SiC Coated Graphite Halfmoon Partay isang pangunahing bahagi na ginagamit sa mga proseso ng pagmamanupaktura ng semiconductor, lalo na para sa SiC epitaxial equipment. Ginagamit namin ang aming patented na teknolohiya para gawin ang halfmoon na bahagi na may napakataas na kadalisayan, magandang pagkakapareho ng coating at isang mahusay na buhay ng serbisyo, pati na rin ang mataas na paglaban sa kemikal at mga katangian ng thermal stability.
Batayang materyal: high-purity graphite
Mga kinakailangan sa kadalisayan:nilalaman ng carbon ≥99.99%, nilalaman ng abo ≤5ppm, upang matiyak na walang mga impurities na namuo upang mahawahan ang epitaxial layer sa mataas na temperatura.
Mga pakinabang sa pagganap:
Mataas na thermal conductivity:Ang thermal conductivity sa temperatura ng silid ay umabot sa 150W/(m・K), na malapit sa antas ng tanso at maaaring mabilis na maglipat ng init.
Mababang koepisyent ng pagpapalawak:5×10-6/℃ (25-1000℃), tumutugma sa silicon carbide substrate (4.2×10-6/ ℃), binabawasan ang pag-crack ng coating na dulot ng thermal stress.
Katumpakan ng pagproseso:Ang dimensional tolerance na ±0.05mm ay nakakamit sa pamamagitan ng CNC machining upang matiyak ang sealing ng chamber.
Iba't ibang mga aplikasyon ng CVD SiC at CVD TaC
| Patong | Proseso | Paghahambing | Karaniwang aplikasyon |
| CVD-SiC | Temperatura: 1000-1200 ℃ Presyon: 10-100 Torr | Hardness HV2500, kapal 50-100um, mahusay na paglaban sa oksihenasyon (stable sa ibaba 1600 ℃) | Mga unibersal na epitaxial furnace, na angkop para sa mga nakasanayang atmosphere tulad ng hydrogen at silane |
| CVD-TaC | Temperatura: 1600-1800 ℃ Presyon: 1-10 Torr | Katigasan HV3000, kapal 20-50um, lubhang lumalaban sa kaagnasan (makatiis sa mga kinakaing gas gaya ng HCl, NH₃, atbp.) | Highly corrosive environment (gaya ng GaN epitaxy at etching equipment), o mga espesyal na proseso na nangangailangan ng napakataas na temperatura na 2600°C |
Inspeksyon ng kalidad
Kapal ng coating: laser thickness gauge (katumpakan ±1um) o SEM cross-sectional analysis.
Lakas ng bono: scratch test (critical load > 50N) o ultrasonic testing (sound velocity > 5000m/s).
Corrosion resistance: mass loss rate (<0.1 mg/cm²・h) na nasubok sa HCl atmosphere (5 vol%, 1600℃).
Ang VET Energy ay isang propesyonal na tagagawa na tumutuon sa R&D at produksyon ng mga high-end na advanced na materyales tulad ng graphite, silicon carbide, quartz, pati na rin ang materyal na paggamot tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp. Ang mga produkto ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, bagong enerhiya, metalurhiya, atbp.
Ang aming teknikal na koponan ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, ay maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.
Kasama sa mga bentahe ng VET Energy ang:
• Sariling pabrika at propesyonal na laboratoryo;
• Mga antas at kalidad ng kadalisayan na nangunguna sa industriya;
• Mapagkumpitensyang presyo at Mabilis na oras ng paghahatid;
• Maramihang mga pakikipagsosyo sa industriya sa buong mundo;
Inaanyayahan ka naming bisitahin ang aming pabrika at laboratoryo anumang oras!
