សារធាតុក្រាហ្វីតសម្រាប់ដំណើរការ PECVD

សម្ភារៈផ្ទុកក្រាហ្វីតសម្រាប់ដំណើរការ PECVD រូបភាពពិសេស

ការពិពណ៌នាខ្លី៖

ថាមពល VETទូកក្រាហ្វីត PECVD សម្រាប់បន្ទះសូឡា គឺជាសមាសធាតុទំនើបមួយដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការផលិតបន្ទះសូឡាដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ ទូកក្រាហ្វីតនេះត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) ធានានូវការគ្រប់គ្រងសម្ភារៈដ៏ល្អប្រសើរ និងការដាក់ស្រទាប់ស្តើងៗលើកោសិកាសូឡា។ ត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ភាពជាក់លាក់ និងភាពធន់ វាផ្តល់នូវចរន្តកំដៅខ្ពស់ ភាពធន់នឹងការច្រេះខ្ពស់ និងការបំពុលតិចតួចបំផុត ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការផលិតបន្ទះសូឡាដែលមានប្រសិទ្ធភាព និងមានគុណភាពខ្ពស់។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង ទាញយកជា PDF

ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

ថាមពល VETសម្ភារៈផ្ទុកក្រាហ្វីតដំណើរការ PECVD គឺជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ដំណើរការ PECVD (ការដាក់ចំហាយគីមីដែលបង្កើនប្លាស្មា)។ សម្ភារៈផ្ទុកក្រាហ្វីតនេះត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុដើមក្រាហ្វីតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ដែលមានភាពធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ភាពធន់នឹងការច្រេះ ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងលក្ខណៈផ្សេងៗទៀត អាចផ្តល់នូវវេទិកាផ្ទុកដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ដំណើរការ PECVD ដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋាន និងភាពរាបស្មើនៃការដាក់ស្រទាប់ស្តើង។

សារធាតុផ្ទុកក្រាហ្វីតសម្រាប់ដំណើរការ PECVD មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោម៖

▪ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖ មាតិកាមិនបរិសុទ្ធទាបបំផុត ជៀសវាងការបំពុលខ្សែភាពយន្ត និងធានាគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។

▪ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់៖ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ អាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់នៃបរិស្ថាន PECVD។

▪ ស្ថេរភាពវិមាត្រល្អ៖ ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រតូចនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធានាបាននូវស្ថេរភាពដំណើរការ។

▪ ចរន្តកំដៅល្អឥតខ្ចោះ៖ ផ្ទេរកំដៅបានយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព ដើម្បីការពារការឡើងកំដៅខ្លាំងពេកនៃបន្ទះសៀគ្វី។

▪ ធន់នឹងការច្រេះខ្លាំង៖ អាចទប់ទល់នឹងការហូរច្រោះដោយឧស្ម័នច្រេះ និងប្លាស្មាផ្សេងៗ។

▪ សេវាកម្មតាមតម្រូវការ៖ ថាសផ្ទុកក្រាហ្វីតដែលមានទំហំ និងរូបរាងផ្សេងៗគ្នាអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។

សម្ភារៈក្រាហ្វីតពី SGL៖

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រធម្មតា៖ R6510
លិបិក្រម	ស្តង់ដារសាកល្បង	តម្លៃ	ឯកតា
ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិជាមធ្យម	អាយអេសអូ ១៣៣២០	១០	μm
ដង់ស៊ីតេច្រើន	ស្តង់ដារ DIN IEC 60413/204	១.៨៣	ក្រាម/សង់ទីម៉ែត្រ³
រន្ធញើសបើកចំហ	DIN66133	១០	%
ទំហំរន្ធញើសមធ្យម	DIN66133	១.៨	μm
ភាពជ្រាបចូល	ឌីន ៥១៩៣៥	០.០៦	សង់ទីម៉ែត្រការ៉េ/វិនាទី
ភាពរឹងរបស់ Rockwell HR5/100	ឌីអិន IEC60413/303	៩០	HR
ធន់ទ្រាំអគ្គិសនីជាក់លាក់	ស្តង់ដារ DIN IEC 60413/402	១៣	μΩm
កម្លាំងបត់បែន	ស្តង់ដារ DIN IEC 60413/501	60	MPa
កម្លាំងបង្ហាប់	ឌីអិន ៥១៩១០	១៣០	MPa
ម៉ូឌុលរបស់ Young	ឌីអិន ៥១៩១៥	១១.៥ × ១០³	MPa
ការពង្រីកកម្ដៅ (20-200 ℃)	ឌីអិន ៥១៩០៩	៤.២X១០^-6	K^-1
ចរន្តកំដៅ (20℃)	ឌីអិន ៥១៩០៨	១០៥	Wm^-1K^-1

វាត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ដោយគាំទ្រដល់ដំណើរការបន្ទះសៀគ្វីទំហំធំ G12។ ការរចនាឧបករណ៍ផ្ទុកដែលបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងបានបង្កើនទិន្នផលយ៉ាងច្រើន ដែលអាចឱ្យមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់ និងថ្លៃដើមផលិតកម្មទាប។

វត្ថុ	ប្រភេទ	លេខឧបករណ៍ផ្ទុកបន្ទះស្តើង
ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 156	ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១៥៦-១៣	១៤៤
	ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១៥៦-១៩	២១៦
	ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១៥៦-២១	២៤០
	ទូកក្រាហ្វីត ១៥៦-២៣	៣០៨
ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 125	ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១២៥-១៥	១៩៦
	ទូកហ្គ្រីហ្វីត ១២៥-១៩	២៥២
	ទូកក្រាហ្វីត ១២៥-២១	២៨០