සෙරමික් වේෆර් හීටරය AlN ඇලුමිනා තාපන මූලද්රව්යය
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, තුනී පටල තැන්පත් කිරීම, කැටයම් කිරීම වැනි විවිධ ක්රියාවලීන්හිදී වේෆර් සැකසීමට අවශ්ය වේ. මෙම සබැඳි වලදී, වේෆර් යම් උෂ්ණත්වයකට රත් කළ යුතු අතර, උෂ්ණත්වය සඳහා දැඩි අවශ්යතා ඇත, මන්ද උෂ්ණත්වයේ ඒකාකාරිත්වය නිෂ්පාදන අස්වැන්න කෙරෙහි ඉතා වැදගත් බලපෑමක් ඇති කරන අතර තාපන සංරචක අත්යවශ්ය වේ.
සෙරමික් හීටරයක්රියාවලි කුටියට කෙලින්ම යොදන අතර වේෆරය සමඟ සෘජුව සම්බන්ධ වේ. ඒවා වේෆරය රැගෙන යනවා පමණක් නොව, වේෆරය ස්ථාවර හා ඒකාකාර ක්රියාවලි උෂ්ණත්වයක් ලබා ගන්නා බව සහතික කරයි. ඒවා අර්ධ සන්නායක තුනී පටල තැන්පත් කිරීමේ උපකරණවල ප්රධාන සංරචක වේ!
සෙරමික් හීටරයට වේෆරයට ආධාරක වන සෙරමික් පාදයක් සහ එයට ආධාරක වන පිටුපස පැත්තේ සිලින්ඩරාකාර ආධාරක ශරීරයක් ඇතුළත් වේ. උණුසුම සඳහා ප්රතිරෝධක මූලද්රව්යයට (තාපන ස්ථරය) අමතරව, සෙරමික් පාදයේ ඇතුළත හෝ මතුපිට රේඩියෝ සංඛ්යාත ඉලෙක්ට්රෝඩ (RF ස්ථරය) ද ඇත. වේගවත් උණුසුම සහ සිසිලනය ලබා ගැනීම සඳහා, සෙරමික් පාදයේ ඝණකම තුනී විය යුතුය, නමුත් ඕනෑවට වඩා තුනී වීම දෘඪතාව අඩු කරයි.
සෙරමික් හීටරයේ ආධාරකය සාමාන්යයෙන් පාදමේ තාප ප්රසාරණ සංගුණකය හා සමාන තාප ප්රසාරණ සංගුණකයක් සහිත සෙරමික් ද්රව්ය වලින් සාදා ඇත. ප්ලාස්මා සහ විඛාදන රසායනික වායූන්ගේ බලපෑම් වලින් පර්යන්ත සහ වයර් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා තාපකය පතුවළ සන්ධි පතුලක අද්විතීය ව්යුහයක් භාවිතා කරයි. තාපකයේ ඒකාකාර උෂ්ණත්වය සහතික කිරීම සඳහා ආධාරකය තාප හුවමාරු වායු ඇතුල්වීමක් සහ පිටවන නළයකින් සමන්විත වේ. පාදම සහ ආධාරකය බන්ධන තට්ටුවක් සමඟ රසායනිකව බන්ධනය කර ඇත.
සෙරමික් හීටරය ඇලුමිනියම් නයිට්රයිඩ් (AlN), සිලිකන් නයිට්රයිඩ් (Si3N4) සහ ඇලුමිනා (Al2O3) වැනි සෙරමික් වලින් සෑදිය හැක. ඒ අතරින්, සෙරමික් හීටර් සඳහා AlN හොඳම තේරීම වේ. අනෙකුත් ද්රව්ය හා සසඳන විට, VET Energy හි AlN සෙරමික් පහත ලක්ෂණ ඇත:
(1) හොඳ තාප සන්නායකතාවය;
(2) අර්ධ සන්නායක සිලිකන් ද්රව්යවලට ගැලපෙන තාප ප්රසාරණ සංගුණකය;
(3) හොඳ යාන්ත්රික ගුණාංග, විශිෂ්ට ඇඳුම් ප්රතිරෝධය සහ පුළුල් යාන්ත්රික ගුණාංග බෙරිලියම් ඔක්සයිඩ් වලට වඩා හොඳ වන අතර ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් වලට සමාන වේ;
(4) විශිෂ්ට විස්තීර්ණ විද්යුත් ගුණාංග, විශිෂ්ට විද්යුත් පරිවරණය සහ අඩු පාර විද්යුත් අලාභය;
(5) විෂ නොවන සහ පරිසර හිතකාමී.
සෙරමික් ද්රව්ය පිළිබඳ දත්ත පත්රිකාව
| අයිතමය | 95% ඇලුමිනා | 99% ඇලුමිනා | සර්කෝනියා | සිලිකන් කාබයිඩ් | සිලිකන්Nඉට්රයිඩ් | ඇලුමිනියම්Nඉට්රයිඩ් |
| වර්ණ | සුදු | ලා කහ | සුදු | කළු | කළු | අළු |
| ඝනත්වය (g/cm3) | 3.7ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 3.9ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 6.02ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 3.2ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 3.25ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 3.2ග්රෑම්/සෙ.මී.3 |
| ජල අවශෝෂණය | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| දෘඪතාව (HV) | 23.7 ශ්රේණිය | 23.7 ශ්රේණිය | 16.5 | 33 | 20 | - |
| නම්යශීලී ශක්තිය (MPa) | 300MPa | 400MPa (අංශක 400) | 1100MPa | 450MPa (අමතර) | 800MPa (අමතර) | 310MPa |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය (MPa) | 2500MPa (අමතර) | 2800MPa | 3600MPa (අමතර) | 2000MPa | 2600MPa | - |
| යන්ග්ගේ ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය | 300GPa | 300GPa | 320ජීපීඒ | 450ජීපීඒ | 290ජීපීඒ | 310~350GPa |
| පොයිසන් අනුපාතය | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 (අනුපාත) | 0.24 | 0.24 |
| තාප සන්නායකතාවය | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| ද්වි විද ත් ශක්තිය | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. | 14KV/මි.මී. |
| පරිමාව ප්රතිරෝධය(25℃) | >1014Ω·සෙ.මී. | >1014Ω·සෙ.මී. | >1014Ω·සෙ.මී. | >105Ω·සෙ.මී. | >1014Ω·සෙ.මී. | >1014Ω·සෙ.මී. |
VET Energy යනු ග්රැෆයිට්, සිලිකන් කාබයිඩ්, ක්වාර්ට්ස් වැනි උසස් ද්රව්ය පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන කටයුතු මෙන්ම SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි ද්රව්ය ප්රතිකාර කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන වෘත්තීය නිෂ්පාදකයෙකි. නිෂ්පාදන ප්රකාශ වෝල්ටීයතා, අර්ධ සන්නායක, නව ශක්තිය, ලෝහ විද්යාව ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ.
අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්රව්යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.
VET බලශක්ති වාසි අතර:
• තමන්ගේම කර්මාන්ත ශාලාවක් සහ වෘත්තීය රසායනාගාරයක්;
• කර්මාන්තයේ ප්රමුඛ පිරිසිදු මට්ටම් සහ ගුණාත්මකභාවය;
• තරඟකාරී මිල සහ වේගවත් බෙදාහැරීමේ කාලය;
• ලොව පුරා බහු කර්මාන්ත හවුල්කාරිත්වයන්;
ඕනෑම වේලාවක අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව සහ රසායනාගාරය නැරඹීමට අපි ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු!
