Grafitträger fir de PECVD-Prozess

Grafitträger fir PECVD-Prozess Featured Image

Kuerz Beschreiwung:

VET EnergieDe PECVD Grafitboot fir Solarpanneauen ass eng fortgeschratt Komponent, déi speziell fir d'Produktioun vun héichperformante Solarpanneauen entwéckelt gouf. Dëse Grafitboot, deen a Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Prozesser benotzt gëtt, garantéiert eng optimal Materialbehandlung an eng gläichméisseg Oflagerung vun dënne Schichten op Solarzellen. Entwéckelt fir Präzisioun an Haltbarkeet, bitt en eng iwwerleeën thermesch Konduktivitéit, eng héich Korrosiounsbeständegkeet a minimal Kontaminatioun, déi essentiell fir d'Produktioun vun effizienten, héichqualitative Solarpanneauen sinn.

Schéckt eis eng E-Mail Als PDF eroflueden

Produktdetailer

Produkt Tags

VET EnergieDe PECVD-Prozess-Grafitträger ass e qualitativ héichwäertege Verbrauchsmaterial, dee fir de PECVD-Prozess (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) zougeschnidden ass. Dëse Graphitträger ass aus héichreinegem, héichdichte Graphitmaterial gemaach, mat exzellenter Héichtemperaturbeständegkeet, Korrosiounsbeständegkeet, Dimensiounsstabilitéit an aner Charakteristiken, a kann eng stabil Trägerplattform fir de PECVD-Prozess ubidden, fir d'Uniformitéit a Flaachheet vun der Dënnschichtoflagerung ze garantéieren.

Grafitträger fir de PECVD-Prozess hunn déi folgend Charakteristiken:

▪ Héich Rengheet: extrem niddregen Unreinheetsgehalt, vermeit Kontaminatioun vum Film a garantéiert d'Filqualitéit.

▪ Héich Dicht: héich Dicht, héich mechanesch Stäerkt, fäeg héijen Temperaturen an héijen Drock am PECVD-Ëmfeld auszehalen.

▪ Gud Dimensiounsstabilitéit: kleng Dimensiounsännerung bei héijer Temperatur, wat d'Prozessstabilitéit garantéiert.

▪ Excellent thermesch Konduktivitéit: effektiv Hëtztiwwerdroung fir Iwwerhëtzung vu Waferen ze vermeiden.

▪ Staark Korrosiounsbeständegkeet: fäeg der Erosioun duerch verschidde korrosiv Gaser a Plasma ze widderstoen.

▪ Personaliséierte Service: Grafitträger a verschiddene Gréissten a Formen kënnen no de Bedierfnesser vum Client personaliséiert ginn.

Grafitmaterial vun SGL:

Typesche Parameter: R6510
Index	Teststandard	Wäert	Eenheet
Duerchschnëttlech Kärgréisst	ISO 13320	10	μm
Volumendicht	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm²³
Oppe Porositéit	DIN66133	10	%
Mëttelgrouss Porengréisst	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitéit	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell-Härkeet HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spezifesch elektresch Widderstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Biegefestigkeit	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kompressiounsstäerkt	DIN 51910	130	MPa
Young säi Modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Thermesch Expansioun (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Wärmeleitfäegkeet (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Et ass speziell fir d'Hierstellung vun héicheffiziente Solarzellen entwéckelt ginn, an ënnerstëtzt d'Veraarbechtung vu grousse G12-Waferen. Den optiméierten Trägerdesign erhéicht den Duerchgank däitlech, wat méi héich Rendementer a méi niddreg Produktiounskäschte erméiglecht.

Artikel	Typ	Zuel Wafer Carrier
PEVCD Grephite Boot - Déi 156 Serie	156-13 Grephitboot	144
	156-19 Grephitboot	216
	156-21 Grephitboot	240
	156-23 Grafitboot	308
PEVCD Grephite Boot - Déi 125 Serie	125-15 Grephit Boot	196
	125-19 Grephit Boot	252
	125-21 Grafitboot	280