पीईसीव्हीडी प्रक्रियेसाठी ग्रॅफाइट वाहक

PECVD प्रक्रियेसाठी वापरल्या जाणाऱ्या ग्राफाइट वाहकांमध्ये खालील वैशिष्ट्ये असतात:

▪ उच्च शुद्धता: अशुद्धतेचे प्रमाण अत्यंत कमी असल्यामुळे, फिल्म दूषित होणे टाळले जाते आणि फिल्मच्या गुणवत्तेची खात्री दिली जाते.

▪ उच्च घनता: उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च दाबाच्या PECVD वातावरणाचा सामना करण्यास सक्षम.

▪ उत्तम आकारमान स्थिरता: उच्च तापमानात आकारमानात कमी बदल होतो, ज्यामुळे प्रक्रियेची स्थिरता सुनिश्चित होते.

▪ उत्कृष्ट औष्णिक वाहकता: वेफरला जास्त गरम होण्यापासून रोखण्यासाठी उष्णतेचे प्रभावीपणे हस्तांतरण करते.

▪ उत्कृष्ट क्षरण प्रतिरोध: विविध क्षरणकारी वायू आणि प्लाझ्मामुळे होणाऱ्या झिजेला प्रतिकार करण्यास सक्षम.

▪ सानुकूलित सेवा: ग्राहकांच्या गरजेनुसार विविध आकार आणि प्रकारांचे ग्राफाइट कॅरिअर्स सानुकूलित केले जाऊ शकतात.