Графітавы носьбіт для працэсу PECVD

Кароткае апісанне:

Энергетыка VETГрафітавая лодка PECVD для сонечных панэляў — гэта перадавы кампанент, распрацаваны спецыяльна для вытворчасці высокапрадукцыйных сонечных панэляў. Выкарыстоўваемая ў працэсах плазменна-ўзмоцненага хімічнага асаджэння з паравой фазы (PECVD), гэтая графітавая лодка забяспечвае аптымальную апрацоўку матэрыялу і раўнамернае нанясенне тонкіх плёнак на сонечныя элементы. Распрацаваная для дакладнасці і даўгавечнасці, яна забяспечвае выдатную цеплаправоднасць, высокую каразійную ўстойлівасць і мінімальнае забруджванне, што неабходна для вытворчасці эфектыўных, высакаякасных сонечных панэляў.

Дашліце нам ліст Спампаваць у фармаце PDF

Падрабязнасці прадукту

Тэгі прадукту

Энергетыка VETГрафітавы носьбіт, прызначаны для працэсу PECVD (плазменна-ўзмоцненае хімічнае асаджэнне з паравой фазы), - гэта высакаякасны расходны матэрыял, прызначаны для працэсу PECVD (плазменна-ўзмоцненае хімічнае асаджэнне з паравой фазы). Гэты графітавы носьбіт выраблены з графіта высокай чысціні і шчыльнасці, які валодае выдатнай устойлівасцю да высокіх тэмператур, каразійнай стойкасцю, стабільнасцю памераў і іншымі характарыстыкамі. Ён можа забяспечыць стабільную платформу для працэсу PECVD, забяспечваючы аднастайнасць і плоскасць тонкай плёнкі.

Графітавыя носьбіты для працэсу PECVD маюць наступныя характарыстыкі:

▪ Высокая чысціня: надзвычай нізкае ўтрыманне прымешак, што дазваляе пазбегнуць забруджвання плёнкі і забяспечыць яе якасць.

▪ Высокая шчыльнасць: высокая шчыльнасць, высокая механічная трываласць, здольнасць вытрымліваць высокую тэмпературу і высокі ціск у асяроддзі PECVD.

▪ Добрая памерная стабільнасць: невялікая змена памераў пры высокай тэмпературы, што забяспечвае стабільнасць працэсу.

▪ Выдатная цеплаправоднасць: эфектыўна пераносіць цяпло, прадухіляючы перагрэў пласціны.

▪ Высокая каразійная ўстойлівасць: здольнасць супрацьстаяць эрозіі пад уздзеяннем розных агрэсіўных газаў і плазмы.

▪ Індывідуальнае абслугоўванне: графітавыя кантэйнеры розных памераў і формаў могуць быць выраблены ў адпаведнасці з патрэбамі кліента.

Графітавы матэрыял ад SGL:

Тыповы параметр: R6510
Індэкс	Стандарт выпрабаванняў	Значэнне	Адзінка
Сярэдні памер зерня	ІСО 13320	10	мкм
Насыпная шчыльнасць	DIN IEC 60413/204	1,83	г/см³
Адкрытая парознасць	DIN66133	10	%
Сярэдні памер пор	DIN66133	1.8	мкм
Пранікальнасць	ДЫН 51935	0,06	см²/с
Цвёрдасць па Роквелу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удзельнае электрычнае супраціўленне	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Трываласць на згіб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Трываласць на сціск	ДЫН 51910	130	МПа
Модуль Юнга	ДЫН 51915	11,5×10³	МПа
Цеплавое пашырэнне (20-200℃)	ДЫН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Цеплаправоднасць (20℃)	ДЫН 51908	105	Wm^-1K^-1

Ён спецыяльна распрацаваны для вытворчасці высокаэфектыўных сонечных батарэй і падтрымлівае апрацоўку вялікіх пласцін G12. Аптымізаваная канструкцыя носьбіта значна павялічвае прапускную здольнасць, што дазваляе павялічыць выхад і знізіць вытворчыя выдаткі.

Пункт	Тып	Нумар носьбіта пласцін
PEVCD Grephite лодка - серыя 156	156-13 Грэфітавая лодка	144
	156-19 Грэфітавая лодка	216
	156-21 лодка з графіту	240
	Графітавая лодка 156-23	308
PEVCD Grephite лодка - серыя 125	125-15 Грэфітавая лодка	196
	125-19 Грэфітавая лодка	252
	Графітавая лодка 125-21	280