PECVD செயல்முறைக்கான கிராஃபைட் கேரியர்

PECVD செயல்முறைக்கான கிராஃபைட் தாங்கிகள் பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன:

▪ உயர் தூய்மை: மிகக் குறைந்த அசுத்த உள்ளடக்கம், படச்சுருள் மாசுபடுவதைத் தவிர்த்து, அதன் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.

▪ உயர் அடர்த்தி: அதிக அடர்த்தி, அதிக இயந்திர வலிமை, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த PECVD சூழலைத் தாங்கும் திறன்.

▪ சிறந்த பரிமாண நிலைத்தன்மை: உயர் வெப்பநிலையில் ஏற்படும் சிறிய பரிமாண மாற்றம், செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

▪ சிறந்த வெப்பக் கடத்துத்திறன்: வேஃபர் அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுக்க, வெப்பத்தைத் திறம்படக் கடத்துகிறது.

▪ வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்: பல்வேறு அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவினால் ஏற்படும் அரிப்பை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது.

▪ தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை: வாடிக்கையாளரின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப பல்வேறு அளவுகள் மற்றும் வடிவங்களில் கிராஃபைட் தாங்கிகளைத் தனிப்பயனாக்கலாம்.