Графитен носач за PECVD процес

Краток опис:

VET ЕнергијаГрафитниот чамец PECVD за соларни панели е напредна компонента дизајнирана специјално за производство на високо-перформансни соларни панели. Користен во процесите на хемиско таложење со подобрена плазма (PECVD), овој графитен чамец обезбедува оптимално ракување со материјали и рамномерно таложење на тенки филмови на сончевите ќелии. Дизајниран за прецизност и издржливост, тој обезбедува супериорна топлинска спроводливост, висока отпорност на корозија и минимална контаминација, кои се неопходни за производство на ефикасни, висококвалитетни соларни панели.

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

VET ЕнергијаГрафитниот носач за PECVD процес е висококвалитетен потрошен материјал прилагоден за PECVD (плазма подобрено хемиско таложење на пареа) процес. Овој графитен носач е направен од графитен материјал со висока чистота и висока густина, со одлична отпорност на високи температури, отпорност на корозија, димензионална стабилност и други карактеристики, може да обезбеди стабилна платформа за носач за PECVD процес, за да се обезбеди униформност и рамномерност на таложењето на тенок филм.

Графитните носачи за PECVD процесот ги имаат следниве карактеристики:

▪ Висока чистота: екстремно ниска содржина на нечистотии, со што се избегнува контаминација на филмот и се обезбедува квалитет на филмот.

▪ Висока густина: висока густина, висока механичка цврстина, способност да издржи висока температура и висок притисок во PECVD средина.

▪ Добра димензионална стабилност: мала димензионална промена на висока температура, што обезбедува стабилност на процесот.

▪ Одлична топлинска спроводливост: ефикасно пренесување на топлината за да се спречи прегревање на плочките.

▪ Силна отпорност на корозија: способност да се спротивстави на ерозијата од разни корозивни гасови и плазма.

▪ Услуга по мерка: графитните носачи со различни големини и форми можат да се прилагодат според потребите на клиентот.

Графитен материјал од SGL:

Типичен параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Единица
Просечна големина на зрно	ISO 13320	10	μm
Густина на волуменот	ДИН IEC 60413/204	1,83	г/см³
Отворена порозност	DIN66133	10	%
Средна големина на порите	DIN66133	1,8	μm
Пропустливост	ДИН 51935	0,06	см²/с
Тврдост на Роквел HR5/100	ДИН IEC60413/303	90	HR
Специфичен електричен отпор	ДИН IEC 60413/402	13	μΩm
Јачина на свиткување	ДИН IEC 60413/501	60	МПа
Компресивна цврстина	ДИН 51910	130	МПа
Јангов модул	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термичка експанзија (20-200℃)	ДИН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлинска спроводливост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Специјално е дизајниран за производство на високоефикасни соларни ќелии, поддржувајќи обработка на големи плочки G12. Оптимизираниот дизајн на носачот значително го зголемува протокот, овозможувајќи повисоки стапки на принос и пониски трошоци за производство.

Ставка	Тип	Број на носач на плочи
PEVCD Грефитен чамец - Серијата 156	156-13 грефитен чамец	144
	156-19 грефитен чамец	216
	156-21 грефитен чамец	240
	156-23 графитен чамец	308
PEVCD Грефитен чамец - Серијата 125	125-15 грефитен чамец	196
	125-19 грефитен чамец	252
	125-21 графитен брод	280