ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន Graphite សម្រាប់ដំណើរការ PECVD

Graphite Carrier សម្រាប់ដំណើរការ PECVD រូបភាពពិសេស

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

ថាមពល VETPECVD Graphite Boat សម្រាប់បន្ទះសូឡាគឺជាសមាសធាតុកម្រិតខ្ពស់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការផលិតបន្ទះស្រូបពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់។ ប្រើក្នុងដំណើរការប្លាស្មាបង្កើនការបំផ្លិចបំផ្លាញគីមីគីមី (PECVD) ទូកក្រាហ្វិចនេះធានានូវការគ្រប់គ្រងសម្ភារៈដ៏ល្អប្រសើរ និងការដាក់ឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ ត្រូវបានបង្កើតឡើងសម្រាប់ភាពជាក់លាក់ និងយូរអង្វែង វាផ្តល់នូវចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ភាពធន់នឹងការច្រេះខ្ពស់ និងការចម្លងរោគតិចតួច ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់ការផលិតបន្ទះស្រូបពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលមានប្រសិទ្ធភាព និងគុណភាពខ្ពស់។

ផ្ញើអ៊ីមែលមកយើង ទាញយកជា PDF

ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

ថាមពល VETក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនក្រាហ្វិចដំណើរការ PECVD គឺជាឧបករណ៍ប្រើប្រាស់ដែលមានគុណភាពខ្ពស់ដែលត្រូវបានកែសម្រួលសម្រាប់ដំណើរការ PECVD (ការបំភាយចំហាយគីមីដែលបង្កើនប្លាស្មា)។ ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនក្រាហ្វិចនេះត្រូវបានផលិតឡើងពីវត្ថុធាតុក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងច្រេះ ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងលក្ខណៈផ្សេងទៀត អាចផ្តល់នូវវេទិកាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ដំណើរការ PECVD ដើម្បីធានាបាននូវឯកសណ្ឋាននិងភាពរាបស្មើនៃស្រទាប់ស្តើង។

ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន Graphite សម្រាប់ដំណើរការ PECVD មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោមៈ

▪ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖ មាតិកាមិនបរិសុទ្ធទាបបំផុត ជៀសវាងការចម្លងរោគនៃខ្សែភាពយន្ត និងធានាគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។

▪ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់៖ ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ អាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់បរិស្ថាន PECVD ។

▪ ស្ថេរភាពវិមាត្រល្អ៖ ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រតូចនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធានាបាននូវស្ថេរភាពដំណើរការ។

▪ ចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ៖ ផ្ទេរកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពដើម្បីការពារកុំឱ្យឡើងកំដៅរបស់ wafer ។

▪ ធន់នឹងច្រេះខ្លាំង៖ អាចទប់ទល់នឹងសំណឹកដោយឧស្ម័ន និងប្លាស្មា។

▪ សេវាកម្មប្ដូរតាមបំណង៖ ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនក្រាហ្វីតដែលមានទំហំ និងរាងខុសៗគ្នាអាចប្ដូរតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។

សម្ភារៈក្រាហ្វិចពី SGL៖

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រធម្មតា: R6510
សន្ទស្សន៍	ស្តង់ដារសាកល្បង	តម្លៃ	ឯកតា
ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិជាមធ្យម	ISO 13320	១០	μm
ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន	DIN IEC 60413/204	១.៨៣	ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ³
បើក porosity	DIN66133	១០	%
ទំហំរន្ធញើសមធ្យម	DIN66133	១.៨	μm
ភាពជ្រាបចូល	DIN 51935	0.06	សង់ទីម៉ែត្រ 2/s
ភាពរឹងរបស់ Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	៩០	HR
ភាពធន់នឹងអគ្គិសនីជាក់លាក់	DIN IEC 60413/402	១៣	μΩm
កម្លាំងបត់បែន	DIN IEC 60413/501	60	MPa
កម្លាំងបង្ហាប់	DIN 51910	១៣០	MPa
ម៉ូឌុលរបស់ Young	DIN 51915	១១.៥ × ១០³	MPa
ការពង្រីកកំដៅ (20-200 ℃)	DIN 51909	៤.២X១០^-6	K^-1
ចរន្តកំដៅ (20 ℃)	DIN 51908	១០៥	Wm^-1K^-1

វាត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការផលិតកោសិកាថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ គាំទ្រដល់ដំណើរការ wafer ទំហំធំ G12 ។ ការរចនាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែលបានកែលម្អយ៉ាងសំខាន់បង្កើនទិន្នផល ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់ និងតម្លៃផលិតកម្មទាប។

ធាតុ	ប្រភេទ	ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer លេខ
ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 156	156-13 ទូក grephite	១៤៤
	156-19 ទូក grephite	២១៦
	156-21 ទូក grephite	២៤០
	១៥៦-២៣ ទូកក្រាហ្វិច	៣០៨
ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 125	125-15 ទូក grephite	១៩៦
	125-19 ទូក grephite	២៥២
	ទូក 125-21 grphite	២៨០