Sic örtük näme? – VET ENERGY

Silikon karbidikremniý we uglerody öz içine alýan gaty birleşme bolup, tebigatda örän seýrek duş gelýän moissanit mineraly hökmünde duş gelýär. Kremniý karbid bölejikleri, esasanam ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemekde ýokary berkligi talap edýän ulgamlarda giňden ulanylýan örän berk keramika emele getirmek üçin sinterlemek arkaly birleşip bilner.

SiC-niň fiziki gurluşy

SiC örtügi näme?

SiC örtügi ýokary korroziýa we ýylylyga çydamly hem-de ajaýyp ýylylyk geçirijiligi bolan dykyz, aşynma garşy kremniý karbid örtügidir. Bu ýokary arassa SiC örtügi, esasan, ýarymgeçirijiler we elektronika senagatynda plastinka daşaýjylaryny, esaslary we gyzdyryjy elementleri korroziýa we reaktiw gurşawlardan goramak üçin ulanylýar. SiC örtügi şeýle hem wakuum peçleri we ýokary wakuum, reaktiw we kislorod gurşawlarynda nusga gyzdyrmak üçin amatlydyr.

Ýokary arassalykdaky SiC örtük ýüzi

SiC örtük prosesi näme?

Substratyň ýüzüne kremniý karbidiniň inçe gatlagy ulanylyp goýulýarCVD (Himiki bug çökündisi)Çökdürme adatça 1200-1300°C temperaturada amala aşyrylýar we termal stressi azaltmak üçin substrat materialynyň termal giňelme häsiýeti SiC örtügi bilen gabat gelmelidir.

CVD SIC PLÝONKASYNYŇ KRISTAL GURLUŞY

CVD SIC örtük plýonkasynyň kristal gurluşy

SiC örtüginiň fiziki häsiýetleri, esasan, onuň ýokary temperatura çydamlylygynda, gatylygynda, korroziýa garşylygynda we ýylylyk geçirijiliginde öz beýanyny tapýar.

Adatça fiziki parametrler aşakdaky ýaly bolýar:

GatylykSiC örtügi, adatça, 2000-2500 HV aralygyndaky Wickers gatylygyna eýedir, bu bolsa olara senagat ulanylyşynda örän ýokary aşynma we zarba garşylygyny berýär.

DykyzlykSiC örtükleriniň dykyzlygy adatça 3,1-3,2 g/sm³ bolýar. Ýokary dykyzlyk örtügiň mehaniki berkligine we çydamlylygyna goşant goşýar.

Ýylylyk geçirijiligiSiC örtükleri ýokary ýylylyk geçirijiligine eýedir, adatça 120-200 W/mK aralygynda (20°C-de). Bu bolsa oňa ýokary temperaturaly gurşawlarda gowy ýylylyk geçirijiligini berýär we ony ýarymgeçiriji senagatynda ýylylyk bilen işleýän enjamlar üçin has amatly edýär.

Ereme nokadyKremniý karbidiniň ereme temperaturasy takmynan 2730°C we ekstremal temperaturalarda ajaýyp termal durnuklylyga eýedir.

Termal giňelme koeffisiýentiSiC örtükleri pes çyzykly termal giňelme koeffisiýentine (CTE) eýedir, adatça 4.0-4.5 µm/mK aralygynda (25-1000℃ aralygynda). Bu onuň ölçegli durnuklylygynyň uly temperatura tapawutlarynda ajaýypdygyny aňladýar.

Korroziýa garşylygySiC örtükleri güýçli kislota, aşgar we oksidleýji gurşawlarda, esasanam güýçli kislotalar (meselem, HF ýa-da HCl) ulanylanda, korroziýa garşy örän durnuklydyr, olaryň korroziýa garşylygy adaty metal materiallaryndan has ýokarydyr.

SiC örtük ulanylyş substraty

SiC örtügi köplenç substratyň korroziýa garşylygyny, ýokary temperatura garşylygyny we plazma eroziýa garşylygyny ýokarlandyrmak üçin ulanylýar. Umumy ulanylýan substratlar aşakdakylary öz içine alýar:

Substrat görnüşi	Arzanyň sebäbi	Adaty ulanylyş
Grafit	- Ýeňil gurluş, gowy ýylylyk geçirijiligi - Ýöne plazma bilen aňsatlyk bilen poslanýar, SiC örtük goragyny talap edýär	Wakuum kamerasynyň bölekleri, grafit gaýyklary, plazma aşındyryjy tabaklar we ş.m.
Kwars (Kwars/SiO₂)	- Ýokary arassalyk, ýöne aňsatlyk bilen poslanýar - Örtük plazma eroziýa garşylygyny ýokarlandyrýar	CVD/PECVD kamera bölekleri
Keramika (meselem, alýumin dioksidi Al₂O₃)	- Ýokary berklik we durnukly gurluş - Örtük ýüziň korroziýa garşylygyny gowulandyrýar	Kameranyň astarlary, armaturalary we ş.m.
Metallar (molibden, titan we ş.m.)	- Gowy ýylylyk geçirijiligi, ýöne korroziýa garşylygy pes - Örtük ýüziň durnuklylygyny gowulandyrýar	Ýörite proses reaksiýa komponentleri
Silikon karbid sinterlenen göwre (SiC köpçülikleýin)	- Çylşyrymly iş şertleri üçin ýokary talaplary bolan gurşawlar üçin - Örtük arassalygy we korroziýa garşylygyny has-da gowulandyrýar	Ýokary derejeli CVD/ALD kamerasynyň bölekleri

SiC bilen örtülen önümler aşakdaky ýarymgeçiriji ugurlarda giňden ulanylýar

SiC örtük önümleri ýarymgeçirijileri gaýtadan işlemekde, esasan ýokary temperaturada, ýokary poslamada we güýçli plazma gurşawlarynda giňden ulanylýar. Aşakda birnäçe esasy ulanylyş prosesleri ýa-da ugurlary we gysgaça düşündirişleri görkezilen:

Ariza prosesi/meýdançasy	Gysgaça düşündiriş	Silikon karbid örtük funksiýasy
Plazma aşındyrmasy (aşındyrma)	Nümunäni geçirmek üçin ftor ýa-da hlor esasly gazlary ulanyň	Plazma eroziýasyna garşy duruň we bölejikleriň we metalyň hapalanmagynyň öňüni alyň
Himiki bug çökündisi (CVD/PECVD)	Oksid, nitrid we beýleki inçe plýonkalaryň çökmegi	Korroziw öňki gazlara garşy duruň we komponentleriň ömrüni uzaldyň
Fiziki bug çökündisi (PVD) kamerasy	Örtmek prosesi wagtynda ýokary energiýaly bölejikler bilen bombardman etmek	Reaksiýa kamerasynyň eroziýa garşylygyny we ýylylyga garşylygyny gowulandyryň
MOCVD prosesi (SiC epitaksial ösüşi ýaly)	Ýokary temperatura we ýokary wodorodly aşyndyryjy atmosferada uzak möhletli reaksiýa	Enjamlaryň durnuklylygyny saklaň we ösýän kristallaryň hapalanmagynyň öňüni alyň
Ýylylyk bilen işläp bejeriş prosesi (LPCVD, diffuziýa, ýumşatmak we ş.m.)	Adatça ýokary temperaturada we wakuumda/atmosferada geçirilýär	Grafit gaýyklaryny we tabaklaryny oksidleşmeden ýa-da korroziýadan goraň
Wafer daşaýjy/patron (Wafer bilen işlemek)	Plastinkany geçirmek ýa-da goldamak üçin grafit esasy	Bölejikleriň dökülmegini azaldyň we kontakt hapalanmagynyň öňüni alyň
ALD kamerasynyň bölekleri	Atom gatlagynyň çökündisini gaýta-gaýta we takyk gözegçilikde saklaň	Örtük kamerany arassa saklaýar we öňki maddalara garşy ýokary korroziýa garşylygyna eýedir

Näme üçin VET Energy-ni saýlamaly?

VET Energy Hytaýda SiC örtük önümleriniň öňdebaryjy öndürijisi, innowatory we lideri bolup, esasy SiC örtük önümlerine şular girýärSiC örtükli wafer daşaýjy, SiC bilen örtülenepitaksial susseptor, SiC örtülen grafit halkasy, SiC örtükli ýarym aý şekilli bölekler, SiC bilen örtülen uglerod-uglerod kompoziti, SiC örtülen wafer gaýygy, SiC örtükli gyzdyryjywe ş.m. "VET Energy" ýarymgeçirijiler senagatyna iň täze tehnologiýalar we önüm çözgütlerini hödürlemäge ygrarlydyr we özleşdiriş hyzmatlaryny goldaýar. Biz Hytaýda siziň uzak möhletli hyzmatdaşyňyz bolmagy tüýs ýürekden umyt edýäris.