Elemene Fa'avevela AlN Alumina mo le Fa'avevela o le Wafer Keramika
I le gaosiga o semiconductor, e manaʻomia ona faʻagasoloina wafers i ni faiga eseese, e pei o le faʻaputuina o ata manifinifi, etching, ma isi. I nei sootaga, e manaʻomia ona faʻavevela wafers i se vevela patino, ma e iai manaʻoga faʻapitoa mo le vevela, aua o le tutusa o le vevela e iai sona aafiaga taua tele i le fua o le oloa, ma e matua taua tele vaega o le faʻavevela.
Fa'avevela seramikae fa'aoga sa'o i le potu fa'agasolo ma e feso'ota'i sa'o ma le wafer. E le gata ina latou tauaveina le wafer, ae ia mautinoa fo'i o lo'o maua e le wafer se vevela mautu ma tutusa. O vaega autu ia i masini fa'apipi'i semiconductor thin film!
O le fa'avevela seramika e aofia ai se fa'avae seramika e lagolagoina ai le apa ma se tino lagolago fa'ata'amilomilo i le itu i tua e lagolagoina ai. I le fa'aopoopoga i le elemene tete'e (vaega fa'avevela) mo le fa'avevela, e iai fo'i eletise fa'asalalau leitio (vaega RF) i totonu po'o luga o le fa'avae seramika. Ina ia vave fa'avevela ma fa'amālūlūina, e tatau ona manifinifi le mafiafia o le fa'avae seramika, ae afai e manifinifi tele o le a fa'aitiitia ai fo'i le ma'a'a.
O le lagolago o le masini fa'avevela seramika e masani ona faia i mea seramika e tutusa lona fa'alauteleina o le vevela ma le fa'avae. O le masini fa'avevela e fa'aaogaina se fausaga tulaga ese o se pito i lalo o le so'oga e puipuia ai pito ma uaea mai aafiaga o le plasma ma kasa kemikolo e fa'aleagaina. O le lagolago e fa'apipi'iina i se paipa e ulufale ai le kesi ma le paipa e alu ese ai le vevela e fa'amautinoa ai le tutusa o le vevela o le masini fa'avevela. O le fa'avae ma le lagolago e fa'apipi'i fa'akemikolo i se vaega e fa'apipi'i ai.
E mafai ona faia le fa'avevela seramika i seramika e pei o le alumini nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), ma le alumina (Al2O3). O le AlN o le filifiliga sili lea mo fa'avevela seramika. Pe a fa'atusatusa i isi meafaitino, o le seramika AlN a le VET Energy e iai uiga nei:
(1) Lelei le fa'avevela;
(2) Fa'atusatusa le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela i mea semiconductor silicon;
(3) O meatotino lelei fa'amekanika, tete'e lelei i le ofuina, ma meatotino atoatoa fa'amekanika e sili atu nai lo le beryllium oxide ma e tutusa ma le alumini oxide;
(4) O meatotino eletise atoatoa lelei, o le puipuiga eletise sili ona lelei ma le maualalo o le leiloa o le dielectric;
(5) E le oona ma e lelei mo le siosiomaga.
Pepa Fa'amatalaga o Meafaitino Seramika
| Mea | 95% Alumina | 99% Alumina | Zirconia | Silikoni karbida | SilikoniNitride | AluminiNitride |
| Lanu | lanu pa'epa'e | Samasama vaivai | lanu pa'epa'e | lanu uliuli | lanu uliuli | lanu efuefu |
| Mafiafia (g/cm3) | 3.7g/cm3 | 3.9g/cm3 | 6.02g/cm3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/cm3 | 3.2g/cm3 |
| Fa'asusuina o le Vai | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Faigata (HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| Malosiaga Fa'alava (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Malosiaga Fa'apipi'i (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Modulus o le Elasticity a Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Fua Faatatau o Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| Fa'avevela o le Tafega | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Malosiaga Dielectric | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Tete'e o le Volume (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
O le VET Energy o se kamupani gaosi oloa fa'apolofesa e taula'i i le R&D ma le gaosiga o mea fa'aonaponei maualuluga e pei o le graphite, silicon carbide, quartz, fa'apea fo'i ma le togafitiga o meafaitino e pei o le SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ma isi. O nei oloa e fa'aaogaina lautele i le photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy, ma isi.
O la matou 'au fa'apitoa e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e sili ona lelei i totonu o le atunu'u, e mafai ona tu'uina atu ni fofo fa'apitoa mo oe.
O fa'amanuiaga o le VET Energy e aofia ai:
• Falegaosimea lava ia ma le fale su'esu'e fa'apolofesa;
• Tulaga mama ma le lelei e sili ona ta'imua i le alamanuia;
• Tau fa'atauva'a & Taimi vave e fa'ao'o atu ai;
• Tele pa'aga fa'apisinisi i le lalolagi atoa;
Matou te talia oe e asiasi i la matou fale gaosimea ma le fale suʻesuʻe i soo se taimi!
