PECVD ప్రక్రియ కోసం గ్రాఫైట్ క్యారియర్

PECVD ప్రక్రియ కోసం గ్రాఫైట్ క్యారియర్లు ఈ క్రింది లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి:

▪ అధిక స్వచ్ఛత: చాలా తక్కువ కల్మషం, ఫిల్మ్ కాలుష్యాన్ని నివారించడం మరియు ఫిల్మ్ నాణ్యతను నిర్ధారించడం.

▪ అధిక సాంద్రత: అధిక సాంద్రత, అధిక యాంత్రిక బలం, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడన PECVD వాతావరణాన్ని తట్టుకోగలదు.

▪ మంచి డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం: అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద చిన్న డైమెన్షనల్ మార్పు, ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

▪ అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత: వేఫర్ వేడెక్కకుండా నిరోధించడానికి వేడిని సమర్థవంతంగా బదిలీ చేస్తుంది.

▪ బలమైన తుప్పు నిరోధకత: వివిధ తినివేయు వాయువులు మరియు ప్లాస్మా ద్వారా కోతను నిరోధించగలదు.

▪ అనుకూలీకరించిన సేవ: వివిధ పరిమాణాలు మరియు ఆకారాల గ్రాఫైట్ క్యారియర్‌లను కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరించవచ్చు.