PECVD প্রক্রিয়ার জন্য গ্রাফাইট বাহক

PECVD প্রক্রিয়ার জন্য ব্যবহৃত গ্রাফাইট বাহকগুলোর নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য রয়েছে:

▪ উচ্চ বিশুদ্ধতা: অত্যন্ত কম অশুদ্ধির পরিমাণ, যা ফিল্মের দূষণ রোধ করে এবং ফিল্মের গুণমান নিশ্চিত করে।

▪ উচ্চ ঘনত্ব: উচ্চ ঘনত্ব, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি, যা উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ চাপের PECVD পরিবেশ সহ্য করতে সক্ষম।

▪ ভালো মাত্রিক স্থিতিশীলতা: উচ্চ তাপমাত্রায় মাত্রিক পরিবর্তন কম হয়, যা প্রক্রিয়ার স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।

▪ চমৎকার তাপ পরিবাহিতা: কার্যকরভাবে তাপ স্থানান্তর করে ওয়েফারকে অতিরিক্ত গরম হওয়া থেকে প্রতিরোধ করে।

▪ শক্তিশালী ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা: বিভিন্ন ক্ষয়কারী গ্যাস এবং প্লাজমা দ্বারা সৃষ্ট ক্ষয় প্রতিরোধ করতে সক্ষম।

▪ কাস্টমাইজড পরিষেবা: গ্রাহকের প্রয়োজন অনুযায়ী বিভিন্ন আকার ও আকৃতির গ্রাফাইট ক্যারিয়ার তৈরি করে দেওয়া যেতে পারে।