SiC Coated Graphite Halfmoon Partusa ka hinungdanon nga sangkap nga gigamit sa mga proseso sa paghimo sa semiconductor, labi na alang sa kagamitan sa epitaxial sa SiC. Gigamit namon ang among patente nga teknolohiya aron mahimo ang bahin sa halfmoon nga adunay labi ka taas nga kaputli, maayo nga pagkaparehas sa coating ug usa ka maayo kaayo nga kinabuhi sa serbisyo, ingon man taas nga resistensya sa kemikal ug mga kabtangan sa kalig-on sa thermal.
Base nga materyal: high-purity graphite
Mga kinahanglanon sa kaputli:carbon content ≥99.99%, ash content ≤5ppm, aron maseguro nga walay mga hugaw nga ma-precipitate nga makahugaw sa epitaxial layer sa taas nga temperatura.
Mga bentaha sa performance:
Taas nga thermal conductivity:Ang thermal conductivity sa temperatura sa kwarto moabot sa 150W/(m・K), nga duol sa lebel sa tumbaga ug dali nga makabalhin sa kainit.
Ubos nga expansion coefficient:5×10-6/ ℃ (25-1000 ℃), pagpares sa silicon carbide substrate (4.2 × 10-6/ ℃), pagkunhod sa cracking sa taklap tungod sa thermal stress.
Pagproseso sa katukma:Ang usa ka dimensional nga pagtugot sa ± 0.05mm makab-ot pinaagi sa CNC machining aron masiguro ang pag-seal sa chamber.
Nagkalainlain nga mga aplikasyon sa CVD SiC ug CVD TaC
| Pagtabon | Proseso | Pagtandi | Kasagaran nga aplikasyon |
| CVD-SiC | Temperatura: 1000-1200 ℃ Presyon: 10-100 Torr | Katig-a HV2500, gibag-on 50-100um, maayo kaayo nga pagsukol sa oksihenasyon (stable ubos sa 1600 ℃) | Ang unibersal nga epitaxial furnaces, angay alang sa naandan nga mga atmospera sama sa hydrogen ug silane |
| CVD-TaC | Temperatura: 1600-1800 ℃ Presyon: 1-10 Torr | Katig-a HV3000, gibag-on 20-50um, hilabihan ka corrosion-resistant (makasugakod sa corrosive gas sama sa HCl, NH₃, etc.) | Makadaot kaayo nga mga palibot (sama sa GaN epitaxy ug etching equipment), o mga espesyal nga proseso nga nagkinahanglan ug ultra-high temperature nga 2600°C |
Pag-inspeksyon sa kalidad
Gibag-on sa sapaw: laser gibag-on gauge (tukma ± 1um) o SEM cross-sectional analysis.
Kalig-on sa bond: scratch test (kritikal nga load> 50N) o ultrasonic testing (tunog tulin> 5000m/s).
Pagsukol sa kaagnasan: rate sa pagkawala sa masa (<0.1 mg/cm²・h) gisulayan sa HCl atmospera (5 vol%, 1600 ℃).
Ang VET Energy usa ka propesyonal nga tiggama nga nagpunting sa R&D ug paghimo sa mga high-end nga advanced nga materyales sama sa graphite, silicon carbide, quartz, ingon man ang materyal nga pagtambal sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa.
Ang among teknikal nga grupo naggikan sa mga nanguna nga mga institusyon sa panukiduki sa lokal, makahatag labi ka propesyonal nga mga solusyon sa materyal alang kanimo.
Ang mga bentaha sa VET Energy naglakip sa:
• Kaugalingong pabrika ug propesyonal nga laboratoryo;
• Ang nanguna sa industriya sa kaputli ug kalidad;
• Competitive nga presyo & Fast delivery nga panahon;
• Daghang pakigtambayayong sa industriya sa tibuok kalibotan;
Giabiabi ka namo sa pagbisita sa among pabrika ug laboratoryo bisan unsang orasa!
