د VET انرژيد PECVD پروسې ګرافایټ کیریر د لوړ کیفیت لرونکي مصرف وړ دی چې د PECVD (پلازما لوړ شوي کیمیاوي بخار زیرمه کولو) پروسې لپاره جوړ شوی. دا ګرافایټ کیریر د لوړ پاکوالي، لوړ کثافت ګرافایټ موادو څخه جوړ شوی، د غوره لوړ تودوخې مقاومت، د زنګ مقاومت، ابعادي ثبات او نورو ځانګړتیاو سره، کولی شي د PECVD پروسې لپاره یو باثباته کیریر پلیټ فارم چمتو کړي، ترڅو د پتلي فلم زیرمه کولو یووالي او فلیټیت ډاډمن کړي.
د PECVD پروسې لپاره د ګرافایټ وړونکي لاندې ځانګړتیاوې لري:
▪ لوړ پاکوالی: د ناپاکۍ خورا ټیټه کچه، د فلم د ککړتیا مخه نیسي او د فلم کیفیت ډاډمن کوي.
▪ لوړ کثافت: لوړ کثافت، لوړ میخانیکي ځواک، د لوړ تودوخې او لوړ فشار PECVD چاپیریال سره د مقابلې وړتیا.
▪ ښه ابعادي ثبات: په لوړه تودوخه کې کوچنی ابعادي بدلون، د پروسې ثبات ډاډمن کوي.
▪ غوره حرارتي چالکتیا: په مؤثره توګه تودوخه لیږدوي ترڅو د ویفر ډیر ګرمیدو مخه ونیسي.
▪ د زنګ وهلو قوي مقاومت: د مختلفو زنګ وهونکو ګازونو او پلازما لخوا د تخریب په وړاندې مقاومت کولی شي.
▪ دودیز خدمت: د مختلفو اندازو او شکلونو ګرافایټ کیریرونه د پیرودونکو اړتیاو سره سم تنظیم کیدی شي.
د SGL څخه د ګرافیت مواد:
| عادي پیرامیټر: R6510 | |||
| ډېرځليزې | د ازموینې معیار | ارزښت | واحد |
| د غلې دانې منځنۍ اندازه | د ISO ۱۳۳۲۰ | ۱۰ | مایکروم |
| د حجم کثافت | د DIN IEC 60413/204 | ۱.۸۳ | ګرامه/سانتي متره3 |
| خلاص پورسیت | د DIN66133 معرفي کول | ۱۰ | % |
| د سوریو منځنۍ اندازه | د DIN66133 معرفي کول | ۱.۸ | مایکروم |
| نفوذ وړتیا | ډین ۵۱۹۳۵ | ۰.۰۶ | سانتي متره/ثانیې |
| د راک ویل سختۍ HR5/100 | د ډین IEC60413/303 | ۹۰ | HR |
| ځانګړی بریښنایی مقاومت | د DIN IEC 60413/402 | ۱۳ | μΩm |
| انعطاف منونکی ځواک | د DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| د فشار ځواک | ډین ۵۱۹۱۰ | ۱۳۰ | MPa |
| د ځوان ماډول | ډین ۵۱۹۱۵ | ۱۱.۵×۱۰³ | MPa |
| د تودوخې پراخوالی (۲۰-۲۰۰℃) | ډین ۵۱۹۰۹ | ۴.۲X۱۰-6 | K-1 |
| د تودوخې چالکتیا (۲۰℃) | ډین ۵۱۹۰۸ | ۱۰۵ | Wm-1K-1 |
دا په ځانګړي ډول د لوړ موثریت سولر سیل تولید لپاره ډیزاین شوی، چې د G12 لوی اندازې ویفر پروسس ملاتړ کوي. غوره شوی کیریر ډیزاین د پام وړ تروپټ زیاتوي، د لوړ حاصل کچه او ټیټ تولید لګښتونه فعالوي.
| توکي | ډول | د نمبر ویفر کیریر |
| د PEVCD ګریفایټ کښتۍ - د ۱۵۶ لړۍ | ۱۵۶-۱۳ ګریفایټ کښتۍ | ۱۴۴ |
| ۱۵۶-۱۹ ګریفایټ کښتۍ | ۲۱۶ | |
| ۱۵۶-۲۱ ګریفایټ کښتۍ | ۲۴۰ | |
| ۱۵۶-۲۳ ګرافایټ کښتۍ | ۳۰۸ | |
| د PEVCD ګریفایټ کښتۍ - د ۱۲۵ لړۍ | ۱۲۵-۱۵ ګریفایټ کښتۍ | ۱۹۶ |
| ۱۲۵-۱۹ ګریفایټ کښتۍ | ۲۵۲ | |
| ۱۲۵-۲۱ ګرافایټ کښتۍ | ۲۸۰ |
-
د لوړ پاکوالي لوړ حرارت مقاومت لرونکی ګرافایټ ...
-
دوامدار، د اوبو ضد او د اغوستلو په وړاندې مقاومت لرونکی، نوښتګر...
-
د کاربن الیکټروډ راډ ګرافایټ راډ د پلور لپاره
-
انعطاف منونکی ګرافایټ کاغذ د لوړې تودوخې ګرافایټ کاغذ ...
-
د ګرافایټ محصولاتو عرضه کول د ګرافایټ بلاک اسوسټاټ ...
-
د ګمرک ګرافایټ کاغذ پایرولیټیک کاربن شیټ فل ...

