وي اي ٽي توانائيPECVD پروسيس گريفائيٽ ڪيريئر هڪ اعليٰ معيار جو استعمال لائق آهي جيڪو PECVD (پلازما اينهانسڊ ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن) جي عمل لاءِ تيار ڪيو ويو آهي. هي گريفائيٽ ڪيريئر اعليٰ پاڪائي، اعليٰ کثافت واري گريفائيٽ مواد مان ٺهيل آهي، بهترين اعليٰ درجه حرارت جي مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، طول و عرض جي استحڪام ۽ ٻين خاصيتن سان، PECVD عمل لاءِ هڪ مستحڪم ڪيريئر پليٽ فارم مهيا ڪري سگهي ٿو، پتلي فلم ڊپوزيشن جي هڪجهڙائي ۽ همواري کي يقيني بڻائڻ لاءِ.
PECVD عمل لاءِ گريفائيٽ ڪيريئرز ۾ هيٺيان خاصيتون آهن:
▪ اعليٰ پاڪائي: انتهائي گهٽ نجاست وارو مواد، فلم جي آلودگي کان بچڻ ۽ فلم جي معيار کي يقيني بڻائڻ.
▪ وڌيڪ کثافت: وڌيڪ کثافت، وڌيڪ مشيني طاقت، وڌيڪ گرمي پد ۽ وڌيڪ دٻاءُ PECVD ماحول کي برداشت ڪرڻ جي قابل.
▪ سٺي طول و عرض جي استحڪام: تيز گرمي پد تي ننڍي طول و عرض جي تبديلي، عمل جي استحڪام کي يقيني بڻائي ٿي.
▪ بهترين حرارتي چالکائي: ويفر کي وڌيڪ گرم ٿيڻ کان روڪڻ لاءِ اثرائتي طور تي گرمي منتقل ڪريو.
▪ مضبوط سنکنرن جي مزاحمت: مختلف سنکنرن گيسن ۽ پلازما جي ڪري ٿيندڙ ڪٽاؤ جي مزاحمت ڪرڻ جي قابل.
▪ ڪسٽمائيز سروس: مختلف سائزن ۽ شڪلن جا گريفائيٽ ڪيريئر گراهڪن جي ضرورتن مطابق ترتيب ڏئي سگھجن ٿا.
ايس جي ايل مان گريفائيٽ مواد:
| عام پيرا ميٽر: R6510 | |||
| انڊيڪس | ٽيسٽ معيار | قدر | يونٽ |
| سراسري اناج جي ماپ | آئي ايس او 13320 | 10 | مائڪرون |
| گھڻي کثافت | ڊين آءِ اي سي 60413/204 | 1.83 | گرام/سينٽي ميٽر3 |
| کليل پورسيٽي | ڊين 66133 | 10 | % |
| وچولي سوراخ جي سائيز | ڊين 66133 | 1.8 | مائڪرون |
| پارگميتا | ڊين 51935 | 0.06 | سينٽي ميٽر/سيڪنڊ |
| راڪ ويل سختي HR5/100 | ڊين IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص بجلي مزاحمت | ڊين آءِ اي سي 60413/402 | 13 | μΩm |
| لچڪدار طاقت | ڊين آءِ اي سي 60413/501 | 60 | ايم پي اي |
| دٻاءُ واري طاقت | ڊين 51910 | 130 | ايم پي اي |
| ينگ جو ماڊيولس | ڊين 51915 | 11.5 × 10³ | ايم پي اي |
| حرارتي توسيع (20-200 ℃) | ڊين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکائي (20 ℃) | ڊين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
اهو خاص طور تي اعليٰ ڪارڪردگي واري سولر سيل جي پيداوار لاءِ ٺاهيو ويو آهي، جيڪو G12 وڏي سائيز جي ويفر پروسيسنگ کي سپورٽ ڪري ٿو. بهتر ڪيل ڪيريئر ڊيزائن خاص طور تي ٿرو پُٽ وڌائي ٿو، جنهن سان پيداوار جي شرح وڌيڪ ۽ پيداوار جي قيمت گهٽجي ٿي.
| شيءِ | قسم | نمبر ويفر ڪيريئر |
| PEVCD گريفائيٽ ٻيڙي - 156 سيريز | 156-13 گريفائيٽ ٻيڙي | 144 |
| 156-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 216 | |
| 156-21 گريفائيٽ ٻيڙي | 240 | |
| 156-23 گريفائيٽ ٻيڙي | 308 | |
| PEVCD گريفائيٽ ٻيڙي - 125 سيريز | 125-15 گريفائيٽ ٻيڙي | 196 |
| 125-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 252 | |
| 125-21 گرفائيٽ ٻيڙي | 280 |
