Մասնագիտական ուսումնական հաստատությունների էներգետիկաPECVD պրոցեսի գրաֆիտային կրիչը բարձրորակ սպառվող նյութ է, որը նախատեսված է PECVD (պլազմայով ուժեղացված քիմիական գոլորշու նստեցում) պրոցեսի համար: Այս գրաֆիտային կրիչը պատրաստված է բարձր մաքրության, բարձր խտության գրաֆիտային նյութից, ունի գերազանց բարձր ջերմաստիճանային դիմադրություն, կոռոզիոն դիմադրություն, չափային կայունություն և այլ բնութագրեր, կարող է ապահովել կայուն կրող հարթակ PECVD պրոցեսի համար՝ ապահովելով բարակ թաղանթային նստեցման միատարրությունն ու հարթությունը:
PECVD գործընթացի համար նախատեսված գրաֆիտային կրիչներն ունեն հետևյալ բնութագրերը.
▪ Բարձր մաքրություն. չափազանց ցածր խառնուրդների պարունակություն, որը կանխում է թաղանթի աղտոտումը և ապահովում թաղանթի որակը։
▪ Բարձր խտություն. բարձր խտություն, բարձր մեխանիկական ամրություն, բարձր ջերմաստիճանի և բարձր ճնշման PECVD միջավայրին դիմակայելու ունակություն։
▪ Լավ չափային կայունություն. բարձր ջերմաստիճանում չափային փոքր փոփոխություն, որն ապահովում է գործընթացի կայունությունը։
▪ Գերազանց ջերմահաղորդականություն. արդյունավետորեն փոխանցում է ջերմությունը՝ կանխելով թիթեղների գերտաքացումը։
▪ Բարձր կոռոզիոն դիմադրություն. կարող է դիմակայել տարբեր կոռոզիոն գազերի և պլազմայի կողմից առաջացող էրոզիային։
▪ Անհատականացված սպասարկում. տարբեր չափերի և ձևերի գրաֆիտային կրիչները կարող են հարմարեցվել հաճախորդի կարիքներին համապատասխան։
SGL-ի գրաֆիտային նյութը՝
| Տիպիկ պարամետր՝ R6510 | |||
| Ինդեքս | Փորձարկման ստանդարտ | Արժեք | Միավոր |
| Միջին հատիկի չափը | ԻՍՕ 13320 | 10 | մկմ |
| Ծավալային խտություն | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | գ/սմ3 |
| Բաց ծակոտկենություն | DIN66133 | 10 | % |
| Միջին ծակոտիների չափ | DIN66133 | 1.8 | մկմ |
| Թափանցելիություն | DIN 51935 | 0.06 | սմ²/վ |
| Ռոքվելի կարծրություն HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Հատուկ էլեկտրական դիմադրություն | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩմ |
| Ճկման ուժ | DIN IEC 60413/501 | 60 | ՄՊա |
| Սեղմման ուժ | DIN 51910 | 130 | ՄՊա |
| Յունգի մոդուլը | DIN 51915 | 11.5×10³ | ՄՊա |
| Ջերմային ընդլայնում (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Ջերմահաղորդականություն (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Այն հատուկ նախագծված է բարձր արդյունավետությամբ արևային մարտկոցների արտադրության համար՝ աջակցելով G12 մեծ չափի վաֆլիների մշակմանը: Օպտիմալացված կրիչի դիզայնը զգալիորեն մեծացնում է արտադրողականությունը՝ հնարավորություն տալով ավելի բարձր արտադրողականության և ավելի ցածր արտադրական ծախսերի:
| Ապրանք | Տեսակ | Թիվ վաֆլի կրիչ |
| PEVCD Գրեֆիտ նավակ - 156 շարք | 156-13 գրեֆիտային նավակ | 144 |
| 156-19 գրեֆիտային նավակ | 216 | |
| 156-21 գրեֆիտային նավակ | 240 | |
| 156-23 գրաֆիտային նավակ | 308 | |
| PEVCD Գրեֆիտ նավակ - 125 շարք | 125-15 գրեֆիտային նավակ | 196 |
| 125-19 գրեֆիտային նավակ | 252 | |
| 125-21 գրաֆիտային նավակ | 280 |
-
Բարձր մաքրության, բարձր ջերմաստիճանի դիմացկուն գրաֆիտ...
-
Երկարակյաց, ջրակայուն և մաշվածությանը դիմացկուն, նորարարական...
-
Վաճառվում է ածխածնային էլեկտրոդային ձող, գրաֆիտային ձող
-
Բարձր ջերմաստիճանի դիմացկուն ճկուն գրաֆիտային թուղթ...
-
Գրաֆիտային արտադրանքի մատակարարում Գրաֆիտային բլոկային իզոստատ...
-
Պատվերով գրաֆիտային թուղթ պիրոլիտիկ ածխածնային թերթիկ ...