Seramika gofret isitgichi AlN alumina isitish elementi

Seramika gofret isitgichi AlN alumina isitish elementi
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarishda gofretlarni turli jarayonlarda qayta ishlash kerak, masalan, yupqa plyonkani cho'ktirish, qirqish va hokazo. Bu bog'larda gofretlarni ma'lum bir haroratgacha qizdirish kerak va harorat uchun qat'iy talablar mavjud, chunki haroratning bir xilligi mahsulot unumdorligiga juda muhim ta'sir ko'rsatadi va isitish mumkin bo'lgan komponentlar ajralmas hisoblanadi.

Seramika isitgichto'g'ridan-to'g'ri texnologik kameraga qo'llaniladi va gofret bilan bevosita aloqada bo'ladi. Ular nafaqat gofretni olib yurishadi, balki gofretning barqaror va bir xil jarayon haroratini olishini ham ta'minlaydi. Ular yarimo'tkazgichli yupqa plyonkalarni joylashtirish uskunasining asosiy komponentlari!

Seramika isitgich gofretni qo'llab-quvvatlaydigan keramik asosni va uni qo'llab-quvvatlaydigan orqa tomonda silindrsimon tayanch tanasini o'z ichiga oladi. Isitish uchun qarshilik elementiga (isitish qatlami) qo'shimcha ravishda, keramik taglikning ichida yoki yuzasida radio chastotali elektrodlar (RF qatlami) ham mavjud. Tez isitish va sovutishga erishish uchun keramik taglikning qalinligi nozik bo'lishi kerak, lekin juda nozik ham qattiqlikni kamaytiradi.

Seramika isitgichni qo'llab-quvvatlash, odatda, taglikka o'xshash termal kengayish koeffitsientiga ega bo'lgan keramik materialdan tayyorlanadi. Isitgich terminallar va simlarni plazma va korroziy kimyoviy gazlar ta'siridan himoya qilish uchun milya bo'g'inlarining pastki qismining noyob tuzilishini qabul qiladi. Isitgichning bir xil haroratini ta'minlash uchun qo'llab-quvvatlash issiqlik o'tkazuvchi gaz kirish va chiqish trubkasi bilan jihozlangan. Baza va tayanch birlashtiruvchi qatlam bilan kimyoviy jihatdan bog'langan.

Seramika isitgich alyuminiy nitridi (AlN), silikon nitridi (Si3N4) va alumina (Al2O3) kabi keramikadan tayyorlanishi mumkin. Ular orasida AlN keramik isitgichlar uchun eng yaxshi tanlovdir. Boshqa materiallar bilan solishtirganda, VET Energy kompaniyasining AlN keramikasi quyidagi xususiyatlarga ega:
(1) Yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligi;
(2) Yarimo'tkazgichli silikon materiallarga mos keladigan termal kengayish koeffitsienti;
(3) Yaxshi mexanik xususiyatlar, mukammal aşınma qarshilik va keng qamrovli mexanik xususiyatlar berilyum oksididan yaxshiroq va alyuminiy oksidiga teng;
(4) Zo'r keng qamrovli elektr xususiyatlari, mukammal elektr izolyatsiyasi va past dielektrik yo'qotish;
(5) Toksik bo'lmagan va ekologik toza.