Nośnik grafitowy do procesu PECVD

Krótki opis:

Energia VETŁódeczka grafitowa PECVD do paneli słonecznych to zaawansowany komponent zaprojektowany specjalnie do produkcji wysokowydajnych paneli słonecznych. Stosowana w procesach chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą (PECVD), ta łódeczka grafitowa zapewnia optymalną obróbkę materiału i równomierne osadzanie cienkich warstw na ogniwach słonecznych. Zaprojektowana z myślą o precyzji i trwałości, zapewnia doskonałą przewodność cieplną, wysoką odporność na korozję i minimalne zanieczyszczenie, co jest niezbędne do produkcji wydajnych, wysokiej jakości paneli słonecznych.

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Energia VETNośnik grafitowy do procesu PECVD to wysokiej jakości materiał eksploatacyjny dostosowany do procesu PECVD (chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą). Nośnik grafitowy wykonany jest z wysokiej czystości i gęstości grafitu, charakteryzującego się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, odpornością na korozję, stabilnością wymiarową i innymi cechami. Może stanowić stabilną platformę nośną dla procesu PECVD, gwarantując jednorodność i płaskość osadzania cienkich warstw.

Nośniki grafitowe do procesu PECVD charakteryzują się następującymi cechami:

▪ Wysoka czystość: wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń, co pozwala uniknąć zanieczyszczenia folii i gwarantuje jej jakość.

▪ Wysoka gęstość: wysoka gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, zdolność do wytrzymania wysokiej temperatury i wysokiego ciśnienia w środowisku PECVD.

▪ Dobra stabilność wymiarowa: niewielkie zmiany wymiarów w wysokiej temperaturze zapewniają stabilność procesu.

▪ Doskonała przewodność cieplna: efektywne przenoszenie ciepła zapobiega przegrzaniu się płytki.

▪ Wysoka odporność na korozję: odporność na erozję powodowaną przez różne gazy korozyjne i plazmę.

▪ Usługa dostosowana do potrzeb klienta: nośniki grafitowe o różnych rozmiarach i kształtach mogą być dostosowane do potrzeb klienta.

Materiał grafitowy od SGL:

Typowy parametr: R6510
Indeks	Norma testowa	Wartość	Jednostka
Średnia wielkość ziarna	ISO 13320	10	mikrometrów
Gęstość objętościowa	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otwarta porowatość	DIN66133	10	%
Średnia wielkość porów	DIN66133	1.8	mikrometrów
Przepuszczalność	DIN 51935	0,06	cm²/s
Twardość Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Opór właściwy elektryczny	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Wytrzymałość na zginanie	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Wytrzymałość na ściskanie	DIN 51910	130	MPa
Moduł Younga	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Rozszerzalność cieplna (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Przewodność cieplna (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Został zaprojektowany specjalnie do wysokowydajnej produkcji ogniw słonecznych, wspierając przetwarzanie dużych płytek G12. Zoptymalizowana konstrukcja nośnika znacząco zwiększa przepustowość, umożliwiając wyższą wydajność i niższe koszty produkcji.

Przedmiot	Typ	Numer nośnika wafli
Łódź PEVCD Grephite - seria 156	156-13 łódź grefitowa	144
	156-19 łódź grefitowa	216
	Łódź grefitowa 156-21	240
	Łódź grafitowa 156-23	308
Łódź PEVCD Grephite - seria 125	Łódź grefitowa 125-15	196
	Łódź grefitowa 125-19	252
	Łódź grafitowa 125-21	280