PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಾಹಕ

PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಾಹಕಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ:

▪ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ: ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಕಲ್ಮಶ ಅಂಶ, ಫಿಲ್ಮ್ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುವುದು.

▪ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ PECVD ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ.

▪ ಉತ್ತಮ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.

▪ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: ವೇಫರ್ ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಶಾಖವನ್ನು ವರ್ಗಾಯಿಸುತ್ತದೆ.

▪ ಬಲವಾದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ: ವಿವಿಧ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಿಂದ ಸವೆತವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ.

▪ ಗ್ರಾಹಕೀಯಗೊಳಿಸಿದ ಸೇವೆ: ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಆಕಾರಗಳ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಾಹಕಗಳನ್ನು ಗ್ರಾಹಕರ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು.