സെറാമിക് വേഫർ ഹീറ്റർ AlN അലുമിന ഹീറ്റിംഗ് എലമെന്റ്

സെറാമിക് വേഫർ ഹീറ്റർ AlN അലുമിന ഹീറ്റിംഗ് എലമെന്റ്
സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ, നേർത്ത ഫിലിം നിക്ഷേപം, എച്ചിംഗ് തുടങ്ങിയ വിവിധ പ്രക്രിയകളിൽ വേഫറുകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യേണ്ടതുണ്ട്. ഈ ലിങ്കുകളിൽ, വേഫറുകൾ ഒരു നിശ്ചിത താപനിലയിലേക്ക് ചൂടാക്കേണ്ടതുണ്ട്, കൂടാതെ താപനിലയ്ക്ക് കർശനമായ ആവശ്യകതകളുണ്ട്, കാരണം താപനിലയുടെ ഏകത ഉൽപ്പന്ന വിളവിൽ വളരെ പ്രധാനപ്പെട്ട സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു, കൂടാതെ ചൂടാക്കൽ ഘടകങ്ങൾ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്തതാണ്.

സെറാമിക് ഹീറ്റർപ്രോസസ് ചേമ്പറിൽ നേരിട്ട് പ്രയോഗിക്കുകയും വേഫറുമായി നേരിട്ട് സമ്പർക്കം പുലർത്തുകയും ചെയ്യുന്നു. അവ വേഫർ വഹിക്കുന്നു എന്നു മാത്രമല്ല, വേഫറിന് സ്ഥിരവും ഏകീകൃതവുമായ ഒരു പ്രോസസ് താപനില ലഭിക്കുന്നുണ്ടെന്ന് ഉറപ്പാക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. സെമികണ്ടക്ടർ നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ ഉപകരണങ്ങളിലെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളാണിവ!

സെറാമിക് ഹീറ്ററിൽ വേഫറിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്ന ഒരു സെറാമിക് ബേസും പിൻവശത്ത് അതിനെ പിന്തുണയ്ക്കുന്ന ഒരു സിലിണ്ടർ സപ്പോർട്ട് ബോഡിയും ഉൾപ്പെടുന്നു. ചൂടാക്കാനുള്ള റെസിസ്റ്റൻസ് എലമെന്റിന് (താപന പാളി) പുറമേ, സെറാമിക് ബേസിന്റെ ഉള്ളിലോ ഉപരിതലത്തിലോ റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി ഇലക്ട്രോഡുകൾ (RF പാളി) ഉണ്ട്. വേഗത്തിലുള്ള ചൂടാക്കലും തണുപ്പും നേടുന്നതിന്, സെറാമിക് ബേസിന്റെ കനം നേർത്തതായിരിക്കണം, പക്ഷേ വളരെ നേർത്തത് കാഠിന്യം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യും.

സെറാമിക് ഹീറ്ററിന്റെ സപ്പോർട്ട് സാധാരണയായി ബേസിന്റേതിന് സമാനമായ താപ വികാസ ഗുണകമുള്ള സെറാമിക് മെറ്റീരിയൽ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. പ്ലാസ്മയുടെയും നാശകാരിയായ രാസ വാതകങ്ങളുടെയും ഫലങ്ങളിൽ നിന്ന് ടെർമിനലുകളെയും വയറുകളെയും സംരക്ഷിക്കുന്നതിന് ഹീറ്റർ ഒരു ഷാഫ്റ്റ് ജോയിന്റ് അടിഭാഗത്തിന്റെ സവിശേഷമായ ഒരു ഘടന സ്വീകരിക്കുന്നു. ഹീറ്ററിന്റെ ഏകീകൃത താപനില ഉറപ്പാക്കാൻ സപ്പോർട്ടിൽ ഒരു ഹീറ്റ് ട്രാൻസ്ഫർ ഗ്യാസ് ഇൻലെറ്റും ഔട്ട്ലെറ്റ് പൈപ്പും സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു. ബേസും സപ്പോർട്ടും ഒരു ബോണ്ടിംഗ് പാളി ഉപയോഗിച്ച് രാസപരമായി ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു.

അലുമിനിയം നൈട്രൈഡ് (AlN), സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ് (Si3N4), അലുമിന (Al2O3) തുടങ്ങിയ സെറാമിക്സുകൾ ഉപയോഗിച്ച് സെറാമിക് ഹീറ്റർ നിർമ്മിക്കാം. അവയിൽ, സെറാമിക് ഹീറ്ററുകൾക്ക് AlN ആണ് ഏറ്റവും മികച്ച ചോയ്സ്. മറ്റ് വസ്തുക്കളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, VET എനർജിയുടെ AlN സെറാമിക്കിന് ഇനിപ്പറയുന്ന സ്വഭാവസവിശേഷതകൾ ഉണ്ട്:
(1) നല്ല താപ ചാലകത;
(2) സെമികണ്ടക്ടർ സിലിക്കൺ വസ്തുക്കളുമായി താപ വികാസ ഗുണകം പൊരുത്തപ്പെട്ടു;
(3) നല്ല മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ, മികച്ച വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, സമഗ്രമായ മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ എന്നിവ ബെറിലിയം ഓക്സൈഡിനേക്കാൾ മികച്ചതും അലുമിനിയം ഓക്സൈഡിന് തുല്യവുമാണ്;
(4) മികച്ച സമഗ്ര വൈദ്യുത ഗുണങ്ങൾ, മികച്ച വൈദ്യുത ഇൻസുലേഷൻ, കുറഞ്ഞ വൈദ്യുത നഷ്ടം;
(5) വിഷരഹിതവും പരിസ്ഥിതി സൗഹൃദവുമാണ്.