N) یا الٹراسونک ٹیسٹنگ (آواز کی رفتار> 5000m/s)۔
سنکنرن مزاحمت: بڑے پیمانے پر نقصان کی شرح (<0.1 mg/cm²・h) HCl ماحول میں جانچی گئی (5 vol%, 1600℃)۔
VET Energy ایک پیشہ ور مینوفیکچرر ہے جو R&D اور اعلی درجے کے جدید مواد جیسے گریفائٹ، سلکان کاربائیڈ، کوارٹز کی تیاری کے ساتھ ساتھ SiC کوٹنگ، TaC کوٹنگ، گلاسی کاربن کوٹنگ، پائرولائٹک کاربن کوٹنگ، وغیرہ کی تیاری پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔
ہماری تکنیکی ٹیم اعلیٰ ملکی تحقیقی اداروں سے آتی ہے، آپ کے لیے مزید پیشہ ورانہ مادی حل فراہم کر سکتی ہے۔
VET توانائی کے فوائد میں شامل ہیں:
• اپنی فیکٹری اور پیشہ ورانہ لیبارٹری؛
• صنعت کی معروف طہارت کی سطح اور معیار؛
• مسابقتی قیمت اور تیز ترسیل کا وقت؛
• دنیا بھر میں متعدد صنعتی شراکتیں؛
ہم آپ کو کسی بھی وقت ہماری فیکٹری اور لیبارٹری کا دورہ کرنے کا خیرمقدم کرتے ہیں!
