Energia VETEl suport de grafit del procés PECVD és un consumible d'alta qualitat adaptat al procés PECVD (deposició química de vapor millorada per plasma). Aquest suport de grafit està fet de material de grafit d'alta puresa i alta densitat, amb una excel·lent resistència a altes temperatures, resistència a la corrosió, estabilitat dimensional i altres característiques, que pot proporcionar una plataforma de suport estable per al procés PECVD, per garantir la uniformitat i la planitud de la deposició de pel·lícules primes.
Els suports de grafit per al procés PECVD tenen les següents característiques:
▪ Alta puresa: contingut d'impureses extremadament baix, evitant la contaminació de la pel·lícula i garantint la seva qualitat.
▪ Alta densitat: alta densitat, alta resistència mecànica, capaç de suportar altes temperatures i altes pressions en un entorn PECVD.
▪ Bona estabilitat dimensional: petits canvis dimensionals a alta temperatura, cosa que garanteix l'estabilitat del procés.
▪ Excel·lent conductivitat tèrmica: transfereix la calor de manera eficaç per evitar el sobreescalfament de la oblia.
▪ Forta resistència a la corrosió: capaç de resistir l'erosió per diversos gasos corrosius i plasma.
▪ Servei personalitzat: els portadors de grafit de diferents mides i formes es poden personalitzar segons les necessitats del client.
Material de grafit de SGL:
| Paràmetre típic: R6510 | |||
| Índex | Estàndard de prova | Valor | Unitat |
| Mida mitjana del gra | ISO 13320 | 10 | μm |
| Densitat aparent | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Porositat oberta | DIN66133 | 10 | % |
| Mida mitjana dels porus | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitat | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Duresa Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Resistivitat elèctrica específica | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Resistència a la flexió | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Resistència a la compressió | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Mòdul de Young | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Expansió tèrmica (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Conductivitat tèrmica (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Està dissenyat específicament per a la fabricació de cèl·lules solars d'alta eficiència, i admet el processament d'oblies de gran mida G12. El disseny optimitzat del portador augmenta significativament el rendiment, permetent taxes de rendiment més elevades i costos de producció més baixos.
| Ítem | Tipus | Portador de l'oblea número |
| Vaixell de grefita PEVCD - La sèrie 156 | 156-13 vaixell de grefit | 144 |
| 156-19 vaixell de grefit | 216 | |
| 156-21 vaixell de grefit | 240 | |
| 156-23 vaixell de grafit | 308 | |
| Vaixell PEVCD Grephite - La sèrie 125 | Vaixell de grefit 125-15 | 196 |
| Vaixell de grefit 125-19 | 252 | |
| Vaixell de grafit 125-21 | 280 |
-
Resistència tèrmica del casquillo del coixinet de grafit de la bomba elèctrica...
-
Anell de segellat de grafit resistent a altes temperatures c...
-
Escalfador de grafit de fàbrica per a forn de buit Sing...
-
Feltre de material de fibra de carboni, materials compostos C/C
-
Nou full de producte de paper de grafit isostàtic de...
-
Anell de grafit personalitzat, grafit de pressió isostàtica...

