Enerġija VETIt-trasportatur tal-grafita tal-proċess PECVD huwa konsumabbli ta' kwalità għolja mfassal apposta għall-proċess PECVD (depożizzjoni kimika tal-fwar imsaħħa bil-plażma). Dan it-trasportatur tal-grafita huwa magħmul minn materjal tal-grafita ta' purità għolja u densità għolja, b'reżistenza eċċellenti għat-temperatura għolja, reżistenza għall-korrużjoni, stabbiltà dimensjonali u karatteristiċi oħra, jista' jipprovdi pjattaforma stabbli għat-trasportatur għall-proċess PECVD, biex jiżgura l-uniformità u l-flatness tad-depożizzjoni tal-film irqiq.
It-trasportaturi tal-grafita għall-proċess PECVD għandhom il-karatteristiċi li ġejjin:
▪ Purità għolja: kontenut ta' impurità estremament baxx, li jevita l-kontaminazzjoni tal-film u jiżgura l-kwalità tal-film.
▪ Densità għolja: densità għolja, saħħa mekkanika għolja, kapaċi tiflaħ temperatura għolja u ambjent PECVD bi pressjoni għolja.
▪ Stabbiltà dimensjonali tajba: bidla dimensjonali żgħira f'temperatura għolja, li tiżgura l-istabbiltà tal-proċess.
▪ Konduttività termali eċċellenti: tittrasferixxi s-sħana b'mod effettiv biex tevita li l-wejfer jisħon iżżejjed.
▪ Reżistenza qawwija għall-korrużjoni: kapaċi tirreżisti l-erożjoni minn diversi gassijiet korrużivi u plażma.
▪ Servizz personalizzat: trasportaturi tal-grafita ta' daqsijiet u forom differenti jistgħu jiġu personalizzati skont il-bżonnijiet tal-klijent.
Materjal tal-grafita minn SGL:
| Parametru tipiku: R6510 | |||
| Indiċi | Standard tat-test | Valur | Unità |
| Daqs medju tal-qamħ | ISO 13320 | 10 | μm |
| Densità tal-massa | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/ċm3 |
| Porożità miftuħa | DIN66133 | 10 | % |
| Daqs medju tal-pori | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilità | DIN 51935 | 0.06 | ċm²/s |
| Ebusija Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Reżistività elettrika speċifika | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Saħħa flessibbli | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Saħħa kompressiva | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulu ta' Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Espansjoni termali (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Konduttività termali (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Huwa ddisinjat speċifikament għall-manifattura ta' ċelloli solari b'effiċjenza għolja, u jappoġġja l-ipproċessar ta' wejfers ta' daqs kbir G12. Id-disinn ottimizzat tat-trasportatur iżid b'mod sinifikanti l-produzzjoni, u jippermetti rati ta' rendiment ogħla u spejjeż ta' produzzjoni aktar baxxi.
| Oġġett | Tip | Numru tat-trasportatur tal-wejfer |
| Dgħajsa PEVCD Grephite - Is-serje 156 | Dgħajsa tal-grefit 156-13 | 144 |
| Dgħajsa tal-grefit 156-19 | 216 | |
| Dgħajsa tal-grefit 156-21 | 240 | |
| Dgħajsa tal-grafita 156-23 | 308 | |
| Dgħajsa PEVCD Grephite - Is-serje 125 | Dgħajsa tal-grefit 125-15 | 196 |
| Dgħajsa tal-grefit 125-19 | 252 | |
| Dgħajsa tal-grafita 125-21 | 280 |
-
Grafita reżistenti għat-temperatura għolja ta' purità għolja...
-
Durabbli, reżistenti għall-ilma u għall-użu, innovattiv...
-
Virga tal-Elettrodu tal-Karbonju Virga tal-Grafita Għall-Bejgħ
-
Karta tal-grafita flessibbli Karta tal-grafita ta' sħana għolja...
-
Provvista ta' prodotti tal-grafita Iżostat tal-blokka tal-grafita...
-
Folja tal-karbonju pirolitiku tal-karta tal-grafita apposta...

