PECVD প্রক্রিয়ার জন্য গ্রাফাইট ক্যারিয়ার

PECVD প্রক্রিয়ার জন্য গ্রাফাইট বাহকগুলির নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য রয়েছে:

▪ উচ্চ বিশুদ্ধতা: অত্যন্ত কম অপবিত্রতা, ফিল্মের দূষণ এড়ায় এবং ফিল্মের মান নিশ্চিত করে।

▪ উচ্চ ঘনত্ব: উচ্চ ঘনত্ব, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি, উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ চাপ PECVD পরিবেশ সহ্য করতে সক্ষম।

▪ ভালো মাত্রিক স্থিতিশীলতা: উচ্চ তাপমাত্রায় সামান্য মাত্রিক পরিবর্তন, প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।

▪ চমৎকার তাপ পরিবাহিতা: ওয়েফারের অতিরিক্ত গরম হওয়া রোধ করতে কার্যকরভাবে তাপ স্থানান্তর করে।

▪ শক্তিশালী ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা: বিভিন্ন ক্ষয়কারী গ্যাস এবং প্লাজমা দ্বারা ক্ষয় প্রতিরোধ করতে সক্ষম।

▪ কাস্টমাইজড পরিষেবা: বিভিন্ন আকার এবং আকৃতির গ্রাফাইট বাহক গ্রাহকের চাহিদা অনুসারে কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।