Cuid Leathghealach Grafít Brataithe SiCIs comhpháirt ríthábhachtach í a úsáidtear i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe le haghaidh trealaimh eipitacsaigh SiC. Bainimid úsáid as ár dteicneolaíocht phaitinnithe chun an chuid leathghealach a dhéanamh le híonacht thar a bheith ard, aonfhoirmeacht mhaith sciath agus saol seirbhíse den scoth, chomh maith le friotaíocht cheimiceach ard agus airíonna cobhsaíochta teirmeacha.
Ábhar bonn: graifít ard-íonachta
Ceanglais íonachta:cion carbóin ≥99.99%, cion fuinseog ≤5ppm, chun a chinntiú nach ndéantar aon eisíontais a dhé-thruailliú chun an ciseal eipitacsach a éilliú ag teochtaí arda.
Buntáistí feidhmíochta:
Seoltacht theirmeach ard:Sroicheann an seoltacht theirmeach ag teocht an tseomra 150W/(m・K), atá gar do leibhéal an chopair agus is féidir leis teas a aistriú go tapa.
Comhéifeacht leathnú íseal:5×10-6/℃ (25-1000℃), ag teacht leis an tsubstráit sileacain charbíde (4.2 × 10-6/℃), ag laghdú scoilteadh an sciath de bharr struis theirmigh.
Cruinneas próiseála:Baintear amach lamháltas tríthoiseach de ±0.05mm trí mheaisínithe CNC chun séalú an tseomra a chinntiú.
Feidhmeanna difreáilte CVD SiC agus CVD TaC
| Sciath | Próiseas | Comparáid | Feidhmchlár tipiciúil |
| CVD-SiC | Teocht: 1000-1200 ℃ Brú: 10-100 Torr | Cruas HV2500, tiús 50-100um, friotaíocht ocsaídiúcháin den scoth (cobhsaí faoi bhun 1600 ℃) | Foirnéisí eipitacsacha uilíocha, oiriúnach d'atmaisféir thraidisiúnta amhail hidrigin agus silán |
| CVD-TaC | Teocht: 1600-1800 ℃ Brú: 1-10 Torr | Cruas HV3000, tiús 20-50um, thar a bheith frithsheasmhach in aghaidh creimeadh (is féidir leis gáis chreimneacha amhail HCl, NH₃, srl. a sheasamh) | Timpeallachtaí an-chreimneacha (amhail trealamh eipitacsála agus greanta GaN), nó próisis speisialta a éilíonn teochtaí thar a bheith ard de 2600°C |
Cigireacht cáilíochta
Tiús sciath: tomhasaire tiús léasair (cruinneas ±1um) nó anailís thrasghearrthach SEM.
Neart nasctha: tástáil scríobtha (ualach criticiúil > 50N) nó tástáil ultrasonaic (treoluas fuaime > 5000m/s).
Friotaíocht creimeadh: ráta caillteanais maise (<0.1 mg/cm²・h) tástáilte in atmaisféar HCl (5% toirte, 1600℃).
Is monaróir gairmiúil é VET Energy a dhíríonn ar T&F agus táirgeadh ábhar ardleibhéil ar nós graifít, cairbíd sileacain, grianchloch, chomh maith le cóireáil ábhair ar nós sciath SiC, sciath TaC, sciath carbóin gloiní, sciath carbóin pirilíteach, etc. Úsáidtear na táirgí go forleathan i bhfótavoltach, leathsheoltóirí, fuinneamh nua, miotalóireacht, etc.
Tagann ár bhfoireann theicniúil ó na hinstitiúidí taighde intíre is fearr, agus is féidir leo réitigh ábhartha níos gairmiúla a sholáthar duit.
Áirítear leis na buntáistí a bhaineann le VET Energy:
• Monarcha féin agus saotharlann ghairmiúil;
• Leibhéil íonachta agus cáilíochta den scoth sa tionscal;
• Praghas iomaíoch & am seachadta tapa;
• Comhpháirtíochtaí iomadúla tionscail ar fud an domhain;
Cuirimid fáilte romhat cuairt a thabhairt ar ár monarcha agus ar ár saotharlann ag am ar bith!
-
Soláthraithe na Síne le haghaidh Treoirlínte Brataithe TaC Saincheaptha...
-
Cumhdach Sileacain Carbíde CVD Gabhdóir MOCVD
-
Susceptor Wafer Cumhdach Carbide Tantalum
-
Monaróir sciath TaC ardchaighdeáin de charbaíd tantalam...
-
Iompróirí Bonn Graifíte Brataithe SiC
-
Bád Wafer Carbíde Sileacain Athchriostalaithe Le ...