PECVD процесст зориулсан графит тээвэрлэгч

PECVD процесст зориулсан бал чулуун зөөгч Онцлох зураг

Товч тайлбар:

Мэргэжлийн сургалтын эрчим хүчНарны хавтангийн PECVD графит завь нь өндөр хүчин чадалтай нарны хавтан үйлдвэрлэхэд тусгайлан зориулсан дэвшилтэт бүрэлдэхүүн хэсэг юм. Плазмын сайжруулсан химийн ууршуулах тунадасжуулалт (PECVD) процесст ашиглагддаг энэхүү графит завь нь материалыг оновчтой зохицуулах, нарны зайн дээр нимгэн хальсыг жигд тунадасжуулах боломжийг олгодог. Нарийвчлал, бат бөх чанарыг хангах зорилгоор бүтээгдсэн энэхүү завь нь үр ашигтай, өндөр чанартай нарны хавтан үйлдвэрлэхэд зайлшгүй шаардлагатай дээд зэргийн дулаан дамжуулалт, өндөр зэврэлтээс хамгаалах, хамгийн бага бохирдолтой.

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

Мэргэжлийн сургалтын эрчим хүчPECVD процессын бал чулуун зөөгч нь PECVD (плазмын сайжруулсан химийн ууршуулах) процесст зориулагдсан өндөр чанартай хэрэглээний материал юм. Энэхүү бал чулуун зөөгч нь өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай бал чулуун материалаар хийгдсэн бөгөөд өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хэмжээст тогтвортой байдал болон бусад шинж чанартай бөгөөд PECVD процесст тогтвортой зөөгч тавцан болж, нимгэн хальсан хуримтлалын жигд байдал, тэгш байдлыг хангах боломжтой.

PECVD процесст зориулсан графит тээвэрлэгчид дараах шинж чанартай байдаг.

▪ Өндөр цэвэршилт: маш бага хольцын агууламжтай, хальсыг бохирдуулахаас сэргийлж, хальсны чанарыг баталгаажуулдаг.

▪ Өндөр нягтрал: өндөр нягтралтай, өндөр механик бат бөх, өндөр температур болон өндөр даралтын PECVD орчинд тэсвэртэй.

▪ Сайн хэмжээст тогтвортой байдал: өндөр температурт бага хэмжээний өөрчлөлт гарч, үйл явцын тогтвортой байдлыг хангана.

▪ Маш сайн дулаан дамжуулалт: ваарны хэт халалтаас сэргийлж дулааныг үр дүнтэй дамжуулдаг.

▪ Зэврэлтэнд тэсвэртэй: янз бүрийн идэмхий хий болон плазмын элэгдэлд тэсвэртэй.

▪ Захиалгат үйлчилгээ: янз бүрийн хэмжээ, хэлбэрийн бал чулуун зөөгчийг хэрэглэгчийн хэрэгцээнд нийцүүлэн өөрчилж болно.

SGL-ийн бал чулуун материал:

Ердийн параметр: R6510
Индекс	Туршилтын стандарт	Үнэ цэнэ	Нэгж
Үр тарианы дундаж хэмжээ	ISO 13320	10	мкм
Бөөн нягтрал	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Нээлттэй сүвэрхэг байдал	DIN66133	10	%
Дунд зэргийн нүх сүвний хэмжээ	DIN66133	1.8	мкм
Нэвчилт	DIN 51935	0.06	см²/с
Роквеллийн хатуулаг HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Цахилгаан эсэргүүцэл	DIN IEC 60413/402	13	μΩм
Гулзайлтын хүч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Шахалтын бат бэх	DIN 51910	130	МПа
Янгийн модуль	DIN 51915	11.5×10³	МПа
Дулааны тэлэлт (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Дулаан дамжуулалт (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Энэ нь G12 том хэмжээтэй вафлийн боловсруулалтыг дэмждэг өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэхэд зориулагдсан. Оновчтой зөөгч загвар нь дамжуулах чадварыг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлж, ургацын хэмжээг нэмэгдүүлж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулдаг.

Зүйл	Төрөл	Дугаартай вафли зөөгч
PEVCD Грефит завь - 156 цуврал	156-13 грефит завь	144
	156-19 грефит завь	216
	156-21 грефит завь	240
	156-23 бал чулуун завь	308
PEVCD Грефит завь - 125 цуврал	125-15 грефит завь	196
	125-19 грефит завь	252
	125-21 грфит завь	280