VET බලශක්තියPECVD ක්රියාවලි මිනිරන් වාහකය යනු PECVD (ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කළ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) ක්රියාවලිය සඳහා සකස් කරන ලද උසස් තත්ත්වයේ පරිභෝජන ද්රව්යයකි. මෙම මිනිරන් වාහකය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, ඉහළ ඝනත්ව මිනිරන් ද්රව්ය වලින් සාදා ඇති අතර, විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක්, විඛාදන ප්රතිරෝධයක්, මාන ස්ථායිතාවයක් සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ සහිතව, තුනී පටල තැන්පත් වීමේ ඒකාකාරිත්වය සහ සමතලා බව සහතික කිරීම සඳහා PECVD ක්රියාවලිය සඳහා ස්ථාවර වාහක වේදිකාවක් සැපයිය හැකිය.
PECVD ක්රියාවලිය සඳහා ග්රැෆයිට් වාහක පහත ලක්ෂණ ඇත:
▪ ඉහළ සංශුද්ධතාවය: අතිශයින් අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතය, පටලය දූෂණය වීම වැළැක්වීම සහ පටලයේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම.
▪ ඉහළ ඝනත්වය: ඉහළ ඝනත්වය, ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය, ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ ඉහළ පීඩන PECVD පරිසරයට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව.
▪ හොඳ මාන ස්ථායිතාව: ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී කුඩා මාන වෙනසක්, ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සහතික කිරීම.
▪ විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය: වේෆර් අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීම සඳහා තාපය ඵලදායී ලෙස මාරු කරයි.
▪ ශක්තිමත් විඛාදන ප්රතිරෝධය: විවිධ විඛාදන වායූන් සහ ප්ලාස්මා මගින් ඛාදනයට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව.
▪ අභිරුචිකරණය කළ සේවාව: විවිධ ප්රමාණයේ සහ හැඩයන්ගෙන් යුත් මිනිරන් වාහක පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.
SGL වෙතින් මිනිරන් ද්රව්ය:
| සාමාන්ය පරාමිතිය: R6510 | |||
| දර්ශකය | පරීක්ෂණ ප්රමිතිය | වටිනාකම | ඒකකය |
| සාමාන්ය ධාන්ය ප්රමාණය | අයිඑස්ඕ 13320 | 10 යි | μm |
| තොග ඝනත්වය | ඩින් අයිඊසී 60413/204 | 1.83 යනු | ග්රෑම්/සෙ.මී.3 |
| විවෘත සිදුරු | DIN66133 හඳුන්වා දීම | 10 යි | % |
| මධ්යම සිදුරු ප්රමාණය | DIN66133 හඳුන්වා දීම | 1.8 මාලා | μm |
| පාරගම්යතාව | ඩින් 51935 | 0.06 යනු | සෙ.මී.²/තත්පරය |
| රොක්වෙල් දෘඪතාව HR5/100 | DIN IEC60413/303 හඳුන්වා දීම | 90 යි | HR |
| නිශ්චිත විද්යුත් ප්රතිරෝධය | ඩින් අයිඊසී 60413/402 | 13 | μΩm |
| නම්යශීලී ශක්තිය | ඩින් අයිඊසී 60413/501 | 60 | එම්පීඒ |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය | ඩින් 51910 | 130 යි | එම්පීඒ |
| යංගේ මාපාංකය | ඩින් 51915 | 11.5×10³ | එම්පීඒ |
| තාප ප්රසාරණය (20-200℃) | ඩින් 51909 | 4.2X10 (4.2X10) යනු කුමක්ද?-6 | K-1 |
| තාප සන්නායකතාවය (20℃) | ඩින් 51908 | 105 යි | Wm-1K-1 |
එය විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත්තේ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින් යුත් සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය සඳහා වන අතර, G12 විශාල ප්රමාණයේ වේෆර් සැකසීමට සහාය වේ. ප්රශස්ත වාහක සැලසුම සැලකිය යුතු ලෙස ප්රතිදානය වැඩි කරයි, ඉහළ අස්වැන්න අනුපාත සහ අඩු නිෂ්පාදන පිරිවැය සක්රීය කරයි.
| අයිතමය | වර්ගය | වේෆර් වාහක අංකය |
| PEVCD ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව - 156 ශ්රේණිය | 156-13 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 144 (ස්පාඤ්ඤය) |
| 156-19 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 216 ශ්රේණිය | |
| 156-21 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 240 යි | |
| 156-23 මිනිරන් බෝට්ටුව | 308 - | |
| PEVCD ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව - 125 ශ්රේණිය | 125-15 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 196 (ස්පාඤ්ඤය) |
| 125-19 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 252 (252) | |
| 125-21 ග්රිෆයිට් බෝට්ටුව | 280 (280) |
-
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඉහළ උෂ්ණත්වයට ඔරොත්තු දෙන මිනිරන්...
-
කල් පවතින, ජල ආරක්ෂිත සහ ඇඳීමට ඔරොත්තු දෙන, නවෝත්පාදන...
-
කාබන් ඉලෙක්ට්රෝඩ දණ්ඩ මිනිරන් දණ්ඩ විකිණීමට ඇත
-
නම්යශීලී මිනිරන් කඩදාසි අධි තාප මිනිරන් පේප්...
-
මිනිරන් නිෂ්පාදන සැපයීම මිනිරන් බ්ලොක් සමස්ථානික...
-
අභිරුචි මිනිරන් කඩදාසි පයිෙරොලිටික් කාබන් තහඩු fl...