Nishati ya VETKibebaji cha grafiti cha mchakato wa PECVD ni kifaa cha matumizi cha ubora wa juu kilichoundwa kwa ajili ya mchakato wa PECVD (uwekaji wa mvuke wa kemikali ulioimarishwa na plasma). Kibebaji hiki cha grafiti kimetengenezwa kwa nyenzo za grafiti zenye usafi wa hali ya juu, zenye msongamano mkubwa, zenye upinzani bora wa halijoto ya juu, upinzani wa kutu, utulivu wa vipimo na sifa zingine, kinaweza kutoa jukwaa thabiti la kibebaji kwa mchakato wa PECVD, ili kuhakikisha usawa na ulalo wa uwekaji wa filamu nyembamba.
Vibebaji vya grafiti kwa mchakato wa PECVD vina sifa zifuatazo:
▪ Usafi wa hali ya juu: kiwango cha chini sana cha uchafu, kuepuka uchafuzi wa filamu na kuhakikisha ubora wa filamu.
▪ Msongamano mkubwa: msongamano mkubwa, nguvu kubwa ya mitambo, inayoweza kuhimili halijoto ya juu na mazingira ya shinikizo la juu la PECVD.
▪ Uthabiti mzuri wa vipimo: mabadiliko madogo ya vipimo kwenye joto la juu, kuhakikisha uthabiti wa mchakato.
▪ Upitishaji bora wa joto: huhamisha joto kwa ufanisi ili kuzuia joto kupita kiasi kwenye wafer.
▪ Upinzani mkubwa wa kutu: uwezo wa kupinga mmomonyoko unaosababishwa na gesi mbalimbali zinazosababisha ulikaji na plasma.
▪ Huduma iliyobinafsishwa: vibebaji vya grafiti vya ukubwa na maumbo tofauti vinaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja.
Nyenzo ya grafiti kutoka SGL:
| Kigezo cha kawaida: R6510 | |||
| Kielezo | Kiwango cha majaribio | Thamani | Kitengo |
| Ukubwa wa wastani wa nafaka | ISO 13320 | 10 | μm |
| Msongamano wa wingi | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Unyevu wazi | DIN66133 | 10 | % |
| Ukubwa wa wastani wa vinyweleo | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Upenyezaji | DIN 51935 | 0.06 | sentimita²/sekunde |
| Ugumu wa Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Upinzani maalum wa umeme | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Nguvu ya kunyumbulika | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Nguvu ya kubana | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Moduli ya Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Upanuzi wa joto (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Upitishaji joto (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Imeundwa mahsusi kwa ajili ya utengenezaji wa seli za jua zenye ufanisi mkubwa, ikisaidia usindikaji wa wafer kubwa wa G12. Ubunifu ulioboreshwa wa mbebaji huongeza kwa kiasi kikubwa uzalishaji, na kuwezesha viwango vya juu vya mavuno na gharama za chini za uzalishaji.
| Bidhaa | Aina | Mbebaji wa nambari ya wafer |
| Boti ya PEVCD Grephite - Mfululizo wa 156 | 156-13 mashua ya grephite | 144 |
| 156-19 mashua ya grephite | 216 | |
| 156-21 mashua ya grephite | 240 | |
| Boti ya grafiti 156-23 | 308 | |
| Boti ya PEVCD Grephite - Mfululizo wa 125 | Boti ya grephite 125-15 | 196 |
| Boti ya grephite 125-19 | 252 | |
| Boti ya grifiti 125-21 | 280 |
-
Pampu ya umeme yenye grafiti inayobeba bushing joto res ...
-
Pete ya muhuri ya grafiti inayostahimili joto la juu ...
-
Kifaa cha Kupokanzwa Grafiti cha Kiwanda cha Kupokanzwa kwa Tanuru ya Vuta...
-
Felt ya Nyenzo za Nyuzinyuzi za Kaboni, Mchanganyiko wa C/C
-
Karatasi mpya ya bidhaa ya grafiti ya karatasi ya isostatic pres ...
-
Grafiti maalum ya pete ya grafiti ya isostatic shinikizo grafiti ...

