የግራፋይት ተሸካሚ ለ PECVD ሂደት

የ PECVD ሂደት የግራፋይት ተሸካሚዎች የሚከተሉት ባህሪያት አሏቸው

▪ ከፍተኛ ንፅህና፡- እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሆነ የንጽህና ይዘት፣ የፊልሙን ብክለት ማስወገድ እና የፊልሙን ጥራት ማረጋገጥ።

▪ ከፍተኛ ጥግግት፡ ከፍተኛ ጥግግት፣ ከፍተኛ ሜካኒካል ጥንካሬ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን እና ከፍተኛ ግፊት ያለው የPECVD አካባቢን መቋቋም የሚችል።

▪ ጥሩ የልኬት መረጋጋት፡- በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ አነስተኛ የልኬት ለውጥ፣ የሂደቱን መረጋጋት ያረጋግጣል።

▪ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ፡- የዋፈር ከመጠን በላይ ሙቀትን ለመከላከል ሙቀትን ውጤታማ በሆነ መንገድ ያስተላልፋል።

▪ ጠንካራ የዝገት መቋቋም፡- በተለያዩ ዝገት ጋዞች እና ፕላዝማ የሚመጣ የአፈር መሸርሸርን መቋቋም የሚችል።

▪ ብጁ አገልግሎት፡- የተለያየ መጠንና ቅርፅ ያላቸው የግራፋይት ተሸካሚዎች እንደ ደንበኛ ፍላጎት ሊበጁ ይችላሉ።