Pamawa Grafit pikeun prosés PECVD

Pedaran Singkat:

Énergi VETParahu Grafit PECVD pikeun Panel Surya mangrupikeun komponén canggih anu dirancang khusus pikeun produksi panel surya kinerja tinggi. Dianggo dina prosés Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), parahu grafit ieu mastikeun penanganan bahan anu optimal sareng déposisi pilem ipis anu seragam dina sél surya. Dirancang pikeun presisi sareng daya tahan, éta nyayogikeun konduktivitas termal anu unggul, résistansi korosi anu luhur, sareng kontaminasi minimal, anu penting pikeun produksi panel surya anu efisien sareng kualitas luhur.

Kirim email ka kami Unduh salaku PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Énergi VETPamawa grafit prosés PECVD nyaéta bahan konsumsi kualitas luhur anu disaluyukeun pikeun prosés PECVD (deposisi uap kimia anu ditingkatkeun plasma). Pamawa grafit ieu didamel tina bahan grafit anu kualitasna luhur sareng kapadetanna luhur, kalayan résistansi suhu luhur anu saé, résistansi korosi, stabilitas diménsi sareng ciri-ciri sanésna, tiasa nyayogikeun platform pamawa anu stabil pikeun prosés PECVD, pikeun mastikeun kaseragaman sareng karataan deposisi pilem ipis.

Pembawa grafit pikeun prosés PECVD mibanda ciri-ciri ieu:

▪ Kamurnian luhur: kandungan pangotor anu handap pisan, ngahindarkeun kontaminasi pilem sareng mastikeun kualitas pilem.

▪ Kapadetan luhur: kapadetan luhur, kakuatan mékanis luhur, mampuh tahan kana lingkungan PECVD suhu luhur sareng tekanan luhur.

▪ Stabilitas diménsi anu saé: parobahan diménsi leutik dina suhu anu luhur, mastikeun stabilitas prosés.

▪ Konduktivitas termal anu saé pisan: sacara efektif mindahkeun panas pikeun nyegah wafer panas teuing.

▪ Résistansi korosi anu kuat: sanggup nahan érosi ku rupa-rupa gas korosif sareng plasma.

▪ Layanan khusus: wadah grafit tina ukuran sareng bentuk anu béda-béda tiasa disaluyukeun numutkeun kabutuhan konsumén.

Bahan grafit tina SGL:

Parameter has: R6510
Indéks	Standar tés	Nilai	Unit
Ukuran butir rata-rata	ISO 13320	10	μm
Kapadetan curah	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porositas kabuka	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedeng	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitas	DIN 51935	0.06	cm²/dtk
Karasa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Résistansi listrik spésifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kakuatan fléksibel	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kakuatan komprési	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Ékspansi termal (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ieu dirancang khusus pikeun manufaktur sél surya efisiensi tinggi, ngadukung pamrosésan wafer ukuran ageung G12. Desain pamawa anu dioptimalkeun sacara signifikan ningkatkeun throughput, ngamungkinkeun tingkat hasil anu langkung luhur sareng biaya produksi anu langkung handap.

Barang	Tipe	Pembawa wafer nomer
Parahu PEVCD Grefit - Séri 156	156-13 parahu grefit	144
	156-19 parahu grefit	216
	156-21 parahu grefit	240
	Parahu grafit 156-23	308
Parahu PEVCD Grefit - Séri 125	Parahu grefit 125-15	196
	Parahu grefit 125-19	252
	Parahu grifit 125-21	280