Графітовий носій для процесу PECVD

Короткий опис:

Енергетика професійної підготовкиГрафітовий човен PECVD для сонячних панелей – це вдосконалений компонент, спеціально розроблений для виробництва високопродуктивних сонячних панелей. Використовуваний у процесах плазмохімічного осадження з парової фази (PECVD), цей графітовий човен забезпечує оптимальне поводження з матеріалом та рівномірне нанесення тонких плівок на сонячні елементи. Розроблений для точності та довговічності, він забезпечує чудову теплопровідність, високу стійкість до корозії та мінімальне забруднення, що є важливим для виробництва ефективних, високоякісних сонячних панелей.

Надіслати нам електронного листа Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги продукту

Енергетика професійної підготовкиГрафітовий носій, розроблений для процесу PECVD (плазмохімічне осадження з парової фази), – це високоякісний витратний матеріал, розроблений для процесу PECVD (плазмохімічне осадження з парової фази). Цей графітовий носій виготовлений з високочистого графітового матеріалу високої щільності, що має відмінну стійкість до високих температур, корозійну стійкість, стабільність розмірів та інші характеристики, і може забезпечити стабільну платформу для процесу PECVD, забезпечуючи однорідність та площинність тонкоплівкового осадження.

Графітові носії для процесу PECVD мають такі характеристики:

▪ Висока чистота: надзвичайно низький вміст домішок, що запобігає забрудненню плівки та забезпечує її якість.

▪ Висока щільність: висока щільність, висока механічна міцність, здатність витримувати високу температуру та високий тиск у середовищі PECVD.

▪ Добра розмірна стабільність: незначна зміна розмірів за високої температури, що забезпечує стабільність процесу.

▪ Відмінна теплопровідність: ефективно передає тепло, запобігаючи перегріву пластини.

▪ Висока стійкість до корозії: здатність протистояти ерозії, викликаній різними агресивними газами та плазмою.

▪ Індивідуальне обслуговування: графітові носії різних розмірів та форм можуть бути налаштовані відповідно до потреб клієнта.

Графітовий матеріал від SGL:

Типовий параметр: R6510
Індекс	Стандарт випробування	Значення	Одиниця
Середній розмір зерна	ISO 13320	10	мкм
Насипна щільність	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Відкрита пористість	DIN66133	10	%
Середній розмір пор	DIN66133	1.8	мкм
Проникність	ДІН 51935	0,06	см²/с
Твердість по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Питомий електричний опір	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Міцність на згин	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Міцність на стиск	ДІН 51910	130	МПа
Модуль Юнга	ДІН 51915	11,5×10³	МПа
Теплове розширення (20-200℃)	ДІН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Теплопровідність (20℃)	ДІН 51908	105	Wm^-1K^-1

Він спеціально розроблений для виробництва високоефективних сонячних елементів, підтримуючи обробку великорозмірних пластин G12. Оптимізована конструкція носіїв значно підвищує пропускну здатність, забезпечуючи вищі показники продуктивності та нижчі виробничі витрати.

Елемент	Тип	Номер носія пластини
Човен PEVCD Grephite - серія 156	156-13 грефітовий човен	144
	156-19 грефітовий човен	216
	156-21 грефітовий човен	240
	Графітовий човен 156-23	308
Човен PEVCD Grephite - серія 125	125-15 грефітовий човен	196
	125-19 грефітовий човен	252
	125-21 графітовий човен	280