Гармкунаки вафли сафолӣ AlN Элементи гармидиҳии алюминий

Гармкунаки вафли сафолӣ AlN Элементи гармидиҳии алюминий
Дар истеҳсоли нимноқилҳо вафлиҳоро дар равандҳои гуногун коркард кардан лозим аст, масалан, рехтани қабати тунук, сӯзишворӣ ва ғайра. Дар ин звеноҳо вафлиҳоро то ҳарорати муайян гарм кардан лозим аст ва нисбат ба ҳарорат талаботи қатъӣ вуҷуд дорад, зеро якрангии ҳарорат ба ҳосили маҳсулот таъсири хеле муҳим дорад ва ҷузъҳои гармидиҳӣ бефосила мебошанд.

Гармкунаки керамикӣбевосита ба камераи коркард истифода бурда мешавад ва дар тамос бевосита бо вафли мебошанд. Онҳо на танҳо вафлиро мебардоранд, балки инчунин кафолат медиҳанд, ки пластинка ҳарорати мӯътадил ва якхелаи процессро ба даст меорад. Онҳо ҷузъҳои асосии таҷҳизоти таҳшинсозии филми тунуки нимноқил мебошанд!

Гармкунаки сафолӣ як пойгоҳи сафолиро дар бар мегирад, ки вафлиро дастгирӣ мекунад ва корпуси силиндрӣ дар тарафи қафо, ки онро дастгирӣ мекунад. Ба гайр аз элементи муковимат (кабати гармидихй) барои гарм кардан, дар дохил ва ё руи тахкурсии сафолин электродхои радиобасомад (кабати РФ) низ мавчуданд. Барои ноил шудан ба гармидиҳӣ ва хунуккунии зуд, ғафсии пояи сафолӣ бояд борик бошад, аммо аз ҳад зиёд борик сахтиро низ коҳиш медиҳад.

Дастгирии гармкунаки сафолӣ одатан аз маводи сафолӣ бо коэффисиенти тавсеаи гармии монанд ба пойгоҳ сохта шудааст. Гармкунак сохтори беназири қаъри муштараки чоҳро қабул мекунад, то терминалҳо ва симҳоро аз таъсири плазма ва газҳои кимиёвии зангзананда муҳофизат кунад. Дастгоҳ бо қубури гази интиқоли гармӣ муҷаҳҳаз аст, то ҳарорати якхелаи гармкунак таъмин карда шавад. Асос ва такягоҳ бо қабати пайвасткунанда ба таври химиявӣ пайваст карда мешаванд.

Гармкунаки сафолиро аз сафолҳо ба монанди нитриди алюминий (AlN), нитриди кремний (Si3N4) ва оксиди алюминий (Al2O3) сохтан мумкин аст. Дар байни онҳо AlN беҳтарин интихоб барои гармкунакҳои сафолӣ мебошад. Дар муқоиса бо дигар маводҳо, сафолҳои VET Energy AlN дорои хусусиятҳои зерин мебошанд:
(1) гузариши хуби гармӣ;
(2) Коэффисиенти васеъшавии гармидиҳӣ ба маводи кремнийи нимноқил;
(3) Хусусиятҳои хуби механикӣ, муқовимати аълои фарсудашавӣ ва хосиятҳои механикии ҳамаҷониба беҳтар аз оксиди бериллий ва баробар ба оксиди алюминий мебошанд;
(4) Хусусиятҳои аълои барқӣ, изолятсияи аълои барқ ​​​​ва талафоти ками диэлектрикӣ;
(5) Заҳролуд нест ва аз ҷиҳати экологӣ тоза.