VET EnerjiPECVD proses qrafit daşıyıcısı, PECVD (plazma ilə gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökdürmə) prosesi üçün hazırlanmış yüksək keyfiyyətli istehlak materialıdır. Bu qrafit daşıyıcısı, əla yüksək temperatur müqavimətinə, korroziyaya davamlılığa, ölçülü stabilliyə və digər xüsusiyyətlərə malik yüksək təmizlikli, yüksək sıxlıqlı qrafit materialından hazırlanmışdır və nazik təbəqə çökdürmənin vahidliyini və düzlüyünü təmin etmək üçün PECVD prosesi üçün sabit daşıyıcı platforma təmin edə bilər.
PECVD prosesi üçün qrafit daşıyıcıları aşağıdakı xüsusiyyətlərə malikdir:
▪ Yüksək təmizlik: filmin çirklənməsinin qarşısını alan və filmin keyfiyyətini təmin edən son dərəcə aşağı çirk tərkibi.
▪ Yüksək sıxlıq: yüksək sıxlıq, yüksək mexaniki möhkəmlik, yüksək temperatur və yüksək təzyiqli PECVD mühitinə davam gətirə bilir.
▪ Yaxşı ölçülü stabillik: yüksək temperaturda kiçik ölçülü dəyişiklik, prosesin sabitliyini təmin edir.
▪ Əla istilik keçiriciliyi: lövhənin həddindən artıq istiləşməsinin qarşısını almaq üçün istiliyi effektiv şəkildə ötürür.
▪ Güclü korroziyaya davamlılıq: müxtəlif korroziyalı qazlar və plazma tərəfindən aşınmaya davamlıdır.
▪ Xüsusi xidmət: müxtəlif ölçülü və formalı qrafit daşıyıcıları müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər.
SGL-dən qrafit materialı:
| Tipik parametr: R6510 | |||
| İndeks | Test standartı | Dəyər | Vahid |
| Orta taxıl ölçüsü | ISO 13320 | 10 | μm |
| Toplu sıxlıq | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | q/sm33 |
| Açıq məsaməlilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta məsamə ölçüsü | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Keçiricilik | DIN 51935 | 0.06 | sm²/s |
| Rokvell sərtliyi HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Xüsusi elektrik müqaviməti | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bükülmə gücü | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Sıxılma gücü | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Yanq modulu | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Termal genişlənmə (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| İstilik keçiriciliyi (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Xüsusilə yüksək səmərəli günəş batareyası istehsalı üçün hazırlanmışdır və G12 böyük ölçülü lövhə emalını dəstəkləyir. Optimallaşdırılmış daşıyıcı dizaynı məhsuldarlığı əhəmiyyətli dərəcədə artırır, daha yüksək məhsuldarlıq nisbətlərinə və daha aşağı istehsal xərclərinə imkan verir.
| Məhsul | Növü | Nömrə lövhəsi daşıyıcısı |
| PEVCD Qrefit qayığı - 156 seriyası | 156-13 qrefit qayığı | 144 |
| 156-19 qrefit qayığı | 216 | |
| 156-21 qrefit qayığı | 240 | |
| 156-23 qrafit qayığı | 308 | |
| PEVCD Qrefit qayığı - 125 seriyası | 125-15 qrefit qayığı | 196 |
| 125-19 qrefit qayığı | 252 | |
| 125-21 grphite qayığı | 280 |
