PECVD प्रक्रियेसाठी ग्रेफाइट वाहक

PECVD प्रक्रियेसाठी ग्रेफाइट वाहकांमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:

▪ उच्च शुद्धता: अत्यंत कमी अशुद्धता, चित्रपटाचे दूषितीकरण टाळते आणि चित्रपटाची गुणवत्ता सुनिश्चित करते.

▪ उच्च घनता: उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च दाब PECVD वातावरणाचा सामना करण्यास सक्षम.

▪ चांगली मितीय स्थिरता: उच्च तापमानात लहान मितीय बदल, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करते.

▪ उत्कृष्ट थर्मल चालकता: वेफर जास्त गरम होण्यापासून रोखण्यासाठी प्रभावीपणे उष्णता हस्तांतरित करा.

▪ मजबूत गंज प्रतिकार: विविध गंजरोधक वायू आणि प्लाझ्मा यांच्यामुळे होणारी झीज रोखण्यास सक्षम.

▪ सानुकूलित सेवा: ग्राहकांच्या गरजेनुसार वेगवेगळ्या आकारांचे आणि आकारांचे ग्रेफाइट वाहक सानुकूलित केले जाऊ शकतात.