VET EnergiaA PECVD eljárással előállított grafithordozó egy kiváló minőségű, a PECVD (plazma-erősítésű kémiai gőzfázisú leválasztás) eljáráshoz kifejlesztett fogyóeszköz. Ez a grafithordozó nagy tisztaságú, nagy sűrűségű grafitanyagból készül, kiváló hőállósággal, korrózióállósággal, méretstabilitással és egyéb jellemzőkkel rendelkezik, stabil hordozóplatformot biztosít a PECVD eljáráshoz, biztosítva a vékonyréteg-leválasztás egyenletességét és síkfelületét.
A PECVD eljáráshoz használt grafithordozók a következő jellemzőkkel rendelkeznek:
▪ Nagy tisztaság: rendkívül alacsony szennyeződéstartalom, amely megakadályozza a film szennyeződését és biztosítja a film minőségét.
▪ Nagy sűrűség: nagy sűrűség, nagy mechanikai szilárdság, képes ellenállni a magas hőmérsékletnek és a nagy nyomású PECVD környezetnek.
▪ Jó méretstabilitás: kis méretváltozás magas hőmérsékleten, ami biztosítja a folyamat stabilitását.
▪ Kiváló hővezető képesség: hatékonyan vezeti el a hőt a lapka túlmelegedésének megakadályozása érdekében.
▪ Erős korrózióállóság: képes ellenállni a különféle korrozív gázok és a plazma okozta eróziónak.
▪ Testreszabott szolgáltatás: a különböző méretű és formájú grafithordozók az ügyfél igényei szerint testreszabhatók.
Grafit anyag az SGL-től:
| Tipikus paraméter: R6510 | |||
| Index | Vizsgálati szabvány | Érték | Egység |
| Átlagos szemcseméret | ISO 13320 | 10 | μm |
| Térfogatsűrűség | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Nyitott porozitás | DIN66133 | 10 | % |
| Közepes pórusméretű | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Áteresztőképesség | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell keménység HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Fajlagos elektromos ellenállás | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Hajlító szilárdság | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Nyomószilárdság | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young modulusa | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Hőtágulás (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2x10-6 | K-1 |
| Hővezető képesség (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Kifejezetten nagy hatékonyságú napelemgyártáshoz tervezték, támogatva a G12 nagyméretű szeletek feldolgozását. Az optimalizált hordozótervezés jelentősen növeli az átviteli sebességet, lehetővé téve a magasabb hozamot és az alacsonyabb termelési költségeket.
| Tétel | Típus | Számlap hordozó |
| PEVCD Grephite hajó - A 156-os sorozat | 156-13 grefit csónak | 144 |
| 156-19 grefit csónak | 216 | |
| 156-21 grefit csónak | 240 | |
| 156-23 grafit csónak | 308 | |
| PEVCD Grephite hajó - A 125-ös sorozat | 125-15 grefit csónak | 196 |
| 125-19 grefit csónak | 252 | |
| 125-21 grafit csónak | 280 |
