Giùlan grafait airson pròiseas PECVD

Tuairisgeul Goirid:

Lùth VET’S e pàirt adhartach a th’ ann am Bàta Grafait PECVD airson Pannalan Grèine a chaidh a dhealbhadh gu sònraichte airson cinneasachadh pannalan grèine àrd-choileanaidh. Air a chleachdadh ann am pròiseasan Tasgadh Ceimigeach Smùid Leasaichte Plasma (PECVD), bidh am bàta grafait seo a’ dèanamh cinnteach à làimhseachadh stuthan as fheàrr agus tasgadh cunbhalach de fhilmichean tana air ceallan grèine. Air a dhealbhadh airson mionaideachd agus seasmhachd, tha e a’ toirt seachad seoltachd teirmeach nas fheàrr, strì an aghaidh creimeadh àrd, agus glè bheag de thruailleadh, a tha riatanach airson cinneasachadh pannalan grèine èifeachdach, àrd-inbhe.

Cuir post-d thugainn Luchdaich sìos mar PDF

Mion-fhiosrachadh Toraidh

Tagaichean Bathar

Lùth VET’S e stuth-caitheamh àrd-inbhe a th’ ann an giùlan grafait pròiseas PECVD a tha air a dhealbhadh airson pròiseas PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Tha an giùlan grafait seo air a dhèanamh de stuth grafait àrd-ghlanachd, àrd-dùmhlachd, le strì an aghaidh teòthachd àrd, strì an aghaidh creimeadh, seasmhachd tomhasach agus feartan eile, agus faodaidh e àrd-ùrlar giùlain seasmhach a thoirt seachad airson pròiseas PECVD, gus dèanamh cinnteach à cunbhalachd agus rèidh an tasgadh film tana.

Tha na feartan a leanas aig luchd-giùlain grafait airson pròiseas PECVD:

▪ Glanachd àrd: susbaint neo-ghlainead air leth ìosal, a’ seachnadh truailleadh an fhilm agus a’ dèanamh cinnteach à càileachd an fhilm.

▪ Dùmhlachd àrd: dùmhlachd àrd, neart meacanaigeach àrd, comasach air seasamh an aghaidh teòthachd àrd agus àrainneachd PECVD le cuideam àrd.

▪ Seasmhachd mhath ann an tomhasan: atharrachadh beag ann an tomhasan aig teòthachd àrd, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd a’ phròiseis.

▪ Seòltachd teirmeach sàr-mhath: gluais teas gu h-èifeachdach gus casg a chur air cus teasachadh nan uaifearan.

▪ Seasmhachd làidir an aghaidh creimeadh: comasach air seasamh an aghaidh creimeadh bho dhiofar ghasan creimneach agus plasma.

▪ Seirbheis gnàthaichte: faodar giùlan grafait de dhiofar mheudan agus chumaidhean a ghnàthachadh a rèir feumalachdan luchd-ceannach.

Stuth grafait bho SGL:

Paramadair àbhaisteach: R6510
Clàr-amais	Inbhe deuchainn	Luach	Aonad
Meud cuibheasach gràin	ISO 13320	10	μm
Dlùths mòr-chuid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porachd fosgailte	DIN66133	10	%
Meud meadhanach pore	DIN66133	1.8	μm
Treòiteachd	DIN 51935	0.06	cm²/s
Cruas Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Frith-sheasmhachd dealain sònraichte	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Neart lùbadh	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Neart teannachaidh	DIN 51910	130	MPa
Modúl Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Leudachadh teirmeach (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Seoltachd teirmeach (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tha e air a dhealbhadh gu sònraichte airson saothrachadh ceallan grèine àrd-èifeachdais, a’ toirt taic do ghiullachd uaifearan mòra G12. Bidh dealbhadh giùlain leasaichte a’ meudachadh an toraidh gu mòr, a’ comasachadh ìrean toraidh nas àirde agus cosgaisean cinneasachaidh nas ìsle.

Nì	Seòrsa	Àireamh giùlain wafer
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 156	Bàta greaphite 156-13	144
	Bàta greaphite 156-19	216
	Bàta greaphite 156-21	240
	Bàta grafait 156-23	308
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 125	Bàta greaphite 125-15	196
	Bàta greaphite 125-19	252
	Bàta grafait 125-21	280