Bahin sa Halfmoon nga Giputos sa SiC Graphiteusa ka importanteng sangkap nga gigamit sa mga proseso sa paggama sa semiconductor, labi na sa mga kagamitan sa epitaxial nga SiC. Gigamit namo ang among patentadong teknolohiya aron mahimo ang bahin sa halfmoon nga adunay taas kaayo nga kaputli, maayo nga pagkaparehas sa coating ug maayo kaayo nga kinabuhi sa serbisyo, ingon man taas nga resistensya sa kemikal ug thermal stability nga mga kabtangan.
Base nga materyal: taas nga kaputli nga grapayt
Mga kinahanglanon sa kaputli:sulod sa carbon ≥99.99%, sulod sa abo ≤5ppm, aron masiguro nga walay mga hugaw nga mogawas nga makahugaw sa epitaxial layer sa taas nga temperatura.
Mga bentaha sa performance:
Taas nga konduktibidad sa kainit:Ang thermal conductivity sa temperatura sa kwarto moabot sa 150W/(m・K), nga hapit sa lebel sa tumbaga ug dali nga makabalhin sa kainit.
Ubos nga koepisyent sa pagpalapad:5×10-6/℃ (25-1000℃), nga mohaom sa silicon carbide substrate (4.2×10-6/℃), nga nagpamenos sa pagliki sa coating nga gipahinabo sa thermal stress.
Katukma sa pagproseso:Ang dimensional tolerance nga ±0.05mm nakab-ot pinaagi sa CNC machining aron masiguro ang pagsilyo sa chamber.
Nagkalainlaing aplikasyon sa CVD SiC ug CVD TaC
| Pagtabon | Proseso | Pagtandi | Kasagaran nga aplikasyon |
| CVD-SiC | Temperatura: 1000-1200℃Presyo: 10-100 Torr | Katig-a HV2500, gibag-on 50-100um, maayo kaayong resistensya sa oksihenasyon (lig-on ubos sa 1600℃) | Mga universal epitaxial furnace, nga angay alang sa naandan nga mga atmospera sama sa hydrogen ug silane |
| CVD-TaC | Temperatura: 1600-1800℃Presyo: 1-10 Torr | Katig-a HV3000, gibag-on 20-50um, hilabihan ka dili madaot sa taya (makasugakod sa mga makadaot nga gas sama sa HCl, NH₃, ug uban pa) | Mga palibot nga kusog mokadunot (sama sa GaN epitaxy ug etching equipment), o espesyal nga mga proseso nga nanginahanglan og taas kaayo nga temperatura nga 2600°C |
Inspeksyon sa kalidad
Gibag-on sa panapton: sukdanan sa gibag-on sa laser (katukma ±1um) o pag-analisa sa cross-sectional sa SEM.
Kusog sa pagdikit: pagsulay sa pagkamot (kritikal nga karga > 50N) o pagsulay sa ultrasonic (tulin sa tunog > 5000m/s).
Pagsukol sa kaagnasan: rate sa pagkawala sa masa (<0.1 mg/cm²・h) nga gisulayan sa atmospera sa HCl (5 vol%, 1600℃).
Ang VET Energy usa ka propesyonal nga tiggama nga nagpunting sa R&D ug produksiyon sa mga high-end advanced nga materyales sama sa graphite, silicon carbide, quartz, ingon man ang material treatment sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa. Ang mga produkto kaylap nga gigamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, ug uban pa.
Ang among teknikal nga grupo gikan sa mga nanguna nga institusyon sa panukiduki sa nasud, makahatag ug mas propesyonal nga mga solusyon sa materyal para kanimo.
Ang mga bentaha sa VET Energy naglakip sa:
• Kaugalingong pabrika ug propesyonal nga laboratoryo;
• Nanguna sa industriya nga lebel sa kaputli ug kalidad;
• Kompetitibong presyo ug paspas nga oras sa paghatud;
• Daghang mga panag-uban sa industriya sa tibuok kalibutan;
Gidawat ka namo sa pagbisita sa among pabrika ug laboratoryo bisan unsang orasa!
