PECVD ప్రక్రియ కోసం గ్రాఫైట్ క్యారియర్

PECVD ప్రక్రియ కోసం గ్రాఫైట్ క్యారియర్‌లు ఈ క్రింది లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి:

▪ అధిక స్వచ్ఛత: మలినాల శాతం అత్యంత తక్కువగా ఉండటం, ఫిల్మ్ కలుషితం కాకుండా నివారించడం మరియు ఫిల్మ్ నాణ్యతకు హామీ ఇవ్వడం.

▪ అధిక సాంద్రత: అధిక సాంద్రత, అధిక యాంత్రిక బలం, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడనం గల PECVD వాతావరణాన్ని తట్టుకోగలదు.

▪ మంచి పరిమాణ స్థిరత్వం: అధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద పరిమాణంలో స్వల్ప మార్పు, ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

▪ అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత: వేఫర్ అధిక వేడెక్కడాన్ని నివారించడానికి వేడిని సమర్థవంతంగా బదిలీ చేస్తుంది.

▪ అధిక తుప్పు నిరోధకత: వివిధ రకాల క్షయకారక వాయువులు మరియు ప్లాస్మా వలన కలిగే కోతను నిరోధించగలదు.

▪ అనుకూలీకరించిన సేవ: వివిధ పరిమాణాలు మరియు ఆకారాలలో ఉన్న గ్రాఫైట్ క్యారియర్‌లను కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరించవచ్చు.