Элементи гармидиҳии вафлии сафолӣ AlN алюминий
Дар истеҳсоли нимноқилҳо, пластинаҳоро бояд бо равандҳои гуногун, ба монанди таҳшин кардани плёнкаи тунук, кандакорӣ ва ғайра, коркард кард. Дар ин ҳалқаҳо, пластинаҳоро бояд то ҳарорати муайян гарм кард ва талаботи қатъӣ барои ҳарорат вуҷуд дорад, зеро яксонии ҳарорат ба ҳосилнокии маҳсулот таъсири хеле муҳим мерасонад ва ҷузъҳои гармидиҳӣ ҳатмӣ мебошанд.
Гармкунаки сафолӣмустақиман ба камераи коркард татбиқ карда мешавад ва бо пластина дар тамос мустақиманд. Онҳо на танҳо пластинаро интиқол медиҳанд, балки инчунин кафолат медиҳанд, ки пластина ҳарорати устувор ва якхелаи коркардро ба даст меорад. Онҳо ҷузъҳои калидӣ дар таҷҳизоти нимноқилӣ барои таҳшин кардани плёнкаи тунук мебошанд!
Гармкунаки сафолӣ аз пояи сафолӣ иборат аст, ки пластинаро дастгирӣ мекунад ва дар тарафи қафо корпуси такягоҳи силиндрӣ, ки онро дастгирӣ мекунад. Илова бар унсури муқовимат (қабати гармидиҳӣ) барои гармкунӣ, инчунин электродҳои басомади радио (қабати RF) дар дохил ё дар сатҳи пояи сафолӣ мавҷуданд. Барои ба даст овардани гармкунӣ ва хунуккунии босуръат, ғафсии пояи сафолӣ бояд тунук бошад, аммо аз ҳад зиёд тунук будан сахтиро низ коҳиш медиҳад.
Такягоҳи гармкунаки сафолӣ одатан аз маводи сафолӣ бо коэффисиенти васеъшавии гармӣ ба пойгоҳ монанд сохта мешавад. Гармкунак сохтори беназири поёни пайванди меҳварро барои муҳофизат кардани терминалҳо ва симҳо аз таъсири газҳои кимиёвии плазма ва зангзананда истифода мебарад. Такягоҳ бо қубури вуруд ва баромади гази интиқоли гармӣ муҷаҳҳаз шудааст, то ҳарорати якхелаи гармкунакро таъмин кунад. Пойгоҳ ва такягоҳ бо қабати пайвандкунанда ба таври кимиёвӣ пайваст карда шудаанд.
Гармкунаки сафолӣ метавонад аз сафолҳо, ба монанди нитриди алюминий (AlN), нитриди кремний (Si3N4) ва оксиди алюминий (Al2O3) сохта шавад. Дар байни онҳо, AlN беҳтарин интихоб барои гармкунакҳои сафолӣ мебошад. Дар муқоиса бо дигар маводҳо, сафолии AlN-и VET Energy хусусиятҳои зеринро дорад:
(1) Гузаронандагии хуби гармӣ;
(2) Коэффитсиенти васеъшавии гармӣ бо маводҳои нимноқилии кремний мувофиқ карда шудааст;
(3) Хусусиятҳои хуби механикӣ, муқовимати аълои фарсудашавӣ ва хосиятҳои ҳамаҷонибаи механикӣ нисбат ба оксиди бериллий беҳтар ва баробар ба оксиди алюминий мебошанд;
(4) Хусусиятҳои аълои ҳамаҷонибаи барқӣ, изолятсияи аълои барқӣ ва талафоти ками диэлектрикӣ;
(5) Заҳролуд нест ва ба муҳити зист зарар надорад.
Варақаи маълумот дар бораи маводҳои керамикӣ
| Ашё | 95% алюминий | 99% алюминий | Зиркония | Карбиди кремний | СиликонNитроид | АлюминийNитроид |
| Ранг | сафед | Зарди равшан | сафед | сиёҳ | сиёҳ | хокистарранг |
| Зичӣ (г/см3) | 3.7 г/см3 | 3.9г/см3 | 6.02г/см3 | 3.2 г/см3 | 3.25г/см3 | 3.2 г/см3 |
| Ҷабби об | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Сахтӣ (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Қувваи хамшавӣ (МПа) | 300 МПа | 400 МПа | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310 МПа |
| Қувваи фишурдашавӣ (МПа) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000 МПа | 2600MPa | - |
| Модули чандирии Янг | 300 ГПа | 300 ГПа | 320 ГПа | 450 ГПа | 290 ГПа | 310~350 ГПа |
| Таносуби Пуассон | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Гузаронидани гармӣ | 20Вт/м°C | 32Вт/м°C | 3Вт/м°C | 50 Вт/м°C | 25Вт/м°C | 150 Вт/м°C |
| Қувваи диэлектрикӣ | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм | 14КВ/мм |
| Муқовимати ҳаҷм (25℃) | >1014Ω·см | >1014Ω·см | >1014Ω·см | >105Ω·см | >1014Ω·см | >1014Ω·см |
VET Energy як истеҳсолкунандаи касбӣ аст, ки ба таҳқиқот ва рушд ва истеҳсоли маводҳои пешрафтаи баландсифат, аз қабили графит, карбиди кремний, кварс, инчунин коркарди мавод ба монанди рӯйпӯши SiC, рӯйпӯши TaC, рӯйпӯши карбонии шишагин, рӯйпӯши карбонии пиролитикӣ ва ғайра тамаркуз мекунад. Маҳсулот ба таври васеъ дар соҳаҳои фотоэлектрикӣ, нимноқилҳо, энергияи нав, металлургия ва ғайра истифода мешаванд.
Гурӯҳи техникии мо аз муассисаҳои пешбари тадқиқотии ватанӣ иборат аст ва метавонад барои шумо роҳҳои ҳалли касбии маводро пешниҳод кунад.
Афзалиятҳои VET Energy инҳоянд:
• Заводи шахсӣ ва озмоишгоҳи касбӣ;
• Сатҳҳо ва сифати покизагӣ дар соҳа пешсафанд;
• Нархи рақобатпазир ва мӯҳлати интиқоли зуд;
• Шарикиҳои сершумори соҳавӣ дар саросари ҷаҳон;
Мо шуморо барои боздид аз корхона ва лабораторияи мо дар вақти дилхоҳ истиқбол мекунем!
