VET ਊਰਜਾPECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕੈਰੀਅਰ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਗੁਣਵੱਤਾ ਵਾਲਾ ਖਪਤਯੋਗ ਹੈ ਜੋ PECVD (ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਧਿਆ ਹੋਇਆ ਰਸਾਇਣਕ ਭਾਫ਼ ਜਮ੍ਹਾ) ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ। ਇਹ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕੈਰੀਅਰ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੈ, ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ, ਅਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ ਅਤੇ ਹੋਰ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਨਾਲ, PECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਇੱਕ ਸਥਿਰ ਕੈਰੀਅਰ ਪਲੇਟਫਾਰਮ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਜੋ ਪਤਲੀ ਫਿਲਮ ਜਮ੍ਹਾ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਅਤੇ ਸਮਤਲਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਜਾ ਸਕੇ।
PECVD ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਈ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕੈਰੀਅਰਾਂ ਵਿੱਚ ਹੇਠ ਲਿਖੀਆਂ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਹਨ:
▪ ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ: ਬਹੁਤ ਘੱਟ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਸਮੱਗਰੀ, ਫਿਲਮ ਦੇ ਦੂਸ਼ਿਤ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਚਾਉਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਦੀ ਗੁਣਵੱਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
▪ ਉੱਚ ਘਣਤਾ: ਉੱਚ ਘਣਤਾ, ਉੱਚ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਾਕਤ, ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਅਤੇ ਉੱਚ ਦਬਾਅ PECVD ਵਾਤਾਵਰਣ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨ ਦੇ ਯੋਗ।
▪ ਚੰਗੀ ਆਯਾਮੀ ਸਥਿਰਤਾ: ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਛੋਟੀ ਆਯਾਮੀ ਤਬਦੀਲੀ, ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੀ ਹੈ।
▪ ਸ਼ਾਨਦਾਰ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ: ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਜ਼ਿਆਦਾ ਗਰਮ ਹੋਣ ਤੋਂ ਰੋਕਣ ਲਈ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਗਰਮੀ ਦਾ ਤਬਾਦਲਾ ਕਰੋ।
▪ ਮਜ਼ਬੂਤ ਖੋਰ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ: ਵੱਖ-ਵੱਖ ਖੋਰ ਗੈਸਾਂ ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਦੁਆਰਾ ਖੋਰ ਦਾ ਵਿਰੋਧ ਕਰਨ ਦੇ ਯੋਗ।
▪ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਸੇਵਾ: ਵੱਖ-ਵੱਖ ਆਕਾਰਾਂ ਅਤੇ ਆਕਾਰਾਂ ਦੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕੈਰੀਅਰਾਂ ਨੂੰ ਗਾਹਕਾਂ ਦੀਆਂ ਜ਼ਰੂਰਤਾਂ ਅਨੁਸਾਰ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
SGL ਤੋਂ ਗ੍ਰੈਫਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀ:
| ਆਮ ਪੈਰਾਮੀਟਰ: R6510 | |||
| ਇੰਡੈਕਸ | ਟੈਸਟ ਸਟੈਂਡਰਡ | ਮੁੱਲ | ਯੂਨਿਟ |
| ਔਸਤ ਅਨਾਜ ਦਾ ਆਕਾਰ | ਆਈਐਸਓ 13320 | 10 | ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ |
| ਥੋਕ ਘਣਤਾ | ਡੀਆਈਐਨ ਆਈਈਸੀ 60413/204 | 1.83 | ਗ੍ਰਾਮ/ਸੈ.ਮੀ.3 |
| ਖੁੱਲ੍ਹੀ ਪੋਰੋਸਿਟੀ | ਡੀਆਈਐਨ 66133 | 10 | % |
| ਦਰਮਿਆਨਾ ਪੋਰ ਆਕਾਰ | ਡੀਆਈਐਨ 66133 | 1.8 | ਮਾਈਕ੍ਰੋਮ |
| ਪਾਰਦਰਸ਼ਤਾ | ਡੀਆਈਐਨ 51935 | 0.06 | ਸੈਮੀ²/ਸਕਿੰਟ |
| ਰੌਕਵੈੱਲ ਕਠੋਰਤਾ HR5/100 | ਡੀਆਈਐਨ ਆਈਈਸੀ 60413/303 | 90 | HR |
| ਖਾਸ ਬਿਜਲੀ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧਕਤਾ | ਡੀਆਈਐਨ ਆਈਈਸੀ 60413/402 | 13 | μΩਮੀਟਰ |
| ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ | ਡੀਆਈਐਨ ਆਈਈਸੀ 60413/501 | 60 | ਐਮਪੀਏ |
| ਸੰਕੁਚਿਤ ਤਾਕਤ | ਡੀਆਈਐਨ 51910 | 130 | ਐਮਪੀਏ |
| ਯੰਗ ਦਾ ਮਾਡਿਊਲਸ | ਡੀਆਈਐਨ 51915 | 11.5×10³ | ਐਮਪੀਏ |
| ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ (20-200℃) | ਡੀਆਈਐਨ 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ (20℃) | ਡੀਆਈਐਨ 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ਇਹ ਖਾਸ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ-ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਵਾਲੇ ਸੋਲਰ ਸੈੱਲ ਨਿਰਮਾਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈ, ਜੋ G12 ਵੱਡੇ-ਆਕਾਰ ਦੇ ਵੇਫਰ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕੈਰੀਅਰ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਥਰੂਪੁੱਟ ਨੂੰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਧਾਉਂਦਾ ਹੈ, ਉੱਚ ਉਪਜ ਦਰਾਂ ਅਤੇ ਘੱਟ ਉਤਪਾਦਨ ਲਾਗਤਾਂ ਨੂੰ ਸਮਰੱਥ ਬਣਾਉਂਦਾ ਹੈ।
| ਆਈਟਮ | ਦੀ ਕਿਸਮ | ਨੰਬਰ ਵੇਫਰ ਕੈਰੀਅਰ |
| PEVCD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ - 156 ਲੜੀ | 156-13 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 144 |
| 156-19 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 216 | |
| 156-21 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 240 | |
| 156-23 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 308 | |
| PEVCD ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ - 125 ਲੜੀ | 125-15 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 196 |
| 125-19 ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 252 | |
| 125-21 ਗ੍ਰਫਾਈਟ ਕਿਸ਼ਤੀ | 280 |
