PECVD प्रक्रिया के लिए ग्रेफाइट वाहक

PECVD प्रक्रिया के लिए ग्रेफाइट वाहकों में निम्नलिखित विशेषताएं होती हैं:

▪ उच्च शुद्धता: अत्यंत कम अशुद्धता सामग्री, फिल्म के संदूषण से बचाव और फिल्म की गुणवत्ता सुनिश्चित करना।

▪ उच्च घनत्व: उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान और उच्च दबाव वाले PECVD वातावरण को सहन करने में सक्षम।

▪ अच्छी आयामी स्थिरता: उच्च तापमान पर आयामी परिवर्तन कम होता है, जिससे प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित होती है।

▪ उत्कृष्ट तापीय चालकता: वेफर को अधिक गर्म होने से बचाने के लिए ऊष्मा को प्रभावी ढंग से स्थानांतरित करती है।

▪ उच्च संक्षारण प्रतिरोध: विभिन्न संक्षारक गैसों और प्लाज्मा द्वारा होने वाले क्षरण का प्रतिरोध करने में सक्षम।

▪ अनुकूलित सेवा: ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न आकारों और आकृतियों के ग्रेफाइट वाहकों को अनुकूलित किया जा सकता है।