Sehatsetsi sa Wafer sa Ceramic AlN Alumina Heating Element

Sehatsetsi sa Wafer sa Ceramic AlN Alumina Heating Element
Tlhahisong ea semiconductor, li-wafer li hloka ho sebetsoa ka mekhoa e fapaneng, joalo ka ho beoa ha filimi e tšesaane, ho fata, jj. Lihokelong tsena, li-wafer li hloka ho futhumatsoa mochesong o itseng, 'me ho na le litlhoko tse tiileng tsa mocheso, hobane ho tšoana ha mocheso ho na le tšusumetso ea bohlokoa haholo tlhahisong ea sehlahisoa, 'me likarolo tsa ho futhumatsa lia hlokahala.

Sefuthumatsi sa letsopae sebelisoa ka ho toba ka phapusing ea ts'ebetso 'me e kopana ka ho toba le wafer. Ha li jare wafer feela, empa li boetse li etsa bonnete ba hore wafer e fumana mocheso o tsitsitseng le o ts'oanang oa ts'ebetso. Ke likarolo tsa bohlokoa lisebelisoa tsa ho boloka filimi e tšesaane ea semiconductor!

Sefuthumatsi sa ceramic se kenyelletsa motheo oa ceramic o tšehetsang wafer le 'mele o tšehetsang oa cylindrical ka morao o o tšehetsang. Ntle le karolo ea khanyetso (lera la ho futhumatsa) bakeng sa ho futhumatsa, ho boetse ho na le li-electrode tsa maqhubu a radio (lera la RF) kahare kapa holim'a setsi sa ceramic. E le ho finyella ho futhumatsa le ho pholisa ka potlako, botenya ba motheo oa ceramic bo lokela ho ba bosesaane, empa bosesaane haholo bo tla boela bo fokotse ho tiea.

Tšehetso ea hitara ea ceramic hangata e entsoe ka thepa ea ceramic e nang le coefficient ea katoloso ea mocheso e tšoanang le ea motheo. hitara e sebelisa sebopeho se ikhethang sa botlaase ba shaft joint ho sireletsa li-terminal le lithapo liphellong tsa plasma le likhase tsa lik'hemik'hale tse senyang. Tšehetso e na le phaephe ea ho kena ha khase ea phetisetso ea mocheso le phaephe ea ho ntša metsi ho netefatsa mocheso o ts'oanang oa hitara. Motheo le tšehetso li hokahantsoe ka lik'hemik'hale ka lera la tlamahano.

Sefuthumatsi sa letsopa se ka etsoa ka li-ceramic tse kang aluminium nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), le alumina (Al2O3). Har'a tsona, AlN ke khetho e ntle ka ho fetisisa bakeng sa li-heater tsa letsopa. Ha e bapisoa le lisebelisoa tse ling, ceramic ea VET Energy ea AlN e na le litšobotsi tse latelang:
(1) Ho tsamaisa mocheso hantle;
(2) Koefficient ea katoloso ea mocheso e tsamaellanang le thepa ea silicon ea semiconductor;
(3) Litšobotsi tse ntle tsa mechini, ho hanyetsa ho tsofala ho hoholo, le litšobotsi tse felletseng tsa mechini li betere ho feta beryllium oxide 'me li lekana le aluminium oxide;
(4) Thepa e ntle haholo ea motlakase, ho thibela motlakase hantle le tahlehelo e tlase ea dielectric;
(5) Ha e na chefo ebile e mosa tikolohong.