Parti ta' Nofs Qamar tal-Grafita Miksija bis-SiC Għal Forn Epitassjali tal-Karbur tas-Silikon

Deskrizzjoni Qasira:

VET Energy huwa manifattur u fornitur professjonali ta' komponenti ewlenin ta' fran epitassjali tas-silikon karbur. Il-parti tagħna ta' nofs qamar tal-grafita miksija bis-SiC tuża grafita ta' purità għolja flimkien ma' teknoloġija avvanzata ta' kisi CVD. Hija ddisinjata għal ambjenti epitassjali b'temperatura għolja u korrużivi ħafna. Il-grafita ta' purità għolja tagħti lill-komponent reżistenza eċċellenti għal temperatura għolja (>1600℃) u stabbiltà termali, u tiżgura uniformità tal-kamp termali; il-kisi CVD jifforma saff protettiv dens fuq il-wiċċ permezz tat-teknoloġija CVD, u jtejjeb b'mod sinifikanti l-proprjetajiet anti-ossidazzjoni u anti-inċiżjoni, u jestendi l-ħajja tas-servizz b'aktar minn 3 darbiet.

Materjal:Grafita ta' purità għolja

Purifikazzjoni:<5ppm

Kisi:CVD-SiC jew CVD-TaC

Personalizzazzjoni:Forn tal-marka jew OEM

Ibgħatilna email Niżżel bħala PDF

Dettalji tal-Prodott

Tikketti tal-Prodott

Parti ta' Nofs Qamar tal-Grafita Miksija bis-SiChuwa komponent ewlieni użat fil-proċessi tal-manifattura tas-semikondutturi, speċjalment għat-tagħmir epitassjali tas-SiC. Aħna nużaw it-teknoloġija brevettata tagħna biex nagħmlu l-parti ta' nofs qamar b'purità estremament għolja, uniformità tajba tal-kisi u ħajja ta' servizz eċċellenti, kif ukoll proprjetajiet ta' reżistenza kimika għolja u stabbiltà termali.

Materjal bażi: grafita ta' purità għolja
Rekwiżiti ta' purità:Kontenut ta' karbonju ≥99.99%, kontenut ta' rmied ≤5ppm, biex jiġi żgurat li l-ebda impurità ma tiġi preċipitat biex tikkontamina s-saff epitassjali f'temperaturi għoljin.
Vantaġġi tal-prestazzjoni:
Konduttività termali għolja:Il-konduttività termali f'temperatura tal-kamra tilħaq il-150W/(m・K), li hija qrib il-livell tar-ram u tista' tittrasferixxi s-sħana malajr.
Koeffiċjent ta' espansjoni baxx:5×10^-6/℃ (25-1000℃), li jaqbel mas-sottostrat tal-karbur tas-silikon (4.2 × 10^-6/℃), tnaqqas il-qsim tal-kisi kkawżat minn stress termali.
Preċiżjoni tal-ipproċessar:Tolleranza dimensjonali ta' ±0.05mm tinkiseb permezz tal-magni CNC biex jiġi żgurat is-siġillar tal-kompartiment.

Applikazzjonijiet differenzjati ta' CVD SiC u CVD TaC

Kisi	Proċess	Paragun	Applikazzjoni tipika
CVD-SiC	Temperatura: 1000-1200℃Pressjoni: 10-100 Torr	Ebusija HV2500, ħxuna 50-100um, reżistenza eċċellenti għall-ossidazzjoni (stabbli taħt is-1600 ℃)	Fran epitassjali universali, adattati għal atmosferi konvenzjonali bħall-idroġenu u s-silan
CVD-TaC	Temperatura: 1600-1800℃Pressjoni: 1-10 Torr	Ebusija HV3000, ħxuna 20-50um, reżistenti ħafna għall-korrużjoni (tista' tiflaħ gassijiet korrużivi bħal HCl, NH₃, eċċ.)	Ambjenti korrużivi ħafna (bħal tagħmir tal-epitassija u l-inċiżjoni tal-GaN), jew proċessi speċjali li jeħtieġu temperaturi ultra-għoljin ta' 2600°C

Spezzjoni tal-kwalità

Ħxuna tal-kisi: gauge tal-ħxuna bil-lejżer (preċiżjoni ±1um) jew analiżi trasversali SEM.
Saħħa tal-irbit: test tal-grif (tagħbija kritika > 50N) jew ittestjar ultrasoniku (veloċità tal-ħoss > 5000m/s).
Reżistenza għall-korrużjoni: rata ta' telf ta' massa (<0.1 mg/cm²・h) ittestjata f'atmosfera ta' HCl (5 vol%, 1600℃).

VET Energy huwa manifattur professjonali li jiffoka fuq l-R&Ż u l-produzzjoni ta' materjali avvanzati ta' kwalità għolja bħal grafit, karbur tas-silikon, kwarz, kif ukoll it-trattament tal-materjali bħal kisi SiC, kisi TaC, kisi tal-karbonju tal-ħġieġ, kisi tal-karbonju pirolitiku, eċċ. Il-prodotti jintużaw ħafna fil-fotovoltajka, semikondutturi, enerġija ġdida, metallurġija, eċċ.

It-tim tekniku tagħna ġej minn istituzzjonijiet ta' riċerka domestiċi ewlenin, jista' jipprovdilek soluzzjonijiet materjali aktar professjonali.

Il-vantaġġi tal-Enerġija tal-VET jinkludu:
• Fabbrika proprja u laboratorju professjonali;
• Livelli ta' purità u kwalità li huma l-aqwa fl-industrija;
• Prezz kompetittiv & Ħin ta' kunsinna veloċi;
• Sħubijiet multipli tal-industrija madwar id-dinja;

Nilqgħuk iżżur il-fabbrika u l-laboratorju tagħna fi kwalunkwe ħin!