Bahagi ng Halfmoon na Pinahiran ng SiC na Graphiteay isang mahalagang bahagi na ginagamit sa mga proseso ng paggawa ng semiconductor, lalo na para sa mga kagamitang epitaxial na SiC. Ginagamit namin ang aming patentadong teknolohiya upang gawin ang bahaging halfmoon na may napakataas na kadalisayan, mahusay na pagkakapareho ng patong at mahusay na buhay ng serbisyo, pati na rin ang mataas na resistensya sa kemikal at mga katangian ng thermal stability.
Batayang materyal: grapayt na may mataas na kadalisayan
Mga kinakailangan sa kadalisayan:nilalaman ng carbon ≥99.99%, nilalaman ng abo ≤5ppm, upang matiyak na walang mga dumi na naipon na makakahawa sa epitaxial layer sa mataas na temperatura.
Mga kalamangan sa pagganap:
Mataas na kondaktibiti ng init:Ang thermal conductivity sa temperatura ng silid ay umaabot sa 150W/(m・K), na malapit sa antas ng tanso at maaaring mabilis na maglipat ng init.
Mababang koepisyent ng pagpapalawak:5×10-6/℃ (25-1000℃), na tumutugma sa silicon carbide substrate (4.2×10-6/℃), binabawasan ang pagbibitak ng patong na dulot ng thermal stress.
Katumpakan sa pagproseso:Nakakamit ang dimensional tolerance na ±0.05mm sa pamamagitan ng CNC machining upang matiyak ang pagbubuklod ng chamber.
Mga magkakaibang aplikasyon ng CVD SiC at CVD TaC
| Patong | Proseso | Paghahambing | Karaniwang aplikasyon |
| CVD-SiC | Temperatura: 1000-1200℃Presyon: 10-100 Torr | Katigasan HV2500, kapal 50-100um, mahusay na resistensya sa oksihenasyon (matatag sa ibaba 1600℃) | Mga pangkalahatang epitaxial furnace, na angkop para sa mga kumbensyonal na atmospera tulad ng hydrogen at silane |
| CVD-TaC | Temperatura: 1600-1800℃Presyon: 1-10 Torr | Katigasan HV3000, kapal 20-50um, lubos na lumalaban sa kalawang (kayang tiisin ang mga kinakaing unti-unting gas tulad ng HCl, NH₃, atbp.) | Mga kapaligirang lubos na kinakaing unti-unti (tulad ng GaN epitaxy at kagamitan sa pag-ukit), o mga espesyal na prosesong nangangailangan ng napakataas na temperatura na 2600°C |
Inspeksyon ng kalidad
Kapal ng patong: panukat ng kapal ng laser (katumpakan ±1um) o pagsusuring cross-sectional ng SEM.
Lakas ng pagkakabit: pagsubok sa gasgas (kritikal na karga > 50N) o pagsubok sa ultrasonic (bilis ng tunog > 5000m/s).
Paglaban sa kalawang: antas ng pagkawala ng masa (<0.1 mg/cm²・h) na sinubukan sa HCl atmosphere (5 vol%, 1600℃).
Ang VET Energy ay isang propesyonal na tagagawa na nakatuon sa R&D at produksyon ng mga high-end na advanced na materyales tulad ng graphite, silicon carbide, quartz, pati na rin ang material treatment tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp. Ang mga produkto ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, metalurhiya, atbp.
Ang aming teknikal na pangkat ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at maaaring magbigay ng mas propesyonal na mga solusyon sa materyal para sa iyo.
Kabilang sa mga bentahe ng VET Energy ang:
• Sariling pabrika at propesyonal na laboratoryo;
• Mga antas at kalidad ng kadalisayan na nangunguna sa industriya;
• Kompetitibong presyo at mabilis na oras ng paghahatid;
• Maraming pakikipagsosyo sa industriya sa buong mundo;
Malugod ka naming inaanyayahan na bisitahin ang aming pabrika at laboratoryo anumang oras!
