Keramikskífuhitari AlN áloxíðhitunarþáttur
Í framleiðslu hálfleiðara þarf að vinna skífur með ýmsum ferlum, svo sem þunnfilmuútfellingu, etsingu o.s.frv. Í þessum ferlum þarf að hita skífurnar upp í ákveðið hitastig og strangar kröfur eru gerðar um hitastigið, því einsleitni hitastigsins hefur mjög mikilvæg áhrif á afköst vörunnar og hitunarþættir eru ómissandi.
Keramik hitarier beint sett á vinnsluhólfið og eru í beinni snertingu við skífuna. Þær bera ekki aðeins skífuna heldur tryggja einnig að hún nái stöðugu og jafnu vinnsluhitastigi. Þær eru lykilþættir í búnaði fyrir þunnfilmuútfellingu hálfleiðara!
Keramikhitarinn inniheldur keramikbotn sem styður við skífuna og sívalningslaga stuðningshluta á bakhliðinni sem styður hana. Auk viðnámsþáttarins (hitalagsins) til upphitunar eru einnig útvarpsbylgjurafskautar (RF lag) inni í eða á yfirborði keramikbotnsins. Til að ná hraðri upphitun og kælingu ætti þykkt keramikbotnsins að vera þunn, en of þunn mun einnig draga úr stífleika hans.
Stuðningur keramikhitarans er almennt úr keramikefni með svipaðan hitaþenslustuðul og botninn. Hitarinn notar einstaka uppbyggingu á botni ástengingar til að vernda tengi og víra fyrir áhrifum plasma og ætandi efnagasa. Stuðningurinn er búinn inntaks- og úttaksröri fyrir varmaflutningsgas til að tryggja jafnt hitastig hitarans. Botninn og stuðningurinn eru efnatengdir með límlagi.
Keramikhitarinn getur verið úr keramikefnum eins og álnítríði (AlN), kísillnítríði (Si3N4) og áloxíði (Al2O3). Meðal þeirra er AlN besti kosturinn fyrir keramikhitara. Í samanburði við önnur efni hefur AlN keramikið frá VET Energy eftirfarandi eiginleika:
(1) Góð varmaleiðni;
(2) Samsvarandi varmaþenslustuðull við hálfleiðara kísillefni;
(3) Góðir vélrænir eiginleikar, framúrskarandi slitþol og alhliða vélrænir eiginleikar eru betri en beryllíumoxíð og jafngildir áloxíði;
(4) Framúrskarandi alhliða rafmagnseiginleikar, framúrskarandi rafmagns einangrun og lítið rafskautstap;
(5) Eiturefnalaust og umhverfisvænt.
Gagnablað fyrir keramikefni
| Vara | 95% áloxíð | 99% áloxíð | Sirkoníum | Kísilkarbíð | SílikonNítríði | ÁlNítríði |
| Litur | hvítt | Ljósgult | hvítt | svartur | svartur | grár |
| Þéttleiki (g/cm3) | 3,7 g/cm3 | 3,9 g/cm3 | 6,02 g/cm3 | 3,2 g/cm3 | 3,25 g/cm3 | 3,2 g/cm3 |
| Vatnsupptaka | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Hörku (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Beygjustyrkur (MPa) | 300 MPa | 400 MPa | 1100 MPa | 450 MPa | 800 MPa | 310 MPa |
| Þjöppunarstyrkur (MPa) | 2500 MPa | 2800 MPa | 3600 MPa | 2000 MPa | 2600 MPa | - |
| Teygjanleikastuðull Youngs | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Poisson-hlutfallið | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Varmaleiðni | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Rafmagnsstyrkur | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm |
| Rúmmálsviðnám (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy er faglegur framleiðandi sem einbeitir sér að rannsóknum og þróun og framleiðslu á háþróuðum efnum eins og grafíti, kísilkarbíði, kvarsi, sem og efnismeðferð eins og SiC húðun, TaC húðun, gljáandi kolefnishúðun, hitaleiðandi kolefnishúðun o.s.frv. Vörurnar eru mikið notaðar í sólarorku, hálfleiðurum, nýrri orku, málmvinnslu o.s.frv.
Tækniteymi okkar kemur frá fremstu innlendum rannsóknarstofnunum og getur veitt þér faglegri efnislausnir.
Kostir VET Energy eru meðal annars:
• Eigin verksmiðja og fagleg rannsóknarstofa;
• Hreinleikastig og gæði í fremstu röð í greininni;
• Samkeppnishæft verð og hraður afhendingartími;
• Fjölbreytt samstarf í greininni um allan heim;
Við bjóðum þér velkomin að heimsækja verksmiðju okkar og rannsóknarstofu hvenær sem er!
