Ceramic Wafer Heater AlN Alumina Fa'avevela Elemene
I le gaosiga o le semiconductor, e manaʻomia ona faʻagasolo i faiga eseese, e pei o le faʻapipiʻiina o ata manifinifi, etching, ma isi. I totonu o nei soʻotaga, e manaʻomia ona faʻamafanafanaina le vevela i se vevela, ma o loʻo i ai manaoga faʻapitoa mo le vevela, aua o le tutusa o le vevela ei ai se aafiaga taua tele i le gaosiga o oloa, ma e manaʻomia vaega faʻavevela.
Fa'avevela simae fa'aoga sa'o i le potu fa'agasologa ma o lo'o fa'afeso'ota'i sa'o ma le wafer. Latou te le gata ina ave le wafer, ae faʻamautinoa foi e maua e le wafer se vevela o le faʻagasologa mautu ma tutusa. O vaega autu ia i masini faʻapipiʻi ata manifinifi semiconductor!
O le fa'avevela sima e aofia ai se fa'avae sima e lagolagoina ai le wafer ma se tino lagolago cylindrical i le pito i tua e lagolagoina ai. I le faaopoopo atu i le elemene tetee (mea faʻavevela) mo le faʻamafanafanaina, o loʻo i ai foʻi le leitio eletise eletise (RF layer) i totonu poʻo luga o le faʻavae o le sima. Ina ia mafai ona ausia vave le vevela ma le malulu, o le mafiafia o le sima e tatau ona manifinifi, ae matua manifinifi o le a faʻaitiitia ai foi le faʻamalosi.
O le lagolago o le faʻavevela sima e masani lava ona faia i mea faʻameamea faʻatasi ai ma le faʻalauteleina o le vevela e tutusa ma le faʻavae. E fa'aaogaina e le fa'avevela se fausaga tulaga ese o le pito i lalo e puipui ai fa'amau ma uaea mai a'afiaga o le plasma ma kesi kemisi pala. O le lagolago o lo'o fa'apipi'iina i totonu o le kasa fa'afefe vevela ma le paipa fa'auma e fa'amautinoa ai le vevela tutusa o le fa'avevela. O le fa'avae ma le lagolago o lo'o fa'apipi'iina fa'ama'i fa'atasi ma se mea fa'apipi'i.
O le fa'avevela sima e mafai ona faia i sima e pei o le alumini nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), ma le alumina (Al2O3). Faatasi ai ma i latou, o AlN o le filifiliga sili lea mo faʻavevela sima. Fa'atusatusa i isi mea, VET Energy's AlN ceramic ei ai uiga nei:
(1) Lelei faʻafefe faʻafefe;
(2) Fa'afetaui le fa'alauteleina o le fa'amama fa'ameamea i mea fa'amea fa'a-semiconductor;
(3) O mea faʻainisinia lelei, faʻafefeteina lelei, ma mea faʻainisinia atoatoa e sili atu nai lo le beryllium oxide ma tutusa ma le alumini oxide;
(4) Lelei atoatoa mea tau eletise, sili ona lelei insulation eletise ma maualalo dielectric gau;
(5) E le oona ma faauo i le siosiomaga.
Pepa Fa'amatalaga o Mea Sima
| Aitema | 95% Alumina | 99% Alumina | Zirconia | Silicon carbide | SiliconNalu ese | AluminiNalu ese |
| Lanu | lanu pa'epa'e | Samasama moli | lanu pa'epa'e | lanu uliuli | lanu uliuli | lanu efuefu |
| Malosi (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Suavai | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Malosi(HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Malosi fa'afoliga (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Malosi fa'amalosi (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Young's Modulus Of Elasticity | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Fa'atatau o Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Amioga vevela | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Malosiaga Dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Tete'e Volume(25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy o se tagata gaosi tomai faʻapitoa e taulaʻi i le R & D ma le gaosiga o mea maualuga maualuga e pei o le graphite, silicon carbide, quartz, faʻapea foʻi ma le togafitiga faʻapitoa e pei o le SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ma isi.
O la matou 'au fa'atekinisi e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e fa'apitonu'u pito i luga, e mafai ona tu'uina atu fa'afitauli fa'apitoa fa'apitoa mo oe.
VET Malosiaga manuia e aofia ai:
• Lava falegaosimea ma falesuesue fa'apolofesa;
• Tulaga mama ma tulaga lelei e ta'imua i alamanuia;
• Tau fa'atauva'a & Taimi vave tu'uina atu;
• Fa'apa'aga fa'apisinisi tele i le lalolagi atoa;
Matou te faʻafeiloaia oe e asiasi i la matou fale gaosimea ma fale suʻesuʻe i soo se taimi!
