Energie VETSuportul de grafit pentru procesul PECVD este un consumabil de înaltă calitate, adaptat pentru procesul PECVD (depunere chimică în fază de vapori cu plasmă). Acest suport de grafit este fabricat dintr-un material de grafit de înaltă puritate și densitate, cu o rezistență excelentă la temperaturi ridicate, rezistență la coroziune, stabilitate dimensională și alte caracteristici, putând oferi o platformă stabilă pentru procesul PECVD, asigurând uniformitatea și planeitatea depunerii peliculelor subțiri.
Suporturile de grafit pentru procesul PECVD au următoarele caracteristici:
▪ Puritate ridicată: conținut extrem de scăzut de impurități, evitând contaminarea peliculei și asigurând calitatea acesteia.
▪ Densitate mare: densitate mare, rezistență mecanică mare, capabilă să reziste la temperaturi ridicate și presiuni ridicate în mediul PECVD.
▪ Stabilitate dimensională bună: modificări dimensionale mici la temperatură ridicată, asigurând stabilitatea procesului.
▪ Conductivitate termică excelentă: transferă eficient căldura pentru a preveni supraîncălzirea plachetei.
▪ Rezistență puternică la coroziune: capabilă să reziste eroziunii cauzate de diverse gaze corozive și plasmă.
▪ Servicii personalizate: suporturi de grafit de diferite dimensiuni și forme pot fi personalizate în funcție de nevoile clientului.
Material grafit de la SGL:
| Parametru tipic: R6510 | |||
| Index | Standard de testare | Valoare | Unitate |
| Dimensiunea medie a granulelor | ISO 13320 | 10 | μm |
| Densitatea în vrac | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Porozitate deschisă | DIN66133 | 10 | % |
| Dimensiune medie a porilor | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitate | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Duritate Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Rezistență electrică specifică | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Rezistență la încovoiere | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Rezistență la compresiune | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulul lui Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Expansiune termică (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Conductivitate termică (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Este special conceput pentru fabricarea de celule solare de înaltă eficiență, suportând procesarea de plachete de dimensiuni mari G12. Designul optimizat al purtătorilor crește semnificativ randamentul, permițând rate de randament mai mari și costuri de producție mai mici.
| Articol | Tip | Suport de napolitane cu număr |
| Barcă PEVCD Grephite - Seria 156 | Barcă de grefit 156-13 | 144 |
| Barcă de grefit 156-19 | 216 | |
| Barcă de grefit 156-21 | 240 | |
| Barcă de grafit 156-23 | 308 | |
| Barcă PEVCD Grephite - Seria 125 | Barcă de grefit 125-15 | 196 |
| Barcă din grefit 125-19 | 252 | |
| Barcă din grafită 125-21 | 280 |
-
Grafit de înaltă puritate, rezistent la temperaturi ridicate...
-
Durabil, rezistent la apă și uzură, inovator...
-
Tijă de electrod de carbon, tijă de grafit de vânzare
-
Hârtie flexibilă de grafit Hârtie de grafit rezistentă la temperaturi ridicate...
-
Furnizare produse din grafit Izostat bloc de grafit...
-
Folie de carbon pirolitic din hârtie grafit personalizată...

