Grafitový nosič pre proces PECVD

Stručný popis:

Energia odborného vzdelávania a prípravyGrafitová loďka PECVD pre solárne panely je pokročilý komponent navrhnutý špeciálne na výrobu vysokovýkonných solárnych panelov. Táto grafitová loďka, používaná v procesoch plazmového chemického nanášania z pár (PECVD), zaisťuje optimálnu manipuláciu s materiálom a rovnomerné nanášanie tenkých vrstiev na solárne články. Je navrhnutá pre presnosť a odolnosť, poskytuje vynikajúcu tepelnú vodivosť, vysokú odolnosť proti korózii a minimálnu kontamináciu, čo je nevyhnutné pre výrobu efektívnych a vysoko kvalitných solárnych panelov.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detaily produktu

Značky produktov

Energia odborného vzdelávania a prípravyGrafitový nosič pre proces PECVD je vysoko kvalitný spotrebný materiál určený pre proces PECVD (plazmou vylepšené chemické nanášanie z plynnej fázy). Tento grafitový nosič je vyrobený z vysoko čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou, s vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám, odolnosťou proti korózii, rozmerovou stabilitou a ďalšími vlastnosťami, môže poskytnúť stabilnú nosičovú platformu pre proces PECVD, aby sa zabezpečila rovnomernosť a rovinnosť nanášania tenkých vrstiev.

Grafitové nosiče pre proces PECVD majú nasledujúce vlastnosti:

▪ Vysoká čistota: extrémne nízky obsah nečistôt, čím sa zabráni kontaminácii filmu a zabezpečí sa jeho kvalita.

▪ Vysoká hustota: vysoká hustota, vysoká mechanická pevnosť, odolnosť voči vysokej teplote a vysokému tlaku v prostredí PECVD.

▪ Dobrá rozmerová stabilita: malá zmena rozmerov pri vysokej teplote, čo zabezpečuje stabilitu procesu.

▪ Vynikajúca tepelná vodivosť: účinne prenáša teplo, aby sa zabránilo prehriatiu doštičky.

▪ Silná odolnosť voči korózii: odolnosť voči erózii spôsobenej rôznymi korozívnymi plynmi a plazmou.

▪ Zákaznícky servis: grafitové nosiče rôznych veľkostí a tvarov je možné prispôsobiť podľa potrieb zákazníka.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parameter: R6510
Index	Skúšobný štandard	Hodnota	Jednotka
Priemerná veľkosť zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hustota	Norma DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorená pórovitosť	DIN66133	10	%
Stredná veľkosť pórov	DIN66133	1,8	μm
Priepustnosť	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdosť podľa Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Merný elektrický odpor	Norma DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnosť v ohybe	Norma DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnosť v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Tepelná rozťažnosť (20 – 200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Tepelná vodivosť (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je špeciálne navrhnutý pre vysokoúčinnú výrobu solárnych článkov a podporuje spracovanie veľkoformátových doštičiek G12. Optimalizovaný dizajn nosičov výrazne zvyšuje priepustnosť, čo umožňuje vyššiu výťažnosť a nižšie výrobné náklady.

Položka	Typ	Nosič doštičiek s číslom
PEVCD Grephite boat - Séria 156	156-13 grefitová loď	144
	156-19 grefitová loď	216
	156-21 grefitová loď	240
	Grafitový čln 156-23	308
PEVCD Grephite boat - Séria 125	125-15 grefitová loď	196
	125-19 grefitová loď	252
	125-21 grafitový čln	280