Nośnik grafitowy do procesu PECVD

Krótki opis:

Energia VETPECVD Graphite Boat for Solar Panel to zaawansowany komponent zaprojektowany specjalnie do produkcji wysokowydajnych paneli słonecznych. Używany w procesach Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), ten grafitowy statek zapewnia optymalną obsługę materiału i równomierne osadzanie cienkich warstw na ogniwach słonecznych. Zaprojektowany z myślą o precyzji i trwałości, zapewnia doskonałą przewodność cieplną, wysoką odporność na korozję i minimalne zanieczyszczenie, które są niezbędne do produkcji wydajnych, wysokiej jakości paneli słonecznych.

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Energia VETNośnik grafitowy do procesu PECVD to wysokiej jakości materiał eksploatacyjny dostosowany do procesu PECVD (chemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą). Ten nośnik grafitowy jest wykonany z materiału grafitowego o wysokiej czystości i gęstości, o doskonałej odporności na wysokie temperatury, odporności na korozję, stabilności wymiarowej i innych cechach, może zapewnić stabilną platformę nośną do procesu PECVD, aby zapewnić jednorodność i płaskość osadzania cienkich warstw.

Nośniki grafitu do procesu PECVD charakteryzują się następującymi cechami:

▪ Wysoka czystość: wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń, co pozwala uniknąć zanieczyszczenia folii i gwarantuje jej jakość.

▪ Wysoka gęstość: wysoka gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, odporność na wysoką temperaturę i wysokie ciśnienie w środowisku PECVD.

▪ Dobra stabilność wymiarowa: niewielka zmiana wymiarów w wysokiej temperaturze, zapewniająca stabilność procesu.

▪ Doskonała przewodność cieplna: skuteczne przenoszenie ciepła zapobiegające przegrzaniu się płytki.

▪ Wysoka odporność na korozję: odporność na erozję powodowaną przez różne gazy korozyjne i plazmę.

▪ Usługa dostosowana do potrzeb klienta: nośniki grafitowe o różnych rozmiarach i kształtach mogą być dostosowane do potrzeb klienta.

Materiał grafitowy od SGL:

Typowy parametr: R6510
Indeks	Norma testowa	Wartość	Jednostka
Średnia wielkość ziarna	Norma ISO 13320	10	mikrometr
Gęstość objętościowa	Norma DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porowatość otwarta	DIN66133	10	%
Średniej wielkości pory	DIN66133	1.8	mikrometr
Przepuszczalność	Norma DIN 51935	0,06	cm²/s
Twardość Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Opór właściwy elektryczny	Norma DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Wytrzymałość na zginanie	Norma DIN IEC 60413/501	60	MPa
Wytrzymałość na ściskanie	DIN 51910	130	MPa
Moduł Younga	Norma DIN 51915	11,5×10³	MPa
Rozszerzalność cieplna (20-200℃)	Norma DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Przewodność cieplna (20℃)	Norma DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Został zaprojektowany specjalnie do produkcji ogniw słonecznych o wysokiej wydajności, obsługując przetwarzanie dużych płytek G12. Zoptymalizowana konstrukcja nośnika znacznie zwiększa przepustowość, umożliwiając wyższe wskaźniki wydajności i niższe koszty produkcji.

Przedmiot	Typ	Numer nośnika wafli
Łódź PEVCD Grephite - seria 156	156-13 łódź grefitowa	144
	156-19 łódź grefitowa	216
	156-21 łódź grefitowa	240
	156-23 łódź grafitowa	308
Łódź PEVCD Grephite - seria 125	Łódź grefitowa 125-15	196
	Łódź grefitowa 125-19	252
	Łódź grafitowa 125-21	280