וועטעראַן ענערגיעדער PECVD פּראָצעס גראַפיט טרעגער איז אַ הויך-קוואַליטעט קאָנסומאַבלע פּאַסיק פֿאַרן PECVD (פּלאַזמע-פֿאַרשטאַרקטע כעמישע פֿאַרדאַמפּונג דעפּאָזיציע) פּראָצעס. דער גראַפיט טרעגער איז געמאַכט פֿון הויך-ריינקייט, הויך-געדיכטקייט גראַפיט מאַטעריאַל, מיט אויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייט און אַנדערע קעראַקטעריסטיקס, און קען צושטעלן אַ סטאַביל טרעגער פּלאַטפאָרמע פֿאַרן PECVD פּראָצעס, צו ענשור די איינהייטלעכקייט און פלאַכקייט פֿון דין-פֿילם דעפּאָזיציע.
גראַפיט טרעגערס פֿאַר PECVD פּראָצעס האָבן די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס:
▪ הויכע ריינקייט: גאָר נידעריקע אומריינקייט אינהאַלט, וואָס פאַרמייַדט קאַנטאַמאַניישאַן פון די פילם און זיכערט פילם קוואַליטעט.
▪ הויכע געדיכטקייט: הויכע געדיכטקייט, הויכע מעכאנישע שטאַרקייט, קען אויסהאלטן הויכע טעמפּעראַטור און הויכן דרוק PECVD סביבה.
▪ גוטע דימענסיאָנעלע פעסטקייט: קליינע דימענסיאָנעלע ענדערונג ביי הויכער טעמפּעראַטור, וואָס זיכערט פּראָצעס פעסטקייט.
▪ אויסגעצייכנטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי: עפֿעקטיוו איבערפירן היץ צו פאַרמייַדן וועיפער איבערהיצונג.
▪ שטאַרקע קעראָוזשאַן קעגנשטעל: קענען אַנטקעגנשטעלנ זיך עראָוזיע דורך פֿאַרשידענע קעראָוסיוו גאַזן און פּלאַזמע.
▪ קאַסטאַמייזד סערוויס: גראַפיט טרעגער פון פאַרשידענע סיזעס און פֿאָרמען קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט קונה באדערפענישן.
גראַפיט מאַטעריאַל פֿון SGL:
| טיפּישער פּאַראַמעטער: R6510 | |||
| אינדעקס | טעסט סטאַנדאַרט | ווערט | איינהייט |
| דורכשניטלעכע קערל גרייס | ISO 13320 | 10 | מיקראָמעטער |
| מאַסע געדיכטקייט | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ג/קמ3 |
| אפענע פּאָראָזיטעט | דין66133 | 10 | % |
| מיטל פּאָרע גרייס | דין66133 | 1.8 | מיקראָמעטער |
| דורכדרינגלעכקייט | דין 51935 | 0.06 | סענטימעטער²/סעק. |
| ראָקוועל כאַרדנאַס HR5/100 | דין IEC60413/303 | 90 | HR |
| ספּעציפֿיש עלעקטריש קעגנשטאַנד | דין IEC 60413/402 | 13 | מיקראָמעהעם |
| בייגונג שטאַרקייט | דין IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| קאָמפּרעסיוו שטאַרקייט | דין 51910 | 130 | MPa |
| יונגס מאָדולוס | דין 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| טערמישע עקספּאַנשאַן (20-200 ℃) | דין 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| טערמישע קאַנדאַקטיוויטי (20℃) | דין 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
עס איז ספּעציעל דיזיינד פֿאַר הויך-עפֿעקטיוו זונ - צעל פּראָדוקציע, שטיצנדיק G12 גרויס-גרייס וועיפֿער פּראַסעסינג. אָפּטימיזירטער קעריער פּלאַן פֿאַרגרעסערט באַדייטנד די דורכפֿלוס, וואָס ערמעגליכט העכערע פּראָדוקציע ראַטעס און נידעריקערע פּראָדוקציע קאָסטן.
| אייטעם | טיפּ | נומער וועיפער טרעגער |
| PEVCD גרעפיטע שיפל - די 156 סעריע | 156-13 גרעפיטע שיף | 144 |
| 156-19 גרעפיטע שיף | 216 | |
| 156-21 גרעפיטע שיף | 240 | |
| 156-23 גראַפיט שיפל | 308 | |
| PEVCD גרעפיטע שיפל - די 125 סעריע | 125-15 גרעפיטע שיפל | 196 |
| 125-19 גרעפיטע שיפל | 252 | |
| 125-21 גראַפֿיט שיפל | 280 |
-
הויך ריינקייט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעליק גראַפיט ...
-
דוראַבאַל, וואַסערפּרוף און טראָגן קעגנשטעליק, ינאָוואַטיוו ...
-
קאַרבאָן עלעקטראָד רוט גראַפיט רוט פֿאַר פאַרקויף
-
פלעקסיבלע גראַפיט פּאַפּיר הויך היץ גראַפיט פּאַפּיר ...
-
צושטעלן גראַפיט פּראָדוקטן גראַפיט בלאָק יסאָסטאַט ...
-
מנהג גראַפיט פּאַפּיר פּיראָליטיק טשאַד בויגן פל ...