Sekepe sa Graphite bakeng sa ts'ebetso ea PECVD

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Matla a VETSekepe sa Graphite sa PECVD bakeng sa Phanele ea Letsatsi ke karolo e tsoetseng pele e etselitsoeng ka ho khetheha tlhahiso ea liphanele tsa letsatsi tse sebetsang hantle. Se sebelisoa lits'ebetsong tsa Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), sekepe sena sa graphite se netefatsa ts'ebetso e ntle ea thepa le ho beoa ha lifilimi tse tšesaane liseleng tsa letsatsi ka mokhoa o ts'oanang. E entsoe ka ho nepahala le ho tšoarella, e fana ka conductivity e phahameng ea mocheso, ho hanyetsa mafome haholo, le tšilafalo e fokolang, e leng tsa bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea liphanele tsa letsatsi tse sebetsang hantle le tsa boleng bo holimo.

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

Matla a VETSejari sa graphite sa process ea PECVD ke sesebelisoa sa boleng bo holimo se ka sebelisoang se etselitsoeng mokhoa oa PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Sejari sena sa graphite se entsoe ka thepa ea graphite e hloekileng haholo, e nang le bongata bo phahameng, e nang le khanyetso e ntle ea mocheso o phahameng, khanyetso ea mafome, botsitso ba litekanyo le litšobotsi tse ling, e ka fana ka sethala se tsitsitseng sa sejari bakeng sa ts'ebetso ea PECVD, ho netefatsa hore ho na le ho tšoana le ho batalla ha filimi e tšesaane.

Bajari ba graphite bakeng sa ts'ebetso ea PECVD ba na le litšobotsi tse latelang:

▪ Bohloeki bo phahameng: ho ba le litšila tse fokolang haholo, ho qoba ho silafatsoa ha filimi le ho netefatsa boleng ba filimi.

▪ Boima bo phahameng: boima bo phahameng, matla a phahameng a mechini, a khonang ho mamella mocheso o phahameng le tikoloho ea khatello e phahameng ea PECVD.

▪ Botsitso bo botle ba litekanyo: phetoho e nyane ea litekanyo mochesong o phahameng, ho netefatsa botsitso ba ts'ebetso.

▪ Ho tsamaisa mocheso hantle haholo: ho fetisetsa mocheso ka katleho ho thibela ho chesa haholo ha wafer.

▪ Ho hanyetsa mafome ka matla: ho khona ho hanela khoholeho ea mobu ke likhase tse fapaneng tse senyang le plasma.

▪ Tšebeletso e ikhethileng: bajari ba graphite ba boholo le libopeho tse fapaneng ba ka fetoloa ho latela litlhoko tsa bareki.

Thepa ea graphite e tsoang ho SGL:

Paramethara e tloaelehileng: R6510
Index	Tekanyetso ea teko	Boleng	Yuniti
Boholo bo tloaelehileng ba lijo-thollo	ISO 13320	10	μm
Bongata ba bongata	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Maro a bulehileng	DIN66133	10	%
Boholo ba masoba a mahareng	DIN66133	1.8	μm
Ho kenella ha metsi	DIN 51935	0.06	cm²/s
Thatafalo ea Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ho hanyetsa motlakase ka ho khetheha	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Matla a ho tenyetseha	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Matla a khatello	DIN 51910	130	MPa
Modulus ea Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Katoloso ea mocheso (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ho tsamaisa mocheso (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

E etselitsoe ka ho khetheha tlhahiso ea lisele tsa letsatsi tse sebetsang hantle haholo, e tšehetsang ts'ebetso ea wafer ea boholo bo boholo ba G12. Moralo o ntlafalitsoeng oa carrier o eketsa tlhahiso haholo, o nolofalletsang sekhahla se phahameng sa chai le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso.

Ntho	Mofuta	Sejari sa wafer sa nomoro
Sekepe sa PEVCD Grephite - Letoto la 156	Sekepe sa grephite sa 156-13	144
	Sekepe sa grephite sa 156-19	216
	Sekepe sa grephite sa 156-21	240
	Sekepe sa graphite sa 156-23	308
Sekepe sa PEVCD Grephite - Letoto la 125	Sekepe sa grephite sa 125-15	196
	Sekepe sa grephite sa 125-19	252
	Sekepe sa 125-21 sa grphite	280