PECVD પ્રક્રિયા માટે ગ્રેફાઇટ કેરિયર

PECVD પ્રક્રિયા માટે ગ્રેફાઇટ કેરિયર્સમાં નીચેની લાક્ષણિકતાઓ છે:

▪ ઉચ્ચ શુદ્ધતા: અત્યંત ઓછી અશુદ્ધિ સામગ્રી, ફિલ્મના દૂષણને ટાળે છે અને ફિલ્મની ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરે છે.

▪ ઉચ્ચ ઘનતા: ઉચ્ચ ઘનતા, ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ દબાણ PECVD વાતાવરણનો સામનો કરવા સક્ષમ.

▪ સારી પરિમાણીય સ્થિરતા: ઊંચા તાપમાને નાના પરિમાણીય ફેરફાર, પ્રક્રિયા સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે.

▪ ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા: વેફરને વધુ ગરમ થતા અટકાવવા માટે અસરકારક રીતે ગરમીનું સ્થાનાંતરણ કરે છે.

▪ મજબૂત કાટ પ્રતિકાર: વિવિધ કાટ લાગતા વાયુઓ અને પ્લાઝ્મા દ્વારા ધોવાણનો પ્રતિકાર કરવા સક્ષમ.

▪ કસ્ટમાઇઝ્ડ સેવા: વિવિધ કદ અને આકારના ગ્રેફાઇટ કેરિયર્સને ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે.