Pembawa Grafit kanggo proses PECVD

Katrangan Cekak:

Energi VETPrau Grafit PECVD kanggo Panel Surya minangka komponen canggih sing dirancang khusus kanggo produksi panel surya kinerja dhuwur. Digunakake ing proses Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), prau grafit iki njamin penanganan material sing optimal lan deposisi film tipis sing seragam ing sel surya. Dirancang kanggo presisi lan daya tahan, nyedhiyakake konduktivitas termal sing unggul, tahan korosi sing dhuwur, lan kontaminasi minimal, sing penting kanggo produksi panel surya sing efisien lan berkualitas tinggi.

Kirim email menyang kita Unduh minangka PDF

Rincian Produk

Tag Produk

Energi VETPembawa grafit proses PECVD minangka bahan habis pakai berkualitas tinggi sing dirancang khusus kanggo proses PECVD (deposisi uap kimia sing ditingkatake plasma). Pembawa grafit iki digawe saka bahan grafit kanthi kapadhetan dhuwur lan kemurnian dhuwur, kanthi tahan suhu dhuwur, tahan korosi, stabilitas dimensi, lan karakteristik liyane sing apik banget, bisa nyedhiyakake platform pembawa sing stabil kanggo proses PECVD, kanggo njamin keseragaman lan kerataan deposisi film tipis.

Pembawa grafit kanggo proses PECVD nduweni ciri-ciri ing ngisor iki:

▪ Kemurnian dhuwur: kandungan pengotor sing sithik banget, nyegah kontaminasi film lan njamin kualitas film.

▪ Kapadhetan dhuwur: kapadhetan dhuwur, kekuatan mekanik dhuwur, bisa tahan suhu dhuwur lan lingkungan PECVD tekanan dhuwur.

▪ Stabilitas dimensi sing apik: owah-owahan dimensi cilik ing suhu dhuwur, njamin stabilitas proses.

▪ Konduktivitas termal sing apik banget: kanthi efektif nransfer panas kanggo nyegah wafer kepanasen.

▪ Tahan korosi sing kuwat: bisa tahan erosi dening macem-macem gas korosif lan plasma.

▪ Layanan khusus: wadhah grafit kanthi macem-macem ukuran lan wujud bisa disesuaikan miturut kabutuhan pelanggan.

Bahan grafit saka SGL:

Parameter khas: R6510
Indeks	Standar tes	Nilai	Unit
Ukuran butir rata-rata	ISO 13320	10	μm
Kapadhetan massal	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porositas mbukak	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedheng	DIN66133	1.8	μm
Permeabilitas	DIN 51935	0.06	cm²/s
Kekerasan Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivitas listrik spesifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kekuwatan lentur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kekuwatan kompresi	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Ekspansi termal (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Iki dirancang khusus kanggo manufaktur sel surya efisiensi dhuwur, ndhukung pangolahan wafer ukuran gedhe G12. Desain pembawa sing dioptimalake nambah throughput kanthi signifikan, saengga tingkat asil sing luwih dhuwur lan biaya produksi sing luwih murah.

Barang	Tipe	Pembawa wafer nomer
Prau Grefit PEVCD - Seri 156	Prau grefit 156-13	144
	Prau grefit 156-19	216
	Prau grefit 156-21	240
	Prau grafit 156-23	308
Prau Grefit PEVCD - Seri 125	Prau grefit 125-15	196
	Prau grefit 125-19	252
	Prau grifit 125-21	280