PECVD प्रक्रियाको लागि ग्रेफाइट क्यारियर

PECVD प्रक्रियाको लागि ग्रेफाइट वाहकहरूमा निम्न विशेषताहरू छन्:

▪ उच्च शुद्धता: अत्यन्तै कम अशुद्धता सामग्री, फिल्मको प्रदूषणबाट बच्न र फिल्मको गुणस्तर सुनिश्चित गर्न।

▪ उच्च घनत्व: उच्च घनत्व, उच्च यान्त्रिक शक्ति, उच्च तापक्रम र उच्च चाप PECVD वातावरण सामना गर्न सक्षम।

▪ राम्रो आयामीय स्थिरता: उच्च तापक्रममा सानो आयामीय परिवर्तन, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित गर्दै।

▪ उत्कृष्ट तापीय चालकता: वेफरलाई अत्यधिक तातो हुनबाट रोक्न प्रभावकारी रूपमा ताप स्थानान्तरण गर्नुहोस्।

▪ बलियो जंग प्रतिरोध: विभिन्न जंग ग्याँसहरू र प्लाज्मा द्वारा जंग प्रतिरोध गर्न सक्षम।

▪ अनुकूलित सेवा: विभिन्न आकार र आकारका ग्रेफाइट वाहकहरू ग्राहकको आवश्यकता अनुसार अनुकूलित गर्न सकिन्छ।