Grafita portanto por PECVD-procezo

Mallonga Priskribo:

VET EnergioPECVD-grafita boato por sunpaneloj estas altnivela komponanto speciale desegnita por la produktado de alt-efikecaj sunpaneloj. Uzata en Plasma Plifortigita Kemia Vapora Deponado (PECVD) procezoj, ĉi tiu grafita boato certigas optimuman materialan manipuladon kaj unuforman deponadon de maldikaj filmoj sur sunĉeloj. Realigita por precizeco kaj daŭripovo, ĝi provizas superan varmokonduktivecon, altan korodreziston kaj minimuman poluadon, kiuj estas esencaj por la produktado de efikaj, altkvalitaj sunpaneloj.

Sendu retpoŝton al ni Elŝuti kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

VET EnergioGrafita portanto por la PECVD-procezo estas altkvalita konsumeblaĵo adaptita por la PECVD-procezo (plasme plibonigita kemia vapora deponado). Ĉi tiu grafita portanto estas farita el altpureca, altdenseca grafita materialo, kun bonega rezisto al altaj temperaturoj, korodrezisto, dimensia stabileco kaj aliaj karakterizaĵoj, povas provizi stabilan portantan platformon por la PECVD-procezo, por certigi la homogenecon kaj platecon de la deponado de maldikaj filmoj.

Grafitaj portantoj por PECVD-procezo havas la jenajn karakterizaĵojn:

▪ Alta pureco: ekstreme malalta enhavo de malpuraĵoj, evitante poluadon de la filmo kaj certigante la filmkvaliton.

▪ Alta denseco: alta denseco, alta mekanika forto, kapabla elteni altajn temperaturojn kaj altan premon de PECVD-medio.

▪ Bona dimensia stabileco: malgranda dimensia ŝanĝo ĉe alta temperaturo, certigante procezan stabilecon.

▪ Bonega varmokondukteco: efike transdonas varmon por malhelpi trovarmiĝon de la oblatoj.

▪ Forta korodrezisto: kapabla rezisti erozion per diversaj korodaj gasoj kaj plasmo.

▪ Personigita servo: grafitaj portantoj de diversaj grandecoj kaj formoj povas esti adaptitaj laŭ la bezonoj de la kliento.

Grafita materialo de SGL:

Tipa parametro: R6510
Indekso	Testnormo	Valoro	Unuo
Meza grengrandeco	ISO 13320	10	μm
Groca denseco	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³³
Malferma poreco	DIN66133	10	%
Meza porgrandeco	DIN66133	1.8	μm
Permeablo	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-malmoleco HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifa elektra rezisteco	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fleksforto	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kunprema forto	DIN 51910	130	MPa
Modulo de Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termika ekspansio (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termika konduktiveco (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ĝi estas specife desegnita por alt-efikeca fabrikado de sunĉeloj, subtenante la prilaboradon de grand-grandaj oblatoj G12. Optimumigita dezajno de portanto signife pliigas la trairon, ebligante pli altajn rendimentojn kaj pli malaltajn produktokostojn.

Ero	Tipo	Numero-oblato-portanto
PEVCD Grephite-boato - La serio 156	156-13 grefita boato	144
	156-19 grefita boato	216
	156-21 grefita boato	240
	156-23 grafita boato	308
PEVCD Grephite-boato - La 125-serio	125-15 grefita boato	196
	125-19 grefita boato	252
	125-21 grafita boato	280