PECVD செயல்முறைக்கான கிராஃபைட் கேரியர்

PECVD செயல்முறைக்கான கிராஃபைட் கேரியர்கள் பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளன:

▪ அதிக தூய்மை: மிகக் குறைந்த அசுத்த உள்ளடக்கம், படலம் மாசுபடுவதைத் தவிர்த்தல் மற்றும் படலத்தின் தரத்தை உறுதி செய்தல்.

▪ அதிக அடர்த்தி: அதிக அடர்த்தி, அதிக இயந்திர வலிமை, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த PECVD சூழலைத் தாங்கும் திறன் கொண்டது.

▪ நல்ல பரிமாண நிலைத்தன்மை: அதிக வெப்பநிலையில் சிறிய பரிமாண மாற்றம், செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

▪ சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: வேஃபர் அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுக்க வெப்பத்தை திறம்பட மாற்றுகிறது.

▪ வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு: பல்வேறு அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவால் ஏற்படும் அரிப்பை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது.

▪ தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை: வெவ்வேறு அளவுகள் மற்றும் வடிவங்களின் கிராஃபைட் கேரியர்களை வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கலாம்.