אנרגיה וטרינריתנשא גרפיט בתהליך PECVD הוא חומר מתכלה איכותי המותאם לתהליך PECVD (שיקוע כימי אדים משופר בפלזמה). נשא גרפיט זה עשוי מחומר גרפיט בעל טוהר גבוה וצפיפות גבוהה, בעל עמידות מצוינת לטמפרטורה גבוהה, עמידות בפני קורוזיה, יציבות ממדית ומאפיינים נוספים, ויכול לספק פלטפורמת נשא יציבה לתהליך PECVD, כדי להבטיח אחידות ושטיחות של שיקוע שכבה דקה.
נשאי גרפיט לתהליך PECVD הם בעלי המאפיינים הבאים:
▪ טוהר גבוה: תכולת זיהומים נמוכה במיוחד, המונעת זיהום של הסרט ומבטיחה את איכות הסרט.
▪ צפיפות גבוהה: צפיפות גבוהה, חוזק מכני גבוה, עמידות בסביבת PECVD בטמפרטורה גבוהה ובלחץ גבוה.
▪ יציבות ממדית טובה: שינוי ממד קטן בטמפרטורה גבוהה, מה שמבטיח יציבות תהליך.
▪ מוליכות תרמית מעולה: העברת חום ביעילות למניעת התחממות יתר של פרוסות סיליקון.
▪ עמידות חזקה בפני קורוזיה: מסוגל לעמוד בפני שחיקה על ידי גזים קורוזיביים שונים ופלזמה.
▪ שירות מותאם אישית: ניתן להתאים אישית נושאי גרפיט בגדלים וצורות שונים בהתאם לצורכי הלקוח.
חומר גרפיט מבית SGL:
| פרמטר טיפוסי: R6510 | |||
| מַדָד | תקן בדיקה | עֵרֶך | יְחִידָה |
| גודל גרגר ממוצע | תקן ISO 13320 | 10 | מיקרומטר |
| צפיפות בתפזורת | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | גרם/סמ"ר3 |
| נקבוביות פתוחה | DIN66133 | 10 | % |
| גודל נקבוביות בינוני | DIN66133 | 1.8 | מיקרומטר |
| חֲדִירוּת | דין 51935 | 0.06 | סמ"ר/שנייה |
| קשיות רוקוול HR5/100 | דין IEC60413/303 | 90 | HR |
| התנגדות חשמלית ספציפית | DIN IEC 60413/402 | 13 | מיקרואוהם |
| חוזק כיפוף | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| חוזק דחיסה | דין 51910 | 130 | MPa |
| מודול יאנג | דין 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| התפשטות תרמית (20-200 ℃) | דין 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| מוליכות תרמית (20℃) | דין 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
הוא תוכנן במיוחד לייצור תאים סולאריים ביעילות גבוהה, ותומך בעיבוד פרוסות סולאריות גדולות מסוג G12. תכנון אופטימלי של נשא מגדיל משמעותית את התפוקה, ומאפשר שיעורי תפוקה גבוהים יותר ועלויות ייצור נמוכות יותר.
| פָּרִיט | סוּג | מספר ופלים נושאי |
| סירת גרפיט PEVCD - סדרת 156 | סירת גרפיט 156-13 | 144 |
| סירת גרפיט 156-19 | 216 | |
| סירת גרפיט 156-21 | 240 | |
| סירת גרפיט 156-23 | 308 | |
| סירת גרפיט PEVCD - סדרת 125 | סירת גרפיט 125-15 | 196 |
| סירת גרפיט 125-19 | 252 | |
| סירת גרפיט 125-21 | 280 |
