Mpitatitra grafita ho an'ny fizotran'ny PECVD

Famaritana fohy:

Angovo VETNy sambo grafita PECVD ho an'ny takelaka masoandro dia singa mandroso natao manokana ho an'ny famokarana takelaka masoandro avo lenta. Ampiasaina amin'ny dingana Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), ity sambo grafita ity dia miantoka ny fikirakirana fitaovana tsara indrindra sy ny fametrahana mitovy ny sarimihetsika manify amin'ny sela masoandro. Namboarina ho an'ny fahamarinan-toerana sy ny faharetana, manome conductivity mafana ambony, fanoherana ny harafesina avo lenta, ary fandotoana kely indrindra, izay tena ilaina amin'ny famokarana takelaka masoandro mahomby sy avo lenta.

Alefaso mailaka aminay Sintomy amin'ny endrika PDF

Antsipirian'ny vokatra

Marika vokatra

Angovo VETNy mpitatitra grafita amin'ny dingana PECVD dia fitaovana azo hanina avo lenta namboarina ho an'ny dingana PECVD (plasma enhanced chemical etona deposition). Ity mpitatitra grafita ity dia vita amin'ny fitaovana grafita madio sy matevina avo lenta, miaraka amin'ny fanoherana tsara ny mari-pana avo lenta, ny fanoherana ny harafesina, ny fahamarinan-toerana amin'ny refy ary ny toetra hafa, afaka manome sehatra mpitatitra marin-toerana ho an'ny dingana PECVD, mba hahazoana antoka ny fitoviana sy ny fisaka amin'ny fametrahana sarimihetsika manify.

Ireto avy ireo toetra mampiavaka ny mpitondra grafita ho an'ny fizotran'ny PECVD:

▪ Madio tsara: tsy dia misy loto loatra, misoroka ny fahalotoan'ny sarimihetsika ary miantoka ny kalitaon'ny sarimihetsika.

▪ Hakitroky avo: hakitroky avo, tanjaka mekanika avo, mahazaka mari-pana avo sy tsindry avo amin'ny tontolo PECVD.

▪ Fahamarinan-toerana tsara amin'ny refy: fiovana kely amin'ny refy amin'ny mari-pana avo, miantoka ny fahamarinan'ny fizotran'ny asa.

▪ Mitondra hafanana tsara dia tsara: mamindra hafanana tsara mba hisorohana ny hafanana tafahoatra.

▪ Fanoherana mafy ny harafesina: afaka mahatohitra ny fahasimban'ny entona sy plasma isan-karazany.

▪ Serivisy namboarina manokana: azo amboarina araka ny filàn'ny mpanjifa ny mpitondra grafita amin'ny habe sy endrika samihafa.

Akora grafita avy amin'ny SGL:

Paramètre mahazatra: R6510
Fanondroana	Fenitra fitsapana	sarobidy	Singa
Haben'ny voam-bary antonony	ISO 13320	10	μm
Hakitroky ny ambongadiny	DIN IEC 60413/204	1.83	g/sm³
Porosité misokatra	DIN66133	10	%
Haben'ny mason-koditra antonony	DIN66133	1.8	μm
Fahaiza-miditra	DIN 51935	0.06	sm²/s
Hamafin'ny Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90 taona	HR
Resistivity elektrika manokana	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Tanjaky ny fihenjanana	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tanjaky ny famoretana	DIN 51910	130	MPa
Modulus an'i Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Fitomboana mafana (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Fitondran-tena mafana (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Natao manokana ho an'ny famokarana sela masoandro mahomby avo lenta izy io, manohana ny fanodinana wafer lehibe G12. Ny endrika mpitatitra nohatsaraina dia mampitombo be ny vokatra, ka ahafahana mahazo vokatra ambony kokoa sy mampihena ny vidin'ny famokarana.

zavatra	Karazana	Mpitatitra wafer isa
Sambo PEVCD Grephite - Andiany 156	Sambo grefita 156-13	144
	Sambo grefita 156-19	216
	Sambo grefita 156-21	240
	Sambo grafita 156-23	308
Sambo PEVCD Grephite - Ny andiany 125	Sambo grefita 125-15	196
	Sambo grefita 125-19	252
	Sambo grifit 125-21	280